• 제목/요약/키워드: 상호정보에너지

검색결과 232건 처리시간 0.036초

기준관측소 방법을 이용한 댐체 기반암의 동적 지반증폭특성 (The Dynamic Basement Amplification Characteristics of a Dam Site using a Reference Site Method)

  • 위성훈;김준경;유성화
    • 한국지구과학회지
    • /
    • 제38권2호
    • /
    • pp.161-171
    • /
    • 2017
  • 관측된 지반진동은 지진원, 지각감쇠 및 지반의 증폭특성 등 3가지 주요 인자로 구성되어 있고 특히 지반증폭 특성은 지진원 및 감쇠특성을 평가할 때 필요하다. 또한 지진재해도를 분석하기 위해 지반의 증폭 특성에 정보가 내진공학 뿐만 아니라 암반공학적 특성 분석에서 필수적이다. 지반의 증폭특성 분석을 위해 분석대상 관측소와 기준 관측소 지반진동의 수평/수직 비를 이용하는 방법을 적용하였다. 기존의 기준관측소의 수직성분 방법에 더하여 새로이 기준관측소의 수평성분 방법을 새로이 시도하였다. 본 연구는 예당저수지 인근에 설치한 4개의 관측소에서 관측된 6개의 가속도 지반진동을 이용하여 각 지반진동의 S파, Coda파 및 배경잡음 각각을 분석한 지반증폭 특성을 상호 비교하였다. 4개 관측소 공통적으로 S파와 Coda파를 이용한 결과는 상호 유사한 지반증폭 특성을 보였다. 다만 배경잡음은 다른 2개 지진 에너지와 비교할 때 전혀 다른 지반증폭 특성을 보였고 이는 배경잡음의 발생 원인이 관측소 마다 서로 다르기 때문으로 입증되었다. 4개 각각의 지진 관측소마다 저주파수 및 고주파수 증폭특성과 관측소 고유의 우월주파수가 서로 상이하여 관측소 고유의 증폭특성을 보여주었다. 또한 본 연구의 결과와 다른 방법의 결과와 비교하면 지반의 동적특성 및 지반분류 연구에 많은 정보를 제시할 수 있다.

Analysis of Online Learning Satisfaction and Its Effect on Learners' Core Competencies in the Digital Innovation Sharing University

  • Lee, Hyun-Kyung
    • 한국컴퓨터정보학회논문지
    • /
    • 제27권10호
    • /
    • pp.267-274
    • /
    • 2022
  • 이 연구의 목적은 에너지신산업 분야 디지털 혁신공유대학의 온라인 교육과정을 수강한 학생들을 대상으로 교육과정에 대한 온라인 수업만족도 및 인식을 조사하고, 학습자의 온라인 수업만족도와 핵심역량 간의 관계를 분석하는 것이다. 이러한 목적을 달성하기 위하여 에너지신산업 분야 디지털 혁신공유대학 교육과정을 수강한 총 470명 학생들의 수업만족도 조사 결과를 양적, 질적 방법으로 분석하였다. 양적 분석 결과, 학생들의 온라인 수업만족도는 대체로 보통 이상으로 나타났으며, 특히 교육목표 설정과 운영에 대한 만족도가 높았다. 또한 학생들의 온라인 수업만족도는 학생들의 핵심역량에 통계학적으로 유의미하게 영향을 미치는 것으로 나타났다. 질적 분석 결과, 기능, 운영, 내용 영역에서 교육과정의 개선 방향을 확인할 수 있었으며, 구체적으로는 학습자-교수자 상호작용 활성화, 교육과정 체계성, 교육내용 질 제고 측면에서 교육과정 설계 및 개발이 중요하다는 점이 도출되었다. 이 연구 결과는 향후 디지털 혁신공유대학 교육과정 운영을 위한 환류 체계를 마련하고, 지속적인 교육과정 질 관리 시스템 구축을 위한 토대가 될 것으로 기대한다.

