• Title/Summary/Keyword: 분리빔형성

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산소 및 아르곤 이온 보조빔을 이용하여 증착한 저온 Indim Tin Oside(ITO) 박막의 특성 연구

  • 김형종;김정식;배정운;염근영;이내응;오경희
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 1999.07a
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    • pp.100-100
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    • 1999
  • 가시광선 영역에서 높은 광학적 투과성과 함께 우수한 전기 전도성을 갖는 ITO 박막은 디스플레이 소자나 투명전극재료 등 다양한 분야에서 응용성이 더욱 증대되고 있다. 증착기판으로서 유리를 사용할 때 생기는 활용범위 제한을 극복하고자 최근 유기물 위에 증착이 가능한 저온 증착방법에 대한 연구가 활발히 이루어지고 있다. 그 가운데 이온빔과 같은 energetic한 beam을 이용한 박막의 제조는 기판을 플라즈마 발생지역으로부터 분리시켜 이온빔의 flux 및 에너지, 입사각 등의 자유로운 조절을 통해 상온에서도 우수한 성질의 박막 형성 가능성이 제시되어 왔다. 본 연구에서는 ion beam assisted evaporation방법을 이용하여 ITO 박막을 성장시켰으며, ion-surface interaction 효과가 박막 성장주에 미치는 영향을 이해하기 위하여 먼저 반응성 산소 이온빔에 비 반응성 아르곤 이온빔을 다양하게 변화시켜가며 증착하였으며, 이와 더불어 산소 분위기에서 아르곤 이온빔에 의한 ITO 박막의 특성 변화를 각각 관찰하였다. 증착전 후의 열처리 없이 상온에서 비저항이 ~10-4$\Omega$cm 이하로 낮고 80% 이상의 투과율을 갖는 ITO 박막을 성장시켰다. 실험에서 이용된 e-beam evaporation 물질은 In2O3-SnO2(1-wt%)였으며, 이온빔 source는 산소에 의한 filament의 산화를 막기 위해 filament cathodes type이 아닌 rf(radio-frequency)를 사용하였다. 중요 증착변수인 이온빔의 flux 변화는 산소와 Ar의 flow rate를 MFC로 조절하고 rf power를 변화시켜 얻었으며, 이온빔 에너지는 가속 grid의 가속전압 변화와 ion gun과 기판사이의 거리 조절을 통해 최적화하였다. 이온빔의 에너지와 flux는 Faraday cup으로 측정하였으며, 성박된 박막의 특성은 UV-spectrometer, 4-point probe, Hall measurement. $\alpha$-step, XRD, XPS 등을 이용하여 광학적, 전기적, 구조적 특성을 분석하였다.

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Analysis of Performance of Focused Beamformer Using Water Pulley Model Array (수차 모형 배열을 이용한 표적추정 (Focused) 빔형성기 성능분석)

  • 최주평;이원철
    • The Journal of the Acoustical Society of Korea
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    • v.20 no.5
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    • pp.83-91
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    • 2001
  • This paper proposes the Focused beamforming to estimate the location of target residing near to the observation platform in the underwater environment. The Focused beamforming technique provides the location of target by the coherent summation of a series of incident spherical waveforms considering distinct propagation delay times at the sensor array. But due to the movement of the observation platform and the variation of the underwater environment, the shape of the sensor array is no longer to be linear but it becomes distorted as the platform moves. Thus the Focused beamforming should be peformed regarding to the geometric shape variation at each time. To estimate the target location, the artificial image plane comprised of cells is constructed, and the delays are calculated from each cell where the target could be proximity to sensors for the coherent summation. After the coherent combining, the beam pattern can be obtained through the Focused beamforming on the image plane. Futhermore to compensate the variation of the shape of the sensor array, the paper utilizes the Nth-order polynomial approximation to estimate the shape of the sensor array obeying the water pulley modeling. Simulation results show the performance of the Focused beamforming for different frequency bands of the radiated signal.

