• Title/Summary/Keyword: 산소제어

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ITO 박막 증착 공정시 발생하는 실시간 플라즈마 광 측정 및 산소가스유량제어

  • Park, Hye-Jin;Choe, Jin-U;Jo, Tae-Hun;Hwang, Sang-Hyeok;Park, Jong-In;Yun, Myeong-Su;Gwon, Gi-Cheong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2015.08a
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    • pp.99.2-99.2
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    • 2015
  • 현재 투명전극(Transparent Conductive Oxide: TCO)은 평판 디스플레이, 태양전지, 터치패널, 투명 트렌지스터의 전극 등 여러 분야에서 연구되어지고 있으며, 주로 IT 산업의 핵심재료로 ITO (Indium Tin Oxide)가 사용되고 있다. ITO 박막은 주로 스퍼터 공정을 통해 제작이 되며, 전기전도도가 우수하며 높은 Optical Band Gap을 가지고 있어 투명전극으로 많이 사용되고 연구되어지고 있다. 산화물 박막을 증착할 때 산소유량에 따라 박막의 물성이 변하거나 박막의 특성이 저하되는 현상 등을 가지고 있어 공정시 산소유량이 중요한 변수로 작용하게 된다. 본 연구에서는 증착 공정 중 발생하는 플라즈마의 방출광을 가지고 산소의 대표적인 파장의 방출광을 관찰하여 방출광이 변화함에 따라 실시간으로 산소가스유량이 제어됨을 확인하였으며, 또한 산소유량제어를 통해 생성된 박막의 전기적 특성 및 광학적 특성 등 박막의 물성을 비교하였다.

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Preliminary Experimental Results of Thrust Control for Hybrid Rocket (하이브리드 로켓의 추력 제어 방법에 대한 예비 실험 결과)

  • Lee, Young-Woo;Lee, Min-Jae;Lee, Jong-Lyul;Jung, Sung-Chul;Kim, Hye-Hwan;Huh, Hwan-Il
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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    • 2007.11a
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    • pp.237-240
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    • 2007
  • To control Thrust of propulsion system, we built the 50 N level PE-COx hybrid rocket, and changed the mass flow rate of COx. From the preliminary experiential results, we could see possibility of controlling thrust of the hybrid rocket by controlling mass flow rate of COx.

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Preliminary Study of Thrust Control for Hybrid Rockets (하이브리드 로켓의 추력제어 기법에 대한 기초연구)

  • Yun, Dong-Ik;Kang, Wan-Kyu;Lee, Young-Woo;Lee, Jong-Lyul;Huh, Hwan-Il
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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    • 2008.11a
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    • pp.257-260
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    • 2008
  • In order to control thrust of propulsion system, we built the 50 Newton level PE-GOx hybrid rocket, and changed the mass flow rate of GOx. From the preliminary experiential results, we could see possibility of controlling thrust of hybrid rockets by controlling mass flow rate of GOx.

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증착공정에서 산소유량 제어에 따른 박막 특성 연구

  • Jo, Tae-Hun;Park, Hye-Jin;Yun, Myeong-Su;Gwon, Gi-Cheong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.266.1-266.1
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    • 2014
  • 반도체 및 디스플레이 등의 산업 중 증착공정에서 TCO 등 산화막의(oxide thin film) 중요성은 날로 대두되고 있다. 특히 정밀한 막질을 원하는 공정에서 산소(Oxygen)유량의 차이로 인한 생성된 막질의 변화가 크다. 이로 인하여 여러 연구실에서 다양한 연구가 활발하게 진행중에 있다. 특히 최근 IGZO (In-Ga-ZnO)가 이슈가 되면서 더 다양하게 연구가 진행중이다. 그러나 공정 장비의 노화나 증착공정중장비(Chamber)내부의 미세한 변화가 많아 산소와 공정 기체의 비가 틀어지는 경우가 있고 이를 제어하기는 쉽지 않은 실정이다. 본 연구에서는 먼저 ITO (Indium Tin Oxide)타겟을 통해 스퍼터장비에서 일반적인 공정을 진행한 박막과, 제작된 유량 제어 시스템을 통하여 공정을 진행한 박막을 만들었다. 이를 통해 박막의 차이점을 분석하고 증착공정중 발생하는 플라즈마의 분석도 진행하여 공정의 제어가 가능함을 확인하였다.