물질과 생성: 질베르 시몽동의 개체화론을 중심으로 (Matter and Becoming in Gilbert Simondon's Theory of Individuation)

  • 김재희
    • 철학연구
    • /
    • 제93호
    • /
    • pp.231-260
    • /
    • 2011
  • 시몽동의 개체화론과 변환의 방법론은 물질과 생성에 관한 현대 자연 철학의 가능성 및 철학과 과학의 관계에 대한 새로운 전망을 제시한다. 시몽동의 반실체론적 관점에 따르면, 존재는 퍼텐셜 에너지로 충전된 준안정적 시스템으로서, 잇따르는 평형상태들을 가로지르는 양자적 도약을 통해서 점진적으로 자기 복잡화한다. 개체화는 전(前)개체적 상태에서 개체화된 상태로 변이하며 존재의 상(相)들을 생성하는 작용이다. 개체화 일반의 패러다임 모델인 물리적 개체화는 형상 중심의 질료형상도식이 갖는 불충분성을 제시하고 물질의 자발적인 형상화 역량과 물질에 내재하는 역동적인 관계적 작용의 실재성을 입증한다. 개체(구조나 형태)의 발생은 자연에 내재하는 퍼텐셜들의 차이와 크기의 등급들 사이의 불일치를, 내적 공명, 정보 소통, 변환적 관계를 통해서 해결하는 일종의 해(解)로서 일어난다. 시몽동은 현대 물리학의 개념들을 변환적으로 차용하여 고대 자연철학의 '피지스'를 부활시키면서 새로운 비환원적 유물론의 가능성을 보여주었다. 특히 귀납도 연역도 변증법도 아닌 시몽동 고유의 '변환'은 근원적인 존재론적 과정이자 독특한 사유 방법으로서 철학을 비롯한 여러 학문들 간의 상호-관계와 지식의 연결망을 구축하는데 새로운 관점을 제공한다는 점에서 주목할 만하다.

국가인프라 우선순위 분석을 통한 북한지역 공간정보구축 로드맵 연구 - 북한지역 접근가능을 전제로 - (A Study on a Roadmap for Establishing Spatial Information in the North Korean Region through Analysis of National Infrastructure Priorities - On the Premise that the North Korean Region is Accessible -)

  • 김창재;이병길;편무욱
    • 한국측량학회지
    • /
    • 제39권3호
    • /
    • pp.149-156
    • /
    • 2021
  • 북한지역 공간정보 관련 연구사례를 수집, 분석하여 공간정보 구축 우선순위를 분석하고 이를 바탕으로 북한지역 공간정보구축 단기 및 중장기 로드맵을 제시하였다. 이를 위해 공간정보 구축 우선순위와 관련된 연구자료를 분석하고, 국토인프라시설의 상호 관계에 따른 구축 우선순위를 도출하였다. 우선순위 도출을 위해 분석된 연구에 따르면, 북한지역의 비접근성이라는 특징에 의해 전문가 집단을 대상으로 실시한 설문 및 자문의견을 취합하여 우선순위를 결정하고 있음은 공통적으로 일치하였다. 공통적인 의견을 종합해보면, 비무장 및 접경지대, 주요도시, 특구·개발구 등을 우선순위로 두고 있으며, 인프라시설 측면에서는 전력통신, 철도, 상하수도, 건축물, 도로, 댐 등을 우선순위로 두고 있었다. 통일한반도의 국토인프라 구축 우선순위는 주요 도심과 항만, 공항 등 핵심 교통시설과 연계된 배후 도시 수준의 점 개발을 시작으로 교통망, 용수, 에너지 등의 노선 공간공유를 추진하는 선 개발, 그리고 도시 및 국가 단위의 면 개발로 이어지는 시나리오를 제시하였다.

포유류 생식 내분비 기능 조절에서 Ghrelin의 역할 (Role of Ghrelin in the Control of Reproductive Endocrine Function)

