디지털 시대가 본격화 되면서 가정의 정보가전 기기들이 디지털 가전기기로 바뀌고 이를 하나의 네트워크로 구성하고자 하는 노력들이 홈네트워크(Home Network)와 가정자동화(Home Automation)를 구축하려는 바람으로 일고 있다. 하지만 이 새로운 시스템은 현재의 가정에 도입하기에 엄청난 초기비용과 전문기기의 필요성, 그리고 설치를 위한 까다로운 문제 등 제약사항이 너무나 많다. 또한 가정자동화의 기본 바탕인 자동화 설비기기 의 중요성은 부각되지 않은 채 주요 가전기기의 자동화 기술만 홍보하고 있어 기 건축된 아파트나 가정에서의 가정자동화 시스템의 도입은 다른 세상 이야기와 같다. 본 논문에서는 전문적인 가정자동화기가 아직 갖추어져 있지 않은 범용적인 일반가정에서 PLC 기반의 통신기술을 사용하여 새로운 배선공사 필요 없이 모듈화된 설비기기로의 교체와, 또한 기존의 가전기기를 최대한 활용하여 전용기기 못지않은 가정자동화 시스템을 구축할 수 있는 방향과 방법을 제시하고자 한다. 이로 인해 전체적인 시스템 초기 구축비용 면에서도 저렴해 지고, 쉬운 설치와 사용방법으로 인해 가정자동화 시스템의 보급에 큰 기여를 할 것이다.
본 논문에서는 VLSI layout CAD에 있어서의 새로운 그로발 라우팅(global routing) 기법을 제안하고 이에 관하여 논하였다. 종래의 그로발 라우터에서는 핀의 위치를 모두 셀의 중앙에 두었기 때문에 신호선의 채널 사용량을 정확히 산출할 수 없었다. 그 결과 디테일드 라우팅 (detailed routing)시 배선량 overflow가 발생하여 100% 결선을 저해하는 많은 요인을 내포하고 있었다. 본 논문에서는 이러한 문제점을 모두 보완하기 위하여 핀순서를 고려한 새로운 방법의 그로발 라우팅 알고리즘을 제안하였다. 이 알고리즘을 사용하여 그로발 라우터를 실현하고, 계산기상의 실험 결과를 통하여 제안한 알고리즘의 유용성을 보였다.
무전해 도금법은 외부 전원을 인가하지 않고 환원제를 이용하여 자발적으로 금속 도금층을 형성시키는 기술로, 용액내의 환원제가 산화될 때 방출되는 전자가 금속 이온에 전이하여 금속을 코팅하는 기술이다. 그 중에서도 Cu 무전해도금은 박막 형성의 용이성 및 간단한 제조 공정으로 인한 제조 원가 절감 등의 장점으로 인해 반도체 소자 배선부분에서 건식방식으로 발생되는 한계점들에 대한 해결 기술로 주목받고 있다. 또한, 이 기술은 금속 이온이 환원제에 의해 금속으로 석출되기 때문에, 피도금물이 무전해 도금액과 균일하게 접촉하고 있으면 균일한 도금 두께를 얻을 수 있는 장점이 있어서 복잡하고 다양한 형상의 제품에 적용이 가능하다. 본 연구에서는 플라스틱, PCB 등 다양한 기판에 도금 환원제, 온도 및 시간 등 도금변수를 변경하여 Cu 도금막을 형성한 후 그 특성을 평가하였다. 도금층 두께 분석을 위해 field emission scanning electron microscope (FE-SEM), energy-dispersive spectroscopy (EDS)를 사용하였으며, 박리성 평가를 위해 cross-cutting test를 실시하였다. 실험 결과, 두께 $1{\sim}3{\mu}m$ 급의 균일한 도금층이 형성된 것을 확인하였으며, $85^{\circ}C/85%$ 고온고습 조건에서 168시간 후 박리성 평가 결과, 결함 없는 양호한 표면을 나타내었다.
