• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2003.03a
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• pp.106-106
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• 2003

반도체 소자의 고집적화에 따라 채널길이와 배선선 폭은 점차 줄어들고, 이에 따라 단채널효과, 소스/드레인에서의 기생저항 증가 및 게이트에서의 RC 시간지연 증가 등의 문제가 야기되었다. 이를 해결하기 위하여 자기정렬 실리사이드화(SADS) 공정을 통해 TiSi2, CoSi2 같은 금속 실리사이드를 접촉 및 게이트 전극으로 사용하려는 노력이 진행되고 있다. 그런데 TiSi2는 면저항의 선폭의존성 때문에, 그리고 CoSi2는 실리사이드 형성시 과도한 Si소모로 인해 차세대 MOSFET소자에 적용하기에는 한계가 있다. 반면, NiSi는 이러한 문제점을 나타내지 않고 저온 공정이 가능한 재료이다. 그러나, NiSi는 실리사이드 형성시 NiSi/Si 계면의 산화와 거침성(roughness) 때문에 높은 누설 전류와 면저항값, 그리고 열적 불안정성을 나타낸다. 한편, 초고집적 소자의 배선재료로는 비저항이 낮고 electro- 및 stress-migration에 대한 저항성이 높은 Cu가 사용될 전망이다. 그러나, Cu는 Si, SiO2, 실리사이드로 확산·반응하여 소자의 열적, 전기적, 기계적 특성을 저하시킨다. 따라서 Cu를 배선재료로 사용하기 위해서는 확산방지막이 필요하며, 확산방지재료로는 Ti, TiN, Ta, TaN 등이 많이 연구되고 있다.

• Journal of computational fluids engineering
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• v.9 no.3
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• pp.66-72
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• 2004

전도 열전달 분야에서 두 물체가 접해 있는 경우, 접촉 열저항은 고려해야 할 중요한 요소이다. 특히 최근에는 전자부품의 과열방지를 위한 열 소산과 관련하여 접촉 열저항 문제는 중요하게 대두되고 있으며 이에 관련한 많은 이론적 연구와 응용연구가 수행되고 있다. 접촉 열저항은 주로 거친 두 물체표면의 불완전접촉에 기인한다. 본 연구에서는, 접촉하는 두 물체사이의 접촉면을 이상화시킨 비교적 간단한 문제를 이론적으로 해석함으로써 접촉면의 틈새 형상 및 비접촉면적비(비접촉면적/외관접촉면적)의 크기에 따른 접촉 열저항의 크기를 구하였다.

• Proceedings of the Korean Society of Soil and Groundwater Environment Conference
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• 2003.09a
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• pp.447-453
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• 2003

연구지역은 경남 양산시 상북면 삼삼리 일원으로 양산단층과 인접하며 급한 경사의 자연사면으로 이루어져 있다. 수치지형자료를 이용하여 고도값을 갖는 자료층을 추출한 후 10m$\times$10m 크기의 격자별로 DEM으로 변환하고, 이로부터 단위 격자의 경사도, 경사방향도, 음영도를 작성하고 흐름분배 알고리즘을 이용하여 설정된 격자별로 상부사면의 기여면적과 습윤지수를 산정하였다. 높은 습윤지수를 보이는 지역은 북서-남동 방향의 선형구조로 나타나며, 국소지역의 전단단열 특성과 일치한다. 한편 연구지역에서 전기비저항 탐사를 실시하여 높은 습윤지수를 나타내는 지역과 저비저항 이상대의 분포를 비교한 결과 습윤지수가 높은 지역은 모두 낮은 전기비저항 이상대로 관찰된다. 즉 습윤지수는 암석의 화학적 풍화를 수반하는 파쇄대의 분포와 일치하며 이를 토대로 국소지역에서 파쇄대의 예측과 암석의 안정성을 예측하는 방법으로 이용될 수 있다.

• Proceedings of the Computational Structural Engineering Institute Conference
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• 2010.04a
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• pp.632-635
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• 2010

본 논문에서는 다중벽 탄소 나노튜브를 작동유체로 사용하는 전자장치 냉각용 소형 히트파이프의 열적성능을 실험적으로 확인 하였다. 실험의 결과들을 바탕으로 다중벽 탄소 나노튜브 나노유체를 작동유체로 사용하는 히트파이프의 열저항은 동일한 충진량을 가지는 물을 작동유체로 사용한 히트파이프와 비교하여 나노유체의 부피비가 0.5%일때, 최대 18.6% 감소한다. 다중벽 탄소 나노튜브 나노유체의 열저항은 동일한 입열량에서 나노유체의 부피비가 증가 할수록 감소하는 것을 알 수 있다. 이를 통하여 다중벽 탄소 나노튜브 나노유체 히트파이프의 열저항은 나노유체의 부피비에 변화에 따라서 변한다는 것을 확인 할 수 있으며, 추가적으로 증발부에서 유체의 기화로 인한 나노입자의 증착에 의하여 열전달 표면적의 증가 또한 열저항의 감소 원인으로 예측가능 하다.

• Journal of Korean Tunnelling and Underground Space Association
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• v.17 no.3
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• pp.283-293
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• 2015

In order to evaluate corrosion resistance of steel fiber-reinforced concrete, accelerated chloride migration and surface resistivity tests were conducted. In addition air content of fresh concrete, compressive strength and water absorption were measured for investigating fundamental characteristics of concrete. Two different water-cement ratios(0.44, 0.5) and three steel fiber contents(0.25%, 0.5%, 1%) were considered as variables. Note that all specimens cast with same compaction work. As a results, corrosion resistance decreased as steel fiber contents increased regardless of water-cement ratio when the concrete was compacted with same amount of work done. However, for concrete with same steel fiber content, the lower water-cement ratio showed the better corrosion resistance. It is found that enhancement of fluidity and enough compaction should be done for corrosion resistance of SFRC.