  • 이성호
    • 한국발생생물학회지:발생과생식
    • /
    • 제13권4호
    • /
    • pp.207-215
    • /
    • 2009
  • 시상하부-뇌하수체-생식소(hypothalamus-pituitary-gonad, HPG) 호르몬 축의 활성에 영향을 미치는 수많은 인자들은 생식 기능을 조절하고, 사춘기 개시와 폐경기 진입과 같은 뚜렷한 생식 능력의 단계 전이를 초래한다. 지방세포로부터 분비되는 다기능적 호르몬인 leptin의 발견 이후, 곧 이어 생식과 신체의 에너지 균형 사이의 긴밀한 관계에 대한 증거들이 밝혀졌다. 위장관으로부터 분비되는 또 다른 다기능 호르몬인 ghrelin은 이미 알려져 있던 growth hormone secretagogue receptor(GHSR)의 내인성 리간드이며, 에너지 항상성의 조절에서 leptin에 상응하는 물질로 알려졌다. 예상대로, ghrelin 또한 HPG 축의 활성의 조절을 통해 생식 능력을 조절함이 증명되었다. 이 논문은 ghrelin의 발견과 유전자 구조, 조직 내의 분포, 그리고 역할과 HPG 축에서의 생식 호르몬 분비 조절에 대한 포유동물의 생식에서의 ghrelin-GHSR 신호에 관한 최신 정보를 요약한 것이다. 뇌하수체에서의 POMC 유전자 발현과 유사하게, preproghrelin 유전자는 alternative splicing과 번역 후 변형(posttranslational modification)을 거치는 복잡한 레퍼토리의 전사체들과 펩티드 산물을 만들어 낸다. 에너지 항상성을 제외한 신체 생리 기능의 조절에서의 preproghrelin 유전자 산물의 역할에 관한 정보는 제한적이지만, 신진 대사와 생식 사이에서의 ghrelin의 상호작용에 관해서는 충분한 증거들이 있다. 흰쥐와 인간에서, ghrelin 수용체인 GHSRs(GHSR1a와 GHSR1b)의 분포는 본래 ghrelin의 표적으로 여겨진 시상하부와 뇌하수체뿐만 아니라 정소와 난소에서도 확인되었다. 뇌와 생식소에서도 preproghrelin 유전자 발현이 확인되었는데, 이것은 HPG 축에서 ghrelin이 국부적인 역할을 담당할 가능성을 시사한다. 비록 뇌하수체에서의 기능은 아직 확실치 않지만, ghrelin은 시상하부의 GnRH, 뇌하수체의 생식소자극호르몬과 생식소의 성 스테로이드 호르몬 분비에 대한 음성적인 조절자로서의 역할을 수행하는 것으로 보인다. 최근의 연구들은 사춘기 개시, 그리고 아마도 폐경기 진입의 조절에서 ghrelin의 관여를 시사한다. 이제 ghrelin이 '뇌-위장관' 축의 필수적인 호르몬 요인이며, 신 진 대사와 생식 사이를 연결하는 조절 물질이라는 가능성은 매우 높다. '배부름'을 반영하는 leptin 신호와는 정반대인 ghrelin 신호는 신체 에너지 균형 상태로 볼 때 '배고픔'을 표현하는 것으로 생각되며, 항상성의 유지에서 최우선 사항으로 고려되지 않는 생식으로의 에너지 투자가 이루어지지 않도록 하는데 필수적일 것으로 사료된다. 생식능력 조절에 있어서 ghrelin의 보다 명확한 작용 메커니즘과 역할에 대한 깊은 통찰력을 얻고 성공적인 생의학적 적용을 위해서는 향후 더 많은 연구들이 필요하다.

  • PDF

무선 브로드캐스트 환경에서 편향된 데이터 접근 패턴을 갖는 모바일 트랜잭션을 위한 효율적인 동시성 제어 기법 (An Efficient Concurrency Control Scheme for Mobile Transactions with Skewed Data Access Patterns in Wireless Broadcast Environments)