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펄스레이저 증착법의 원리와 응용

  • 이상렬
    • 전기의세계
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    • v.45 no.5
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    • pp.17-22
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    • 1996
  • PLD 장치는 진공 또는 반응가스가 채워진 챔버안에 다층 박막을 증착시킬 수 있는 여러개의 타겟홀더와 기판홀더가 존재하고 물질을 기화시켜 박막을 증착시키기 위해 외부 에너지원으로 고출력 레이저가 사용되며, 일련의 광학장치들은 타겟표면에 레이저 빔을 접속시키고 주사하기 위해 사용된다. 타겟표면에 접속된 레이저 빔은 타겟표면 물질을 플라즈마 (또는 플룸) 상태로 만들고 이 플룸이 결정화에 알맞는 온도로 가열된 기판위에서 결정구조를 가진 박막을 형성한다. 진공장치와 기화에너지원의 분리는 PLD 시스템을 유연하게 해서 내부적으로 기화에너지원의 사용에 의한 제한없이 다른 동작 모드에 쉽게 적용할 수 있다.

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Partial Field Decompositon Using Beamforming Method Under Reflective Condition (반사면이 존재하는 환경에서 빔포밍 방법을 이용한 부분 음장 재구성)

  • 선종천;강연준
    • Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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    • 2003.11a
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    • pp.730-734
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    • 2003
  • A beamforming method is a kind of spatial filter that focus the amy's signal capturing abilities in a desired direction. In this paper, we detect the location of a source under reflective condition using the multi-dimensional MUSIC algorithm then, we can iud the image source locations from the experimental geometry, and we reconstruct the partial fields for direct wave and reflected wave by using Adaptive nulling algorithm. Numerical simulations are performed to verify its performance under various conditions.

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Measurement of Oblique Incidence Reflection Coefficient Using Beamforming Method (빔형성 방법을 이용한 경사 반사계수 측정)

  • 주형준;강연준
    • Transactions of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering
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    • v.13 no.6
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    • pp.438-444
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    • 2003
  • A method using beamforming algorithm has been developed to measure oblique incidence reflection coefficients of sound absorption materials. MUSIC(multiple signal classification) method detects the angles of incidence and reflection. By separating the incident and reflected waves using beamforming method, the reflection coefficient is calculated. Spatial smoothing technique Is also used to reduce the coherence between the incident and reflected waves. Numerical and experiment results are performed to verify the accuracy of proposed method.

Mitigation of Inter-Symbol Interference in Underwater Acoustic Communication Using Spatial Filter (공간 필터를 이용한 수중음향통신의 인접 심볼 간 간섭 완화)

  • Eom, Min-Jeong;Park, Ji-Sung;Ji, Yoon-Hee;Kim, J.S.
    • The Journal of the Acoustical Society of Korea
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    • v.33 no.1
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    • pp.48-53
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    • 2014
  • The underwater acoustic communication (UAC) is characterized by doubly spread channel. It is included in the time-variant doppler shift and delay-time spreads due to multiple paths. To compensate such distorted signals, various techniques including time-reversal processing, spatial diversity, phase estimator, and equalizer are being applied. In this paper, a spatial filter based on the beamforming is proposed as a method to mitigate such inter-symbol interferences that are generated in time-varying multipath channels. The proposed technique realizes coherent communications by steering the direction of the desired signals and improves the performance of UAC by increasing the signal-to-interference plus noise ratio using the array gain.

The Effect of Reference Mic. Array Shape on MUSIC and Beamforming Methods in Acoustical Holography (음향 홀로그래피에서 기준 마이크로폰 어레이가 빔형성 방법과 다중 신호 분리 방법에 미치는 영향)

  • 이원혁;이명준;강연준
    • Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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    • 2001.05a
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    • pp.1003-1008
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    • 2001
  • In beamforming method, source positions are predicted by MUSIC (Multiple Signal Classification) power method and composite sound fields can then be decomposed into each partial field by beamforming, detenninistically without restriction of the distance between reference microphones and sources. However, reference microphone array shape is important in both MUSIC and beamforming method. Thus the present paper describes the effect of the reference microphone array shape.

