Various Shape of Carbon Layer on Ga2O3 Thin Film by Controlling Methane Fraction in Radio Frequency Plasma Chemical Vapor Deposition (Ga2O3박막 상에서의 RF 플라즈마 화학기상증착법의 메테인 분율 조절에 의한 탄소층의 다양한 형상 제어 연구)
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- Journal of the Korean Society for Heat Treatment
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- v.35 no.2
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- pp.51-56
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- 2022