산화규소 스페이서에 대한 티타늄과 코발트박막의 안정성
(Process Stability of Titanium and Cobalt Films on $SiO_2$ Spacers)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 2003년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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- pp.93-93
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- 2003