PECVD 증착 조건에 따른 SiNx:H 반사방지막의 구조적 및 광학적 특성 (The structural and optical characteristics of antireflective SiNx:H thin films deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 2009년도 추계학술발표대회
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- pp.49.1-49.1
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- 2009