전통적인 조명이 고효율 LED(Light Emitting Diode)로 빠르게 대체되고, 에너지 효율의 극대화를 위한 다양하고 효과적인 조명 제어 기술이 요구되고 있다. 본 논문에서는 LAN(Local Area Network)과 PAN(Personal Area Network) 기반의 유무선 통신기술을 이용하여 다양한 방법으로 LED 조명을 제어 할 수 있는 조명 제어 장치를 설계하고 구현한다. 구현된 장치는 조명 설치의 복잡한 배선 작업과 설치 작업 비용을 절감하고, 필요한 곳만 선택적으로 자동 또는 수동으로 조명을 제어할 수 있도록 제어 장치를 설계하여 전력 소비량을 최소화할 수 있다. 실험을 통해 개발된 LED 조명 제어 장치의 기능이 정상적으로 동작함을 확인하였다.
건어물 중의 냄새나는 질소화합물을 증류동시 추출법으로 추출하여 GC-MS로 분석하였다. Amine의 equivalent chain length를 구하여 머무름시간으로부터 탄소수와 차수를 예측할 수 있었다. 새우, 멸치, 북어, 대구, 오징어, 문어, 쥐포, 병어포, 홍합, 조갯살 등 우리 나라에서 많이 식용되는 시료를 분석대상으로 하였다. Dimethylamine, trimethylamine, diethylamine 등은 건어물에서 검출되지 않았으나 methylamine, acetamide, thiazole, 2-hydroxy isopropylamine, N-methyl pyrroline, cyclohexylamine 같은 냄새나는 질소화합물들이 GC-MS로 확인되었다. 건어물의 냄새패턴을 식별하기 위하여 GC-MS 피크면적을 자료로 주성분분석을 적용하였다. 주성분분석에 의한 다변량해석은 건어물의 냄새패턴의 유사성과 이질성의 식별에 유익하다는 결론을 얻었다.
We manufactured the inkjet printing system for the application into the nano Ag finger line interconnection process in Si solar cells. The home-made inkjet printer consists of motion part for XY motion stage with optical table, head part, power and control part in the rack box with pump, and ink supply part for the connection of pump-tube-sub ink tanknozzle. The ink jet printing system has been used to conduct the interconnection process of finger lines on Si solar cell. The nano ink includes the 50 nm-diameter. Ag nano particles and the viscosity is 14.4 cP at $22^{\circ}C$. After processing of inkjet printing on the finger lines of Si solar cell, the nano particles were measured by scanning electron microscope. After the heat treatment at $850^{\circ}C$, the finger lines showed the smooth surface morphology without micropores.
현재 광양항을 비롯한 수출입 항만에서 선박의 관제, 예선, 도선 작업은 선사와 상관없이 입출항 순서 등과 같은 요소에 따라 공동 배선제로 운영되고 있다. 또한, 이것마저도 수작업에 의해서 매우 비효율적으로 이루어 지고 있다. 따라서 선박의 접·이안 등에 대한 업무의 표준화와 디지털화를 통하여 항만 및 선박 운용의 효율성을 높이기 위한 시스템의 개발이 절실히 요청되고 있다. 본 연구에서는 선박의 위치정보, 도예선 스케쥴, 입출항 운영정보, 기상정보 등과 같은 빅데이터에 기반한 스마트 항만 운용시스템을 설계하여 항만 및 선박 운용의 효율성을 높이는 방안을 제시하였다.
차세대 반도체의 초미세 Cu 배선 확산방지층 적용을 위해 원자층증착법(atomic layer deposition, ALD) 공정을 이용하여 증착한 RuAlO 확산방지층과 Cu 박막 계면의 계면접착에너지를 정량적으로 측정하였고, 환경 신뢰성 평가를 수행하였다. 접합 직후 4점굽힘시험으로 평가된 계면접착에너지는 약 $7.60J/m^2$으로 측정되었다. $85^{\circ}C$/85% 상대습도의 고온고습조건에서 500시간이 지난 후 측정된 계면접착에너지는 $5.65J/m^2$로 감소하였으나, $200^{\circ}C$에서 500시간 동안 후속 열처리한 후에는 $24.05J/m^2$으로 계면접착에너지가 크게 증가한 것으로 평가되었다. 4점굽힘시험 후 박리된 계면은 접합 직후와 고온고습조건의 시편의 경우 RuAlO/$SiO_2$ 계면이었고, 500시간 후속 열처리 조건에서는 Cu/RuAlO 계면인 것으로 확인되었다. X-선 광전자 분광법 분석 결과, 고온고습조건에서는 흡습으로 인하여 강한 Al-O-Si 계면 결합이 부분적으로 분리되어 계면접착에너지가 약간 낮아진 반면, 적절한 후속 열처리 조건에서는 효과적인 산소의 계면 유입으로 인하여 강한 Al-O-Si 결합이 크게 증가하여 계면접착에너지도 크게 증가한 것으로 판단된다. 따라서, ALD Ru 확산방지층에 비해 ALD RuAlO 확산방지층은 동시에 Cu 씨앗층 역할을 하면서도 전기적 및 기계적 신뢰성이 우수할 것으로 판단된다.
