• 제목/요약/키워드: 물리세정

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RF magnetron Sputtering법에 의해 Plasma Etching된 Glass에 증착한 다양한 친수 박막의 특성

  • 이동욱;백철흠;김동영;양정민;김화민;이종영
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.133-133
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    • 2012
  • 일반적으로 TiO2는 광촉매 작용으로 표면 살균성을 가지며, 친수특성으로 인한 자가세정 능력도 가지고 있다. 또한 지구상에 많이 존재하는 광물로 원료의 가격이 저렴하다는 장점이 있어 산업 전반에 사용되고 있다. 하지만 외부의 환경적 오염으로 인한 광촉매 반응 면적의 감소에 따라 반응효율이 저하되는 단점이 있으며, SiO2는 투명한 유리와 같이 비정질상태가 안정하고 높은 굴절률을 가지며 내구성이 외부환경에 강해 무반사 코팅이나 금속박막의 보호층으로 주로 사용된다. WO3는 높은 굴절률과 가시광선 영역에서의 우수한 투과율을 가지고 있으나 conduction band에서 생성된 광캐리어들이 빠르게 재결합 하여 광분해 효율이 좋지 않기 때문에 흔히 쓰이지 않고 있다. 이러한 박막들의 단점을 보완하기 위해 물리적 구조를 변화시켜 반응 면적을 극대화하기 위해 버퍼층이나 다층박막을 사용하는 등 다양한 연구가 진행되고 있다. 본 실험에서는 Slide glass에 Plasma etching 하였을때 친수성이 나타나는 특성을 이용하여 대면적 코팅과 표면 경도를 우수하게 만들 수 있는 RF Magnetron sputtering법으로 Slide glass에 Ar Gas 분위기에서 각 파워별 Plasma etching한 후 TiO2, SiO2, WO3 박막을 증착하여 광학적, 구조적 특성을 분석하였다. 광투과율 측정장치(UV-VIS Spectrophotometer)를 사용하여 투과율을 측정한 결과 모든 박막이 가시광 영역에서 80% 이상의 높은 투과율을 나타내었으며, 접촉각 측정결과 100w로 etching한 glass에 TiO2를 증착한 박막에서 가장 낮은 $3^{\circ}$ 이하의 접촉각을 나타내었다. SEM (Scanning Electron Microscope) 분석을 통해 표면구조를 관찰한 결과 100w로 etching한 후 TiO2를 증착한 박막이 가장 조밀한 구조를 보였으며, AFM (Atomic Force MicroScope) 분석 결과 100w로 etching한 후 TiO2를 증착한 박막의 표면이 가장 거칠어지는 것을 볼 수 있었는데, 이는 물과 닿는 박막의 유효 표면적의 증가로 인하여 광촉매 효과가 증가하였기 때문에 친수성이 향상된 것으로 사료된다. 이러한 박막은 건물 유리벽과 자동차의 내 외장재 전자기기용 광학 필름에 자가세정, 내반사 코팅소재, 디스플레이 표시장치로 활용할 수 있을 것으로 예상된다. 본 연구는 중소기업청에서 지원하는 2011년도 산학연 공동기술개발 지원사업의 연구수행으로 인한 결과물임을 밝힙니다.

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초등학교 아동의 치아우식성 식품섭취 및 영양교육 효과에 관한 연구 (A study on the intake of foods causing dental caries and the effect of nutrition education for primary students)

  • 김혜영;원복연;류시현
    • 한국식품조리과학회지
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    • 제18권6호
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    • pp.704-715
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    • 2002
  • 본 연구는 초등학교 아동의 식습관, 간식습관 및 섭식실태를 급식교와 비급식교에 따라 비교 분석함으로서 치아우식증 발생과의 관련성을 규명하고, 조사대상 아동들에게 영양교육 프로그램을 실시한 후 교육효과를 평가하고자 실시되었다. 1. 급식여부에 따른 식습관 조사 결과, 급식교 아동이 비급식교의 아동보다 아침식사의 규칙성, 식사속도, 식사량의 적당성 및 식사시간의 규칙성에 있어 바람직한 편이었고, 고기나 생선, 해조류, 우유나 유제품의 섭취정도도 약간 높게 나타나 급식을 통하여 올바른 식생활 태도가 형성되는 것으로 보여졌으며 전반적으로 영양교육 후 식습관에 있어 긍정적인 변화를 나타내 영양교육의 효과가 있었음을 알 수 있었다. 2. 카라멜, 초콜렛 및 사탕류, 비스켓류 등의 치아우식유발 지수가 높은 우식성 식품을 간식으로 자주 섭취하고 있었고 충치유발 요인 인지 시 간식을 덜 사먹겠다는 아동이 급식교에서 다소 많았으며, 물리적 청정작용을 하는 껌을 간식으로 씹는 경우는 1주일에 2∼3회가 가장 높게 나타났다. 또한 영양교육 후 치아우식에 영향을 줄 수 있는 시간인 저녁 식사 후에 간식을 먹는 아동과 TV 광고로 인해 간식을 선택하는 아동의 비율이 낮아졌으며, 세정식품인 채소와 과일, 단백질, 해조류, 우유 또는 유제품의 섭취는 교육 후 약간 증가하였다. 3. 치아우식과 관련이 있는 당질군을 제외한 모든 식품군에서 비급식교 아동보다 급식교 아동의 섭취횟수가 높게 나타났으며 1인 1일 우식성 식품의 평균 섭취 횟수는 평균 5.04회였고, 고체식품보다는 액체식품으로 섭취하는 횟수가 다소 높았다. 치아표면에서 청청작용을 하여 치면세균막의 형성을 감소시켜 우식증을 예방하는 세정식품의 평균 섭취 횟수는 1인 1일 기준식품 표준섭취 횟수보다 높은 9.33회로 나타났다. 1인 1일 우식발생 가능 시간은 100.9분이었는데, 액체 식품의 우식발생 가능 시간은 56.2분으로 44.6분인 고체 식품에서 보다 높게 나타났다. 이상의 결과에서 식습관이 치아우식발생과 밀접한 관계를 가지고 있으므로 초등학교 아동에 있어 치아우식을 유발할 수 있는 간식의 섭취를 줄이되 우식성 식품을 간식으로 섭취한 후에는 잇솔질을 반드시 실시하도록 하며 정규식사에서 치아를 보호하는 세정식품의 섭취에 대한 영양교육이 지속적이고 단계적으로 꾸준히 이루어져야 한다고 본다.