  • 최근하;정성원
    • 한국정보과학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국정보과학회 2005년도 가을 학술발표논문집 Vol.32 No.2 (2)
    • /
    • pp.136-138
    • /
    • 2005
  • 무선 브로드캐스트 환경에서는 모바일 클라이언트의 제한된 배터리와 클라이언트에서 서버로의 제한된 상향 대역폭 등의 문제로 기존의 동시성 제어 기법을 그대로 사용할 수 없다. 이런 문제를 해결하고자 많은 동시성 제어 기법들이 연구되어 왔는데, 지금까지 제안된 기법들은 편향된 데이터의 접근 패턴을 반영한 브로드캐스트 환경을 고려하지 못하고 있다. 무선 브로드캐스트 환경에서 서버는 일반적으로 모바일 클라이언트의 접근 패턴을 고려하여 편향된 접근 빈도를 갖는 데이터 아이템을 브로드캐스트 한다. 본 논문에서는 무선 브로드캐스트 환경에서 편향된 데이터 접근 패턴을 고려한 동시성 제어 기법을 제안한다. 제안하는 기법은 브로드캐스트 디스크 모델에서 전체 메이저 브로드캐스트 주기마다. 모바일 트랜잭션을 위한 제어 정보를 보내는 것이 아니라 일정한 마이너 브로드캐스트 주기마다. 제어 정보를 전송한다. 이는 접근 빈도가 놓은 데이터가 갱신된 경우 갱신된 내용을 마이너 그룹마다 반영하므로 읽기 전용 트랜잭션이 접근하는 데이터가 최신 정보임을 보장할 뿐만 아니라 갱신 트랜잭션이 최종 검증을 위해서 상향 통신 대역폭을 이용하는 횟수를 줄이고, 보다. 빠른 재실행을 통해 모바일 트랜잭션의 평균 응답시간을 줄여줄 수 있다. 또한 모바일 트랜잭션의 요청이 편향된 경우, 반복적인 트랜잭션의 중단, 재실행으로 인한 성능 저하를 개선하고자 정적 백오프 기법을 이용하여 모바일 트랜잭션 간 충돌 가능성을 줄여준다. 마지막으로 시뮬레이션을 통해 기존의 기법들에 비해 평균 접근 시간, 상향 통신 대역폭 등의 사용량이 현저히 줄어드는 것을 보임으로써 제안하는 기법의 성능을 검증한다.한 평균 access time을 최소화하는 동시에 클라이언트들의 제한된 에너지 소비를 최소화하는데 목적이 있다. 제안기법에 대한 평가는 수학적 분석을 통해 HIDAF 기법과 기존의 브로드캐스트 기법의 성능을 비교 분석한다.하였으나 사료효율은 증진시켰으며, 후자(사양, 사료)와의 상호작용은 나타나지 않았다. 이상의 결과는 거세비육돈에서 1) androgen과 estrogen은 공히 자발적인 사료섭취와 등지방 침적을 억제하고 IGF-I 분비를 증가시키며, 2) 성선스테로이드호르몬의 이 같은 성장에 미치는 효과의 일부는 IGF-I을 통해 매개될 수도 있을을 시사한다. 약 $70 {\~} 90\%$의 phenoxyethanol이 유상에 존재하였다. 또한, 미생물에 대한 항균력도 phenoxyethanol이 수상에 많이 존재할수록 증가하는 경향을 나타내었다. 따라서, 제형 내 oil tomposition을 변화시킴으로써 phenoxyethanol의 사용량을 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 피부 투과를 감소시켜 보다 피부 자극이 적은 저자극 방부시스템 개발이 가능하리라 보여 진다. 첨가하여 제조한 curd yoghurt는 저장성과 관능적인 면에서 우수한 상품적 가치가 인정되는 새로운 기능성 신제품의 개발에 기여할 수 있을 것으로 사료되었다. 여자의 경우 0.8이상이 되어서 심혈관계 질환의 위험 범위에 속하는 수준이었다. 삼두근의 두겹 두께는 남녀 각각 $20.2\pm8.58cm,\;22.2\pm4.40mm$으로 남녀간에 유의한 차이는 없었다. 조사대상자의 식습관 상태는 전체 대상자의 $84.4\%$가 대부분

  • PDF

실시간 상호작용 기술의 '가상현실치료' 적용에 관한 연구 (A study on an application of 'Virtual Reality Therapy' concerning a technology of real-time interaction.)

