• 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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• 제49권2호
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• pp.140-148
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• 2000

In this paper, using surface micromachining technology with thick photoresist and aluminum, an SLM(Spatial Light Modulator), which is applied to the fields of adaptive optics and pattern recognition system, was fabricated and the electromechanical properties of the fabricated micro SLM are measured. In order to maximize fill-factor and remove mechanical coupling between micro SLM actuators, the micro SLM is composed of three aluminum layers so that spring structure and upper electrode are placed beneath the mirror plate, and $10\times10$ each mirror plate is individually actuated. Also, the micro SLM was designed to be able to modulate phase and amplitude of incoming light in order to have a continuity of phase modulation of incoming light. In the case of amplitude and phase modulation, maximum vertical displacement is 4$\mum$, and maximum angular displacement is $\pm4.6^{\corc}$ respectively. The height difference of the fabricated mirror plate was able to be reduced to 1100A with mirror plate planarization method using negative photoresist(AZ5214). The electromechanical properties of the fabricated micro SLM were measured with the optical measurement system using He-Ne laser and PSD(position sensitive device).

• 한국정밀공학회지
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• 제31권5호
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• pp.381-387
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• 2014

This paper introduces a system to machine micro-sized patterns effectively on surface based on micro-milling process using tools with simultaneous rotation and oscillation, oscillation micro milling. To review the effectiveness of proposed concept, we integrated a micro-spindle supported by active magnetic bearings with a precision 3-axis air bearing stage using double-wedge mechanism, and tested this oscillation milling. Two types of oscillation milling were tested, which are linear oscillation milling with a flat end mill and elliptical oscillation milling with a ball end mill with 0.3 mm of diameter. The spindle was rotating 110 krpm and workpiece was moving constant speed of 2~8 mm/sec during the oscillation milling. As the results, multiple oval shape dimples were generated in regular spacing, and the variation of elliptical motion made different shapes of patterns. The results showed that proposed oscillation milling can be successfully used for machining repeated micro-patterns.

• 한국재료학회지
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• 제11권9호
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• pp.792-796
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• 2001

For electron beam lithography and SEM(scanning electron microscopy) applications, miniaturized electrostatic lenses called a microcolumn have been fabricated. In this paper, we report the fabrication technique for 20~30$\mu\textrm{m}$ apertures of electron lenses based on silicon and Mo membrane using an active Q-switched Nd:YAG laser. Experimental conditions of laser micromachining for silicon and Mo membrane are improved. The geometrical structures, such as the diameter and the preciseness of the micron-size aperture are dependent upon the total energy of the laser pulse train, laser pulse width, and the diameter of laser spot.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2000년도 하계학술대회 논문집 C
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• pp.2230-2232
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• 2000

This paper reports an electrostatically driven and electromagnetically sensed planar vibratory gyroscope based on a surface-bulk combined micromachining. The fabricated structure has comb electrodes which are 400${\mu}m$ thick, 18${\mu}m$ wide, 600${\mu}m$ long and separated by 7${\mu}m$ so that the height-gap ratio is about 57. It also has electroplated gold springs which are 15${\mu}m$ wide, 14${\mu}m$ thick and 500${\mu}m$ long on both sides of the seismic mass. The open-loop characteristics of fabricated gyroscope at atmospheric pressure are measured on a rate table. The fabricated gyroscope has a sensitivity of 30mV/deg/sec, and a resolution of 0.1deg/sec at atmospheric pressure. It is expected that non linearity of full scale output is less than 0.8% with. the dynamic range of $\pm$500deg/sec.

• 한국광학회지
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• 제12권6호
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• pp.463-467
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• 2001

본 연구에서는 생체 내부의 압력을 측정하기 위하여 Si를 얇은 막으로 사용한 FFPI(fiber optic Fabry-Perot interferometer) 압력센서를 개발하였다. 얇은 Si 막과 Si 막의 비등방 지지 구조물은 수산화 칼륨 수용액에서의 식각과 미세가공 기술로 제작하였다. 센서의 구조는 두 반사막 사이의 길이가 15mm이며 수직 절단된 센서의 끝단은 두게 50$\mu\textrm{m}$의 얇은 Si막에 연결하였다. 얇은 Si막의 면적이 2$\times$2mm$^2$ 압력센서의 경우 압력감도는 -1.5 degree/kPa였다. 본 연구에서 제작한 압력센서는 80kpa의 압력 범위 내에서 압력 증가에 따라 비교적 선형적인 위상변화를 보였다.