TCP의 다중 시간 간격에서 선택적 기울기 제어를 이용한 혼잡 제어 (The Congestion Control using Selective Slope Control under Multiple Time Scale of TCP)

  • 김광준;강기웅;임세정
    • 한국전자통신학회논문지
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    • 제2권1호
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    • pp.10-18
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    • 2007
  • 본 논문에서는 MTS(Multiple Time Scale) 트래픽 제어 프레임워크를 TCP(Transfer Control Protocol) 기반의 신뢰할 수 있는 전송 및 윈도우 기반 혼잡제어로 확대 적용한다. 이 작업은 TCP의 대역폭 소비 반응의 적극성을 LTS 네트워크 상태의 함수 형태, 즉 RTT(Round-Trip Delay Time)가 결정한 피드백 루프의 한계를 넘어서는 정보의 형태를 조정하는 LTS(Large Time Scale) 모듈과 TCP를 연계시키는 방법으로 수행된다. 혼잡 제어 성능 평가 방식은 자기 유사성 네트워크 트래픽의 물리적 모델링으로부터 얻은 시뮬레이션 기반 하에서 결과를 나타낸다. 자기 유사 버스트 환경 하에서 RTT가 450ms일 때 소스 트래픽이 초과되지 않는 경우에 TCP-SSC(Selective Slope Control)의 성능 이득은 각각 ${\alpha}$가 1.05일 45%정도 높아지는 반면에 ${\alpha}$가 1.95일 때는 20%정도의 성능 이득을 얻을 수 있다. 그러므로 비율 기반 피드백 혼잡 제어에 TCP-MTS를 적용함으로서 TCP-SCC 처리 이득의 성능이 약 2배정도의 개선이 이루어짐을 시뮬레이션 결과로부터 알 수 있다.

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세정방법에 따른 국소마취제 이온도입의 효율과 편안감 비교 (Comparison of Cleansing Regimes for Efficacy and Comfort of Iontophoretic Transdermal Lidocaine Delivery)

  • 정명아;송인영;이재형
    • The Journal of Korean Physical Therapy
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    • 제18권4호
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    • pp.41-50
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    • 2006
  • Purpose: The purpose of this study was to determined that the efficacy and comfort of iontophoretic transdermal delivery of lidocaine by comparison of local anesthetic duration, sensory threshold, pain threshold and pain tolerance levels according to four different cleansing regimes. Methods: Forty healthy volunteers were randomly assigned to four groups; oil cleansing group, lotion cleansing group, solution cleansing group and alcohol cleansing group. All subjects were received lidocaine iontophoresis on the forearm using direct current with 4 mA for 10 minutes. All subjects were measured the duration of local anesthesia after lidocaine iontophoresis, also evaluated the sensory threshold, pain threshold and pain tolerance level during iontophoresis. For comparisons of the efficacy and the sensory characteristics of iontophoresis within the groups, an one-way ANOVA was used. Results: The duration of local anesthesia were found significant difference between groups (p<0.001). The anesthetic duration in solution and alcohol cleansing groups were significantly longer than oil and lotion cleansing group by post hoc (p<0.05). Statistically significant difference were noted in respect to all sensory characteristics such as sensory threshold, pain threshold and pain tolerance between groups (p<0.001). The sensory threshold in solution and alcohol cleansing group were significantly lower than oil and lotion cleansing group by post hoc using Duncan multiple range test (p<0.05). The pain threshold and pain tolerance in solution and alcohol cleansing group were significantly higher than oil and lotion cleansing group by post hoc (p<0.05). Conclusion: These results demonstrated that cleansing regimes have affected the efficacy and discomfort of iontophoretic transdermal delivery of lidocaine. These findings indicate that cleansing agents without oil ingredient contributed to more comfort, and more successful achievement of the iontophoretic transdermal delivery.