• The Journal of Engineering Geology
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• v.30 no.4
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• pp.525-539
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• 2020

A site containing buried solid waste and treated water and oil storage containers from a leather manufacturing plant was studied through soil and groundwater pollution and electrical resistivity surveys with the aim of identifying areas polluted by leachate generated by landfilling with leather waste and leakage wastewater. It was found that TPH and Zn exceeded environmental standards for soil pollution and, for leachate and groundwater, Cr(VI) concentrations exceeded standard levels for groundwater quality. An electrical resistivity survey was used to elucidate soil and groundwater pollution characteristics and diffusion pathways. Ten survey lines were set up with an electrode spacing of 5 m in a dipole-dipole array. The hydraulic characteristics of soil determined by groundwater contamination surveys matched well the low-resistivity-anomaly zones. Electrical resistivity surveys of areas containing contaminated soil and groundwater that have irregular strata due to waste reclamation are thus useful in highlighting vertical and horizontal pollutant diffusion pathways and in monitoring contaminated and potentially contaminated areas.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.3 no.2
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• pp.190-197
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• 1994

본 연구에서는 DC magnetron 스퍼터링법을 이용하여 고정밀, 고저항 저항체 박막으로 TaNx film을 제조하였을 때 형성될 수 있는 화합물 중 TaN0.1, TaN0.8과 TaN 박막의 Rs와 TCR특성을 평가하 고 film층의 우선방향성을 XRD를 이용하여 판명한 뒤 저항체의 Rs와 TCR에 미치는 영향을 조사하였 다. TaN0.1 박막이 35$\Omega$/$\square$의 면저항값과 안정된 TCR값을 나타내는 것을 알수 있었다. 두께50~200nm 의 TaN0.1과 Alumina 기판 사이에 정(+)의 TCR을 갖는 약 50nm의 Cr층을 증착하였을 때 Rs는 180$\Omega$/ $\square$ 과 TCR는 20ppm/$^{\circ}C$인 적층박막을 제조할 수 있었다. TaN0.1, TaN0.8 과 TaN 시편에서 화합물 형성 에 따른 Ta의 결합에너지를 ESCA를 이용하여 조사하였다. 이상의 연구결과로부터 TaN0.1 film이 TaNfilm 보다 고정밀, 고저항 박막 저항체 제조에 있어 우수한 전기저항 특성을 가지며 Cr 중간층 형성 으로 TCR이 $\pm$ppm/$^{\circ}C$정도로 안정된 고정밀 다층 저항체 박막을 형성할 수 있었다.

• Geophysics and Geophysical Exploration
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• v.9 no.1
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• pp.44-49
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• 2006

In this study, the resolution capabilities of electrical resistivity tomography (ERT) in the monitoring of $CO_2$ injection are investigated. The pole-pole and bipole-bipole electrode configuration types are used between two uncased boreholes straddling the $CO_2$ plume. Forward responses for an initial pre-injection model and three models for subsequent stages of $CO_2$ injection are calculated for the two different electrode configuration types, noise is added and the theoretical data are inverted with both L1- and L2-norm optimisation. The results show that $CO_2$ volumes over a certain threshold can be detected with confidence. The L1-norm proved superior to the L2-norm in most instances. Normalisation of the inverted models with the pre-injection inverse model gives good images of the regions of changing resistivity, and an integrated measure of the total change in resistivity proves to be a valid measure of the total injected volume.

• Journal of the Korean Geophysical Society
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• v.3 no.2
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• pp.77-90
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• 2000

Five electrical resistivity dipole-dipole and two seismic reflection surveys were performed in the southeastern margin of the Yongdong basin to delineate the shallow basin architecture. To investigate the intra-basin structure, twenty four resistivity sounding points and three dipole-dipole lines were selected especially in the vicinity of volcanic masses. The basin-fault boundaries are identified in electrical dipole-dipole resistivity section as high resistivity-contrast of approximately $1,500\;{\Omega}{\cdot}m$, characterized as a band of high standard-deviation. They are also effectively clarified in the seismic reflection data: amplitude and continuity contrasts in the common shot gather, first-arrival profiles, complex attribute plots. The intra-basin resistivity structures are constructed by interpolating vertical electrical sounding data and dipole-dipole profiles. The high-resistivity anomalies most likely originate from the northsouth-trending and northeast-dipping volcanic masses, which are to be further quantitatively investigated with geomagnetic and magnetotelluric surveys.

• Journal of the Korean earth science society
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• v.24 no.4
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• pp.361-368
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• 2003

We have investigated the electric resistivity structure of the fault zone located in the Hongseong area where a big earthquake with M 5.0 occurred in 1978. Usually, Electric and Electromagnetic methods are broadly operated in the field of engineering works since these methods are effective to understand the distribution of geological weak zones - fault or fracture zones. We have conducted the dipole-dipole array resistivity method and MT(magnetotelluric) method and interpreted the resistivity distribution of the fault zone with the aid of various inversion methods. An MT survey was performed at 18 points along a 2.9 km survey line perpendicular to the fault line and a magnetic dipole source was used to enhance the S/N ratio in the high frequency. A Electric dipole-dipole array resistivity survey with the dipole length of 50 meters was carried out perpendicular to the fault. In view of two survey results, the fault marks the boundary between two opposite resistivity structures, especially the low resistivity zone is exhibited deeply through the prospective fault line. The result that the low resistivity zone is located at the center of the fault zone corresponds with the fact that the fault zone of the Hongseong area is active. We expect these results to provide basic information about the physical properties of fault zones in Korea.