급격한 공정 기술의 발전과 새로운 소재의 도입은 공정 제어를 어렵게 할 뿐만 아니라, 공정 편차를 증가시킨다. 이러한 공정 편차는 레이아웃상의 데이타와 실제 웨이퍼 상의 데이타간의 차이를 유발시킴으로써, 설계자가 원하는 성능을 갖는 회로를 구현하는데 많은 장애가 되고 있다. 따라서, 본 논문은 공정 편차가 회로의 특성에 미치는 영향을 $0.13{\mu}m$ 이하의 설계에 반영 할 수 있도록 배선의 worstcase를 정확하고 빠르게 결정할 수 있는 새로운 설계 환경을 구현하였다. 이를 위하여 Common Geometry와 Maximum Probability 기법을 개발하였으며, 이들을 기반으로 새로운 worstcase 최적화 알고리즘을 제안하였다. 본 논문께서 제안된 알고리즘의 정확성 검증은 UMC $0.13{\mu}m$ Logic 공정을 사용하여 제작된 31단 Ring Oscillator의 시간 지연(Delay time)을 측정값과 비교하였다. 검증 결과, 제안된 알고리즘을 사용하여 worstcase 최적화를 할 경우, 신호선 위에 도선이 있는 경우와 없는 경우 모두 상대 오차가 1.0% 내외로 기존의 optimizer를 사용한 경우에 비하여 두배이상 정확함을 알 수 있었다. 또한, 새로운 worstcase 설계 환경을 사용하여 최적화한 경우, 기존의 optimizer를 사용하여 최적화한 경우에 비하여 worstcase 최적화 속도가 약 32.01% 단축되었음을 확인하였다. 더불어, 기존의 방법으로 정확한 시뮬레이션이 어려웠던 비정규분포를 갖는 경우에 대해서도 정확한 worstcase를 예측함을 확인하였다.
전해전착법을 이용한 상감(damascene)구리 배선 충전시 레벨러 효과에 대해 연구하였다. 레벨러를 첨가한 도금액과 첨가하지 않은 도금액을 제조하여 선 폭이 $0.37{\mu}m,\;0.18{\mu}m$인 선형 트렌치를 충전한 후 field emission scanning electron microscope(FE-SEM)로 트렌치 단면을 관찰하였다. 레벨러로 Janus Green B를 사용하였으며, 억제제로서 polyethylene glycol(PEG), 촉진제로서 3-mercapto-1-propansulfonic acid를 사용하였다 레벨러를 첨가하지 않은 경우 $0.37{\mu}m$(종횡비 2.7:1) 트렌치를 공극 없이 충전할 수 있었으나 $0.18{\mu}m$(종횡비 5.25:1) 트렌치에서는 공극(void)이 형성되었다. 레벨러를 첨가한 경우에는 $0.18{\mu}m$ 트렌치를 공극 없이 충전할 수 있었다. 레벨러를 첨가하지 않은 경우 트렌치 모서리에서의 전착속도를 충분하게 억제하지 못하고 거칠게 전착되어 미세한 트렌치 충전시 공극을 형성한 반면, 레벨러를 첨가한 경우는 트렌치 상부모서리에서의 전착속도를 억제하고 균일한 전착을 유도하여 미세한 트렌치를 공극 없이 채울 수 있었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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