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Laser beam Surface Modification(1): Non-melting Processes (Laser beam 표면개질 (I) : 비용융에 의한 표면개질)

  • 김정수;서정훈
    • Journal of Welding and Joining
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    • v.15 no.5
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    • pp.25-35
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    • 1997
  • 현재, 표면개질에 주로 많이 사용되는 레이저는 세 종류로서, C $O_{2}$$laser(파장길이:10.6.\mum),$ Nd:YAG(neodymium-doped yettrium aluminum garnet) $laser(파장길이:1.06.\mum)$ 및 excimer laser(157~350nm) 등이다. 이 외에도 초기에는 ruby레이저빔이 사용되기도 하였으나, 현재는 많이 사용되고 있지 않다. 레이저 빔에 의한 표면개질에는 몇가지 장점이 있는데, 이러한 장점은 주로 급속가열과 급속냉각 효과에 기인하는 것이다. 즉, 1) 급냉효과에 의한 미세한 결정입자 형성, 2) 불안정상 (metastable phase) 또는 비정질 상 생성, 3) 열역학적 용해도 보다 높은 용해도. 4) 편석이 없는 균질한 미세조직, 5) 극히 낮은 기공도, 6) 좁은 열영향 부위, 7) 표면층과 모재 사이의 높은 결합력 등이다. 이 외에도 공정상의 장.단점들이 Ref.5, 6에 잘 요약 정리되어 있다. 지금까지 국내에서 레이저 표면개질에 대한 조사가 몇몇 있었으나, 본 조사에서는 보통 많이 다루어지지 않은 부분, 즉 충격경화 및 표면제어에 비중을 두었으며, 비용융 부분(I)과 용융부분(II)을 분리하여 정리하였다.

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A New Receiver Combining Antenna Array Receiver and Successive Interference Cancelling Multiuser Detector in DS/CDMA Systems (DS/CDMA 시스템에서 안테나 배열 수신기와 연속 간섭 제거 다중 사용자 검출기를 결합한 새로운 수신기)

  • 유성균;곽경섭
    • Journal of Korea Multimedia Society
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    • v.5 no.5
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    • pp.582-589
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    • 2002
  • In this paper, we propose a new method that combines antenna array, which employs any beamforming algorithm, and successive interference cancelling multiuser detector which improves the performance of the receiver and analyse its performance. Antenna away receivers can improve the performance by spatially discriminating among the users and reducing the multiple access interference. But the performance of the receivers degrades when the difference of the direction of arrival of the users are too small. Many interference cancelling multiuser detectors have been suggested for DS/CDMA systems which have low complexity for their performance. In this paper, we show how to mitigate such a degradation by combining successive interference cancelling multiuser detector.

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Self-Assembly Monolayers 처리 공정이 블록 공중합체를 이용한 나노패턴 제조에 미치는 영향

  • Hwang, Yeong-Hyeon;Gwon, Sun-Muk;Kim, Yeong-Hwan;Jo, Won-Ju;Kim, Yong-Tae
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.339-339
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    • 2011
  • 기존의 광학리소그래피방법으로는 나노크기의 패턴을 형성하는데에 있어서 많은 제약이 있으며, 사실상 수십나노크기의 패턴을 형성하는데에는 전자빔리소그래피등 새로운 패턴형성 방법이 요구되고 있다. 블록 공중합체를 이용한 나노 패턴은 서로 다른 화학적 구조를 가지는 고분자들이 공유결합으로 연결되어 있는 분자구조를 이용하여, 하나의 분자 내에 서로 다른 블록들이 상분리를 일으키려는 것과 동시에 이들의 공유결합으로 인해 그 정도가 제한되는 것을 이용하여 라멜라, 실린더, 구 등의 주기적으로 배열된 형태의 구조물을 형성하는 패터닝 기술이다. 블록 공중합체를 이용한 나노크기의 패턴 형성은 열역학적으로 안정적인 구조이며, 대면적으로 구현 할 수 있어서 차세대 소자제작을 위한 제작기술로 많은 관심을 가지고 있다. 하지만 블록공중합체를 이용한 나노패턴 기술은 선행적으로 나노구조체를 결함이 없고, 원하는 형태로 제작 할 수 있는 공정의 확립이 필요하다. 따라서 본 연구에서는, 이러한 블록 공중합체을 이용한 나노패턴을 제조하는 공정에서, 폴리스틸렌과 실리콘 산화물 박막과의 표면반응을 막기 위한 Self-Assembly Monolayers (SAMs) 처리 공정이 패턴 형성에 미치는 영향을 알아보기 위하여 MPTS의 농도 및 처리시간을 변화시켰다. 나노패턴을 분석, 확인하기 위하여 Atomic Force Microscopic (AFM)과 Field Emission Scanning Electron Microscope (FESEM)을 이용하였다.

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