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용존산소 제거용 중공사 탈기막의 방사선장하에서의 영향평가에 대한 연구

  • 김문수;이두호;강덕원
    • Proceedings of the Korean Radioactive Waste Society Conference
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    • 2004.06a
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    • pp.229-229
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    • 2004
  • 원자력발전소에서 원자로 냉각재 중의 용존산소 제어는 원자로 냉각재 계통에서의 전면 부식과 다양한 형태의 응력부식균열(SCC)를 완화시키는데 기여한다. 원자로 냉각재 계통내에 용존 되어있는 산소는 발전소 기동 시에는 하이드라진($N_2H_4$)을 넣거나 인위적 배기를 통해 제거하고, 정상운전 중에는 체적제어탱크(VCT)에 수소를 가압하여 제거시킨다. 계통내로 유입되는 용존산소를 최대한 억제하기 위하여 대부분의 원자력발전소는 원자로 보충수 탱크 상층부에 질소를 주입하여 탱크로 유입되는 공기를 차단하고 있으나, 이 과정에서 일부 수중에 용해되어 들어가는 질소는 계통 내에서 NH$_3$를 형성하여 화학체적제어계통(CVCS)의 이온교환 수지탑에 치환됨으로서 기포화 되어있는 Li을 계통으로 빠져나오게 하여 계통 pH에 영향을 미친다.(중략)

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Microcomputer-aided Fermentation System for High Density Fed-Batch Cultivation (마이크로컴퓨터를 이용한 고농도 유가배양시스템)

  • 이형준;이계호허윤행
    • KSBB Journal
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    • v.5 no.3
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    • pp.307-313
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    • 1990
  • A microcomputer-aided fermentation system was constructed for high density fed-batch culture using dissolved oxygen(DO) as a substrate feeding indicator. DO signal was processed prior to aquisition to computer. Agitation speed and oxygen flow rate was changed stepwisely to maintain DO value at a constant level. Agitation speed was controlled by the output signal of D/A converter. Oxygen flow rate was controlled by a flow rate control valve connected to a stepping motor. Substrate was fed with a feeding pump operated by the abrupt increase of DO signal. Methylobacillus sp. SK1 was cultivated to test the system and 16.53g/l of cell density was obtained after 10 hr.

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The injection petrol control system about CMAC neural networks (CMAC 신경회로망을 이용한 가솔린 분사 제어 시스템에 관한 연구)

  • Han, Ya-Jun;Tack, Han-Ho
    • Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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    • v.21 no.2
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    • pp.395-400
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    • 2017
  • The paper discussed the air-to-fuel ratio control of automotive fuel-injection systems using the cerebellar model articulation controller(CMAC) neural network. Because of the internal combustion engines and fuel-injection's dynamics is extremely nonlinear, it leads to the discontinuous of the fuel-injection and the traditional method of control based on table look up has the question of control accuracy low. The advantages about CMAC neural network are distributed storage information, parallel processing information, self-organizing and self-educated function. The unique structure of CMAC neural network and the processing method lets it have extensive application. In addition, by analyzing the output characteristics of oxygen sensor, calculating the rate of fuel-injection to maintain the air-to-fuel ratio. The CMAC may easily compensate for time delay. Experimental results proved that the way is more good than traditional for petrol control and the CMAC fuel-injection controller can keep ideal mixing ratio (A/F) for engine at any working conditions. The performance of power and economy is evidently improved.

Oxygen Isotope Profile and Age Determination of Venus Clam Mercenaria stimpsoni ( Bivalvia : Veneridae ) from the East Sea (동해산 뷔나스백합 ( Mercenaria stimpsoni ) 의 산소동위원소상과 연령추정)

  • Khim, Boo-Keun;Je, Jong-Geel;Han, Sang-Joon;Woo, Kyung-Sik;Park, Yong-Ahn
    • The Korean Journal of Malacology
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    • v.14 no.1
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    • pp.9-17
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    • 1998
  • 동해 연안에서 채취된 뷔나스백합(Mercenaria stimpsoni)의 연령과 성장률을 이매패의 표면에서 확인된 연륜과 이매패 각질에서 분석된 산소동위원소비의 성장에 따른 변화를 이용하여 비교하였다. 뷔나스백합의 산소동위원소상은 일련의 주기적인 변화를 뚜렷하게 보여주며 이러한 변화진폭은 이매패가 성장한 해수의 온도변화에 일차적으로 제어된다. 산소동위원소상의 주기화 연륜의 관계로부터 뷔나스백합의 연륜이 해마다 여름철에 형성됨을 보여준다. 해수 온도의 계절적 변화와 산소동위원소비에서 얻어진 예측 온도와의 비교로부터, 뷔나스백합은 겨울철에 성장이 멈추는 것으로 사료된다. 또한 산소도위원소비는 뷔나스백합의 성장에 따른 전형적인 노화현상을 보여준다. 따라서 이매패가 성장하는 해수의 물리화학적 조건에 의해 제어되는 산소동위원소비는 뷔나스백합의 경우 연령과 성장률을 측정하는 독립적인 시간 척도가 될 수 있다.