  • 김정환
    • 만화애니메이션 연구
    • /
    • 통권22호
    • /
    • pp.81-97
    • /
    • 2011
  • 가상현실(Virtual Reality) 기술은 우리 시대에 인간의 희로애락(喜怒哀樂)을 담아내는 진보적 수단으로 자리 잡고 있다. 최근에 인지심리학 분야에서 치료도구로서 사용하기 위한 다양한 시도들이 일어나고 있다. 오감을 통한 가상세계속의 실재감은 현실세계의 인지(Cognition) 의 의미를 재해석해야 할 만큼 우리에게 폭넓게 다가오고 있다. 이러한 패러다임의 변화를 바탕으로 가상현실 기술들을 활용한 새로운 치료방법들이 가능해지고 있는데 그 대표적인 경우가 공황장애를 극복하기위한 행동치료 분야라고 할 수 있다. 특히 가상공간 내에서의 유연한 상호작용(Interaction) 기술의 발전은 환자들이 접할 수 있는 물리적 체험환경을 심리체험의 장으로 유도해 낼 수 있다는 장점을 가지고 있다. 상호작용 기술은 사용자의 물리적 오감을 보다 적극적으로 자극할 수 있는 환경을 제공하며, 가상세계로 부터의 체험정보는 인간으로 하여금 잠재된 에너지들을 새롭게 환기(喚起) 시켜 현실적 경험들로 체득시키기에 매우 유용한 것이다. 가상현실치료의 장점은 장애 환자들의 증상에 따른 맞춤형 치료가 가능하고 치료단계별로 차별화시켜 적용할 수도 있다는 것이다. 각각의 증상과 단계별로 이루어지는 치료과정을 거치면서 환자들로 하여금 현실세계 환경과 상황에 점차 익숙해지게 하여 장애를 치료하는 것이다. 감성공학을 기반으로 한 몰입형 가상현실장비와 반작용 되먹임(force-relative feedback)기술과 입체음향, 그리고 후각을 자극하는 기술들은 인간의 오감을 자극하여 경험을 환기(喚起)시키는데 유용하다. 가상세계에 대한 몰입 감이 주는 장점으로는 도전, 상호작용, 사실성, 환상, 협동성과 같은 현상들이 확대 된다는 점일 것이다. 이러한 현실보강(augmented reality)기능을 확장시켜 치료분야에 적용하고 있는 것으로 최근에는 인터넷을 통한 가상공간과 데이터의 공유기술, 그리고 저렴한 가용성이 그 저변을 확대시키고 있다. 인지적 경험을 위한 능동적인 상호작용 환경을 제공하는 가상현실 치료기술은 두려움 때문에 실제 상황에 직면할 수 없는 환자들에게 적절하게 조절된 환경을 제시해 줄 수 있으며, 비밀이 보장되고, 안전하며, 경제적이라는 이점이 있다. 또한, 실시간(Realtime) 내비게이션을 하는 것을 원칙으로 하기 때문에 빠른 수정보완이 가능하며 안경 없이 입체영상을 볼 수 있는 렌티큘라(lenticular)기술의 보급으로 보다 사실적인 실재감(Presence) 구현이 가능해져서 사이버 멀미현상을 줄일 수 있게 되었다. 그리고 대화식 기술의 발전으로 가상공간 속에서 직접 자신의 손을 이용해서 내비게이션을 하거나 물체를 조종함으로서 실세계와 유사한 실재감에 근접해 가고 있다. 본 논문은 제한적이기는 하지만 장애치료에 활용하고 있는 감성공학기반 가상현실 기술의 특성과 적용범위와 문제점들을 살펴보고 미래의 가능성을 조망해 보고자 한다.

  • PDF

스마트 홈을 위한 영역기반 무선 센서네트워크 관리 프로토콜 (Zone based on Wireless Sensor Network Management Protocol for Smart Home)

  • 김강석;허지완;송왕철
    • 한국인터넷방송통신학회논문지
    • /
    • 제9권5호
    • /
    • pp.65-71
    • /
    • 2009
  • 유비쿼터스 센서 네트워크 기술은 새로운 컴퓨팅 패러다임인 유비쿼터스 컴퓨팅의 핵심 분야로서, 무선 센서 네트워크를 이용한 상황정보 모니터링 시스템에 적합한 기술이다. 이 기술을 모니터링 시스템에 적용하면 열악한 환경에 간편하고 저렴한 비용으로 실시간으로 발생된 상황데이터를 수집 및 분석하여 즉각적인 상황대처와 사용자가 원하는 환경의 조건을 효율적으로 수행할 수 있다. 한편, 센서 네트워크 미들웨어는 에너지 사용에 제약을 가지는 센서 네트워크의 요구사항과 다양한 서비스 제공을 위한 서비스 확장성을 고려하여 센서 네트워크와 응용 서비스가 상호 분리되어 각각의 기능을 수행하고 제어 및 모니터링이 쉽도록 설계되어야 한다. 본 논문에서는 스마트 홈에서 프로파일과 표준화된 관리 프로토콜을 사용하여 무선 센서 네트워크를 영역기반으로 관리하는 프로토콜을 제안한다. 제안된 시스템은 수집될 데이터의 양이 적고 지속적인 모니터링이 불필요하고 일정한 간격으로 특정 지역에서 발생되는 상황을 감지하는 작업에서 기존 유선 통신을 이용한 상황감시보다는 효율적이다.

