Effects of Abrasive Size and Surfactant Concentration on the Non-Prestonian behavior of Nano-Ceria Slurry for STI CMP (STI CMP용 나노 세리아 슬러리의 Non-Prestonian 거동에서 연마 입자의 크기와 계면활성제의 농도가 미치는 영향)
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- Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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- 2003.11a
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- pp.64-64
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- 2003