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Development of Air Flow Calculation System for Sewage Treatment Plant according to Inflow Water Quality (유입수질에 따른 하수처리장 송풍량 산정 시스템 개발)

  • Shin Geol Kim;Wooseok Yeo;Deok-Hyeon Kim;Jong Kyu Kim
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2023.05a
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    • pp.486-486
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    • 2023
  • 하수처리장 내 생물반응조에서는 유기물을 제거하거나 질산화(Nitrification) 반응을 일으키기 위하여 산소를 요구하고 있으며, 필요한 산소는 송풍기 운영을 통해 공급하고 있는 상황이다. 질산화 반응을 일으키기 위해서 처리장 내 일정 이상의 산소가 수중에 공급되어야 한다. 생물반응조내 용존산소가 부족할 경우 활성슬러지의 침전성이 저해되어 오염물질 저감 효율이 떨어지게 되며, 과도한 산소가 공급되어도 수처리의 효율은 개선되지 않으며 반응에 사용되지 않은 산소들은 대기중으로 방출된다. 또한 유입수질에 따라 실시간으로 반응조 내 필요한 산소는 달라지게 되므로 유입수질에 맞는 효율적인 하수처리장 운영이 요구되고 있다. 하수처리장 내 적절한 산소를 공급하기 위하여 많은 연구들이 활발하게 진행되어 왔으나 실제생물학적 처리시 요구되는 산소의 양을 산정할 수 있는 한계점을 지니고 있으며, 하수 성분, 용량과 같은 환경에 따라 차이를 보이고 있어 범용적으로 사용하기에는 어려움이 있다. 따라서 본 연구에서는 이러한 적용 한계점을 극복하기 위하여 하수도 설계 시 사용되어지고 있는 하수도 시설기준의 산소요구량 및 공기공급량 산정식을 통하여 유입수질에 따라 실제 하수처리장에 필요한 산소요구량 & 공기공급량을 산정하는 시스템을 개발하고자 하였다. 하수도 설계기준의 여러 가지 수식을 실제 하수처리장 내 필요한 요소로 변환시켜 범용적으로 사용가능한 시스템을 개발하였다. 본 연구에서 개발한 하수처리장 송풍량 산정 시스템 적용에 따른 송풍량 절감 효율을 비교분석하기 위하여 2021년 A하수처리장의 4월 월간 데이터를 활용하여 하수처리장에서 필요한 송풍량을 산정하여 실제 사용된 송풍량과 비교 분석하여 송풍량 절감 효율을 분석하였다. 본 연구의 결과를 바탕으로 실제 하수처리장 내 송풍량 산정 시스템을 도입하게 된다면 운전자 경험에 의존하고 있는 수동적인 제어 방식에서 벗어나 자율 제어를 통한 효율적인 하수처리장을 운영할 수 있어 송풍량 절감 및 탄소중립에도 이바지 할 수 있을 것이라고 판단된다.

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A Study of Monitoring and Control Model of Closed Cycle Diesel Propulsion System using Microprocessor ($\mu$-processor를 이용한 폐쇄사이클 디젤추진시스템의 모니터링 및 제어모델에 관한 연구)

  • 유춘식
    • Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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    • v.28 no.6
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    • pp.894-905
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    • 2004
  • The closed cycle diesel propulsion system is free from the problem of the intake air, exhaust gas and their control that are associated with the conventional diesel propulsion system. The system is composed of a main engine, an exhaust cooler. a $CO_2$ scrubber and a $O_2$ mixer. In this paper, a hardware using microprocessor is proposed in order to monitor and control the oxygen and ratio of specific heat for underwater diesel propulsion system. Also simulation is carried out to ascertain the performance of proposed system.