우주물질의 대부분이 플라즈마 상태에 있지마는 지구상에서는 천둥이 칠 때 생기는 방전이나 극지방에서 볼 수 있는 오로라와 같이 극히 일부분이 자연상태의 프라즈마로 존재한다. 지금까지 플라즈마의 이용은 그것이 내는 밝은 빛을 이용한 조명이나, 높은 열을 이용한 용접이나 절단이 고작이었으나, 최근에 들어 초고온, 고밀도 플라즈마를 이용한 핵융합 에너지 연구나 Free Electron Laser나 Gyrotron과 같이 새로운 Radiation Source로써 종래의 Source가 만들지 못하던 주파수 영역이나 Glow Discharge에서 생기는 저온 Plasma를 이용한 Plasma Etching PECVD(Plasma Enhanced CHemical Vapor Deposition), Plasma Ashing, Sputtering등은 VLSI의 제조에 필요불가결한 공정의 일부분이 되고 있다. 앞으로 수회에 걸쳐 본 기술해설란을 통하여 이들 Plasma의 이용 기술을 소개하고자 하며 본회에서는 그중에서 Plasma Etching에 대해서 그 원리와 기술상의 특징을 살펴보고자 한다.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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v.13
no.6
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pp.1310-1320
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1989
본 논문에서는 비교적 많은 계산이 수행되어온 수평원관 주위의 상변화 열전달 문제를 예로 들어, 상변화 물질이 유한한 열전도율을 갖는 일정 두께의 원관 주위에 존재할 때의 상변화 문제에 대하여 초기 액상의 영역을 임의로 가정하는 불합리점을 제거하고 문제를 풀 수 있는 수치해석 방법을 제시하고자 한다.
The Proceedings of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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v.4
no.1
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pp.8-10
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1990
현재 조명은 가시광선 영역의 빛만을 다루나 광의 다른 성질을 살펴보면 다른 과학적, 산업적 분야에의 광원의 응용이 지대함을 알 수 있다. 이를 위하여 빛의 기본특성이 그 파장별로 고찰된다. (1) 가시지역에서의 효과는 자명하나, 이를 눈의 감광도 곡선, 태양광선의 Spectrum, 텅스텐 광원의 Spectrum 등을 통하여 더 연구될 수 있다. (2) 자외선 및 청색부근의 파장은 반도체 및 인쇄산업에서 필수적인 각종의 감광 물질에 가장 효과적인 빛이며, 광원의 산업에의 응용이 기대될 수 있다. (3) 적외선은 열효과선이며, 적외선 물리학을 통하여 광원의 가능한 응용을 탐색할 수 있다.
Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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2000.11a
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pp.173-175
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2000
도시기상의 원인으로는 지표면 상태의 변화, 인공구조물과 인공열 방출을 들 수 있으며 그 외 오염물질 또한 하나의 원인이다. 도시의 낮은 함수률의 지표면 증가는 증발산 영역을 감소시켜 결과적으로 잠열방출을 감소시키고 현열을 증가시킨다(Tapper, et. al., 1981). 또한 도시의 배수시설은 유입된 강수의 흐름을 시골보다 짧은 기간 머무르게 하여 도시에서 낮은 절대 습도를 가지게 한다. (중략)
Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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2001.11a
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pp.423-424
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2001
플라즈마를 이용한 가스상 오염물질 처리에 대한 연구는 일부 선진국에서 1970년대부터 시작되어 현재는 상용화 연구가 활발히 진행되고 있으며, 국내에서도 1990년대 중반부터 화력발전소에서 배출되는 연소가스 중의 유해성분을 처리하기 위한 연구를 필두로 최근에는 휘발성 유기화합물(VOCs) 분해관련 연구 등 상당한 연구가 수행되고 있다. 저온 플라즈마 공정은 전기적 방전 특성을 이용하므로 스트리머코로나 형성영역인 반응기와 전원공급장치 사이의 기계적ㆍ전기적 매칭(matching)이 중요한 과제이다. (중략)
Proceedings of the Korean Society of Fisheries Technology Conference
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2003.05a
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pp.160-161
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2003
본 연구는 그림 1의 진해만 관측자료를 수집ㆍ분석하여 1989년부터 1994년까지의 5년간의 마산, 진해만의 수질변동 특성 분석 및 Cluster analysis를 통해 및 개의 유사영역으로 구분하여 소해역별 수질환경 공간특성을 파악해 보고, 마산만 준설 및 마산시 하수처리장이 가동된 시기를 전ㆍ후로 수질의 변화 양상을 검증하여 그 실효성을 평가해 봄으로써 오염물질 유입에 대해 능동적 대처방안을 마련하고 체계적인 해역관리를 할 수 있는 기초자료를 마련하고자 하였다. (중략)
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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2004.05a
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pp.125-125
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2004
최근에 급속히 발달하고 있는 나노 기술(NT)파 생명공학 기술(BT)로 인해 미세한 영역에서의 역학적 측정이 중요시되고 있다. 질량, 힘, 온도, 압력 등의 기본적인 물리량들의 정확한 측정이 거시세계와 마찬가지로 나노 물질의 제조, 현상의 규명에 필수적인 요건이기 때문이다. 이중에서 미세 힘측정은 나노 압입 시험, 탄소나노튜브의 기계적 특성측정, MEMS 구조물의 특성평가, 근육 세포의 근력측정, DNA나 생체 분자력 측정 등 광범위하게 사용되고 있다.(중략)
대기 영역을 통과한 UV는 인간과 자연 환경 및 재료 등의 합성 물질에 대해 심각한 피해를 유발할 수 있다. 폭발과 산처리된 나노 다이아몬드 표면의 곁가지 결합인 $Sp^2$ 결합체 내의 알킬기에 의한 광흡수 및 산란으로 UV을 차단할 수 있다. 본 연구에서는 폭발 및 산처리 다이아몬드와 나노급 흑연의 농도, 조성에 따른 수용성 현탁액에 의한 차외선 차단 효과를 조사하였다.
Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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1999.10a
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pp.303-304
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1999
지구대기중에는 다량의 에어로졸이 존재하고 있으며, 각각의 영역에서 구름을 형성하거나, 가시광을 흡수ㆍ산란, 물질의 수송, 산성우 등과 관련을 가진다. 또한 겨울철에는 극지방의 성층권 오존이 파괴되면서 오존농도가 현저하게 감소하면서 오존홀이 출현하고, 이때에 극성층권운이라고 하는 에어로졸이 중요한 역할을 하고 있는 것으로 보고되고 있다. 이와같이 에어로졸은 여러 가지 대기현상과 밀접한 관계 가진다.(중략)
Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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2001.02a
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pp.240-241
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2001
주파수 위상 간섭계를 이용한 전기장 재구성 방법(SPIDER)은 현재의 전자장치로 분해 해낼 수 없는 짧은 펄스의 시간적 특성을 광학적 방법을 사용하여 분해 해내는 기술이며, 다음과 같은 순서로 시간 영역의 펄스를 재구성한다 : 1)주파수 간섭계(spectral inteferometry)를 사용하여 일정한 시간지연을 갖는 동일한 펄스 쌍을 만든다. 2)분산이 큰 물질(highly dispersive material)이나 에돌이 발 쌍(pairs of gratings)을 사용하여 크게 chirping되며 200배 전후로 펄스폭을 늘인 펄스를 생성한다. (중략)
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[게시일 2004년 10월 1일]
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