• 한국생물공학회:학술대회논문집
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• 한국생물공학회 2000년도 추계학술발표대회 및 bio-venture fair
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• pp.115-118
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• 2000

미세 가공 기술을 이용하여 제작된 IDA 전극을 활용하여 임피던스 측정방식의 cell chip으로의 응용에 대해 고찰하였다. IDA 전극은 기존의 반도체 공정으로서 손쉽게 제작할 수 있고, 대량 제작시 전극의 재현성 확보가 용이하고 소형화 할 수 있으며 낮은 단가로 제작될 수 있는 장점이 있다. IDA 전극을 채용한 cell chip을 B16-F1 melanoma 세포 배양에 적용한 결과, 세포성장과 임피던스 변화량이 상관성을 보였고, 세포의 성장을 저해하는 약물의 투과시 cell chip의 임피던스 변화 역시 기존의 방법과 유사한 결과를 보여 주었다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2001년도 하계학술대회 논문집 D
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• pp.2274-2276
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• 2001

본 논문에서는 미세 구조물 가공 기술(MEMS)로 제작된 실리콘 자이로스코프를 위한 폐루프 제어기를 주파수 가중 $H_{\infty}$ 제어 기법과 주파수 가중 모델 축소 기법을 이용하여 설계하였다. 실리콘 자이로스코프는 수 kHz 대의 공진 특성을 이용하여 각속도를 측정하는 센서로서, 공진 주파수 영역의 특성이 매우 중요하므로 주파수 영역을 고려하고 공정 오차를 감안한 주파수 가중 $H_{\infty}$ 제어기가 필요하다. 본 논문에서는 고차 강인 제어기의 회로적 구현과 ASIC화가 가능하도록 하기 위해, 주파수 가중 모델 축소 기법을 이용하여 공진 주파수 영역에서 성능을 유지하는 저차 제어기를 설계하였으며, 시뮬레이션을 통해 기존의 제어기 및 고차 제어기와 성능을 비교하였다.

• 대한설비공학회:학술대회논문집
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• 대한설비공학회 2006년도 하계학술발표대회 논문집
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• pp.477-482
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• 2006

In this study, a micro vapor compressor has been designed, fabricated and tested. The micro vapor compressor was made of silicon substrates and fabricated by micromachining process. The compressor is driven by a piezoelectric actuator which is widely used in microfluidic systems because of its strong force and rapid response. The actuator is a bimorph structure which consists of a silicon membrane and a piezoelectric ceramic film. A simulation work was conducted on the performance characteristics of the compressor. The simulation investigated the flow rate variation under various back pressure conditions. Experimental works were carried out on the operation of a compressor and the test results were compared with the simulation results.

• 한국자원식물학회:학술대회논문집
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• 한국자원식물학회 2019년도 추계학술대회
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• pp.7-7
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• 2019

우리나라에서의 대마는 마약류로 분류되어 기호용과 의료용 모두 법적인 제재를 받아왔으나 최근에 의료용 대마가 법적으로 허용이 되어 환자들에게 처방 받을 수 있게 되었다. 하지만 우리나라 사람들에게 대마는 환각성분을 가진 마약류로 깊이 인식되어 왔으며 의료용 대마에 대한 연구는 거의 전무한 실정이다. 노지재배에서 발생할 수 있는 범죄의 위험성, 자연교배에 의한 품질저하를 피할 수 있으며 재배조건(양액, 광조건, 광주기, 대기환경조성) 등을 제어할 수 있는 밀폐형 LED 식물공장은 의료용 대마 생산에 제일 적합한 모델이 될 수 있다. 식물체의 광합성은 가시광선 중 특정 파장 450nm 청색광과 660nm 적생광을 주로 이용하며 'LED (Light Emitting Diode) 발광다이오드'는 식물체의 광합성에 적합한 파장으로 광원을 조사할 수 있는 장점이 있다. 이러한 LED를 이용한 광합성은 식물체의 2차 대사물질 Anthocyanins, phenolic compounds 등의 향상과 생육에도 긍정적인 영향을 미치며 식물 뿐만 아니라 광합성을 하는 미세조류(micro algae)에서도 이용이 가능하며 해마토 코쿠스(Hematococcus)의 세포증식과 항산화물질 아스타잔틴(astaxathin)생산에 유용하게 쓰이고 있다. 최근 미국과 다른 나라에서도 기호용, 의료용 대마사업에 대한 관심이 높아지고 있으며 캐나다와 미국에서는 밀폐형 유리온실과 식물공장을 이용한 의료용 대마를 생산, 추출, 가공까지 하여 산업적인 영역을 넓히고 있는 실정이다. 특히, 실내재배에서는 광원이 필수적인 요소이며 식물생육에 선택적인 파장을 조사할 수 있는 LED와 재배조건을 정밀하게 제어할 수 있는 밀폐형 식물공장을 이용한 의료용 대마 생산에 대한 연구가 절실히 필요한 시점이다.

• 멤브레인
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• 제32권4호
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• pp.227-234
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• 2022

폐수는 석유 정제 산업에서만 방출되는 것이 아니고 아니라 가죽, 섬유, 페인트, 목재, 염료 가공 산업에서 또한 방출된다. 이런 산업 폐수는 중금속과 질소화합물 등 수질오염물질을 포함하고 있으며 화학적 산소요구량(COD)이 높다. 안전한 처리를 위해 폐수에서 각종 오염물질을 걸러내는 방식이 있지만 막 기반 기술은 고효율, 저비용으로 가장 효율적인 방법 중 하나이다. 다양한 막 중에서, 제올라이트 막은 가성비로 주목을 받고 있으며 많은 연구를 거쳤다. 본 리뷰논문은 i) 폐수처리, ii) 미세여과막, iii) 중공사막, iv) 초여과막의 순서로 폐수처리를 위한 제올라이트 막의 최근 진척을 중점으로 다루고 있다.