Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1992.05a
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Pages.33-34
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1992

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Characteristics of Low Temperature $SiO_2$ by RPECVD

RPECVD에 의한 저온 규소 산화막의 특성

강진규 (포항공과대학 화학공학과, 재료공정 연구실) ;
김수구 (포항공과대학 화학공학과, 재료공정 연구실) ;
이시우 (포항공과대학 화학공학과, 재료공정 연구실)

Published : 1992.05.01

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Abstract

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