  • PDF

열화상 시스템에 의한 유빙의 탐지특성에 관한 실험적 연구 (An Experimental Study on the Detection Characteristic of Draft Ice by Thermography System)

  • 조용진
    • 한국산학기술학회논문지
    • /
    • 제18권5호
    • /
    • pp.302-307
    • /
    • 2017
  • 북극해 지역은 해수면의 변화와 다양한 환경적 요인들로 인해 유빙들이 형성되고 이는 자원 개발을 위한 해양시스템 및 운항선박과의 충돌사고에 의한 피해를 유발하고 있다. 극지방의 유빙은 운항중인 석박뿐만 아니라 한 장소에서 오랜 기간 작업을 수행하는 해양자원 시추 및 생산 시스템에 대한 잠재적 사고요인이 된다. 유빙과의 충돌사고 방지를 위해 북극해의 해양자원 시추 및 생산 시스템과 북극 항로를 운항하는 선박에서는 위성 영상 정보 및 탐지 레이더를 이용하여 유빙을 탐지하고 있다. 하지만 가시광선 위성영상은 야간 활용이 불가능하고, 레이더에 의한 탐지도 소형 유빙에 대해서는 탐지확률이 현격히 저조해지는 문제가 있다. 본 연구에서는 유빙의 탐지를 위해 주야간 운용이 모두 가능한 열화상 시스템의 이용 방안에 주목하고 유빙의 탐지특성에 관한 실험적 연구를 수행하였다. 열화상 시스템의 야간 운용성을 파악할 수 있도록 실험조건을 설정하고 계측 각도 변화에 따른 열화상을 계측하였으며, 실험과 동일 조건에 대한 유빙과 해수의 복사에너지를 이론적으로 계한함으로써 계측 결과와의 상호 관계를 파악하였다.

Microwave Irradiation에 따른 용액 공정에 의한 HfOx 기반의 MOS Capacitor의 전기적 특성 평가

  • 장기현;오세만;박정훈;조원주
    • 한국진공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
    • /
    • pp.358-358
    • /
    • 2014
  • 인간과 기기간의 상호작용 심화에 의하여 모든 기기의 지능화, 첨단화 등이 요구됨에 따라 정보 기술 및 디스플레이 기술의 개발이 활발히 이루어지고 있는 가운데 투명 전자 소자에 대한 연구가 급증하고 있다. 산화물 반도체는 가시광 영역에서 투명하고, 비정질 반도체에 비하여 이동도가 100 배 이상 크고, 결정화 공정을 거친 폴리 실리콘과 비슷한 값을 가지거나 조금 낮으며 유연한 소자에도 쉽게 적용이 가능하다는 장점을 가지고 있어 투명 전자 소자 제작시에 주로 이용되는 물질이다. 대부분의 산화물 반도체 박막 증착 방법은 스퍼터링 방법이나 유기금속 화학증착법과 같은 방법으로 막을 형성하는데 이러한 증착 방법들은 고품질의 박막을 성장시킬 수 있다는 장점이 있으나 고가의 진공장비 및 부대 시설이 이용되고 이로 인한 제조비용의 상승이 되고, 기판 선택에 제약이 있는 단점이 있다. 따라서, 이러한 문제점을 개선하기 위하여 고가의 진공 장비가 필요 없이 스핀 코팅 방법이나 딥핑 방법 등에 의하여 공정 단계의 간소화, 높은 균일성, 기판 종류에 상관없는 소자의 대면적화가 가능한 용액 공정 기술이 각광을 받고 있다. 그러나 용액 공정 기반의 박막을 형성하기 위해서는 비교적 높은 공정온도 혹은 압력 등의 외부 에너지를 필요로 하므로 열에 약한 유리 기판이나 유연한 기판에 적용하기가 어렵다. 최근 이러한 문제점을 해결하기 위하여 높은 온도의 열처리(thermal annealing) 를 대신 할 수 있는 microwave irradiation (MWI)에 대한 연구가 보고되고 있다. MWI는 $100^{\circ}C$ 이하에서의 저온 공정이 가능하여 높은 공정 온도에 대한 문제점을 해결할 뿐만 아니라 열처리 방향을 선택적으로 할 수 있다는 장점을 가지고 있어 현재 투명 디스플레이 분야에서 주로 이용되고 있다. 따라서 본 연구에서는 HfOx 기반의 metal-oxide-semiconductor (MOS) capacitor를 제작하여 MWI에 따른 전기적 특성을 평가하였다. MWI는 금속의 증착 전과 후, 그리고 시간에 따른 조건을 적용하였으며 최적화된 조건의 MWI은 일반적인 퍼니스 장비에서의 높은 온도 열처리에 준하는 우수한 전기적 특성을 확인하였다.

  • PDF