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측두하악관절의 비정복성 관절원판변위 환자에 대한 관절강 세정술의 임상효과 : 증례보고 (Clinical Effect of Arthrocentesis for Patients with Disc Displacement without Reduction of Temporomandibular Joint : Report of Cases)

  • 김철;김영준
    • Journal of Oral Medicine and Pain
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    • 제31권2호
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    • pp.177-183
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    • 2006
  • 관절강세정술은 통상의 보존적 치료법에 실패한 측두하악관절장애 환자에서 합병증의 위험성이 높은 침습적인 외과적 수술법에 대신하여 첫 번째로 고려될 수 있는 치료법이다. 본 증례의 환자들은 측두하악관절의 비정복성 관절원판변위로 진단되어 지속적인 교합안정장치치료, 행동요법치료, 물리치료, 약물치료 등의 보존적 치료에도 불구하고 심한 관절동통과 하악운동범위의 제한을 호소하였다. 따라서 보존적 치료법에 잘 반응하지 않는다고 판단하여 반복적인 관절강세정술을 시행하였고, 시술직후 유의한 동통감소, 하악운동범위의 개선과 함께 양호한 치료경과를 나타냈다. 관절강세정술은 최소의 침습성을 지니는 가장 보존적인 외과적 술식으로서 통법의 보존적 치료에 반응하지 않는 비정복성 관절원판변위 환자를 상기 증례와 같이 적절히 선택한다면 측두하악관절장애의 동통과 기능제한에 효과적인 보조적 치료법이라고 생각된다.

증착조건에 따른 $ZrO_2$ 게이트 유전막의 특성

  • 유정호;남석우;고대홍
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.106-106
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    • 2000
  • 반도체 소자가 미세화 됨에 따라 게이트 유전막으로 사용되는 SiO2의 박막화가 요구되나, boron penetration에 의한 Vt shift, 게이트 누설전류, 다결정 실리콘 게이트의 depletion effect 그리고 quantum mechanical effect 때문에 ~20 급에서 한계를 나타내고 있다. 이에 0.1$\mu\textrm{m}$이상의 design rule을 갖는 logic이나 memory 소자에서 요구되어지는 ~10 급 게이트 산화막은 SiO2(K=3.9)를 대신하여 고유전율을 갖는 재료의 채택이 필수 불가결하게 되었다. 고유전 박막 재료를 사용하면, 두께를 두껍게 해도 동일한 inversion 특성이 유지되고 carrier tunneling 이 덜하여 등가 산화막의 두께를 줄일 수 있다. 이러한 고유전박막 재료중 가장 활발히 연구되고 있는 재료는 Ta2O5, Al2O3, STO 그리고 BST 등이 있으나 Ta2O5, STO, BST 등은 실리콘 기판과 직접 반응을 한다는 문제를 가지고 있으며, Al2O3는 유전율이 낮의 재료가 최근 주목받고 있다. 본 실험에서는 ZrO2, HfO2 또는 그 silicates 등의 재료가 최근 주목 받고 있다. 본 실험에서는 ZrO2 박막의 증착조건에 따른 물리적, 전기적 특성 변화에 대하여 연구하였다. RCA 방식으로 세정한 P-type (100) 실리콘 기판위에 reactive DC sputtering 방법으로 압력 5mtorr, power 100~400W, 기판온도는 100-50$0^{\circ}C$로 변화시켜 ZrO2 박막을 증착한 후 산소와 아르곤 분위기에서 400-80$0^{\circ}C$, 10-120min으로 열처리하였다. 증착직후의 시편들과 열처리한 ZrO2 박막의 미세구조와 전기적 특성 변화를 관찰하였다. 우선 굴절율(RI)를 이용해 ZrO2 박막의 밀도를 예측하여 power와 기판온도에 따라 이론값 2.0-2.2 에 근접한 구조를 얻은 후 XRD, XPS, AFM, 그리고 TEM을 사용하여 ZrO2 박막의 chemical bonding, surface roughness 그리고 interfacial layer의 특성을 관찰하였다. 그리고 C-V, I-V measurement를 이용해 capacitance, 유전율, 누설전류 등의 전기적 특성을 관찰해 최적 조건을 설정하였다.

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수산화알루미늄 제조 Bayer 공정에서 Ceramic membrane 여과 실용화 공정 개발 (Ceramic Membrane Application for the Bayer Process of Aluminium hydroxide Production)

  • 김정학;이성오;구자경;남승하;이시철
    • 한국막학회:학술대회논문집
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    • 한국막학회 2003년도 추계 총회 및 학술발표회
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    • pp.146-148
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    • 2003
  • Bayer 공정은 가성소다를 이용하여 보오크사이트로부터 수산화알루미늄을 추출하는 공정이다. 그러나 보오크사이트 추출 후 1차 침전공정에서 반응한 보오크사이트 잔사는 침전시킴으로써 깨끗한 공정액을 분리하는 데 이때 침전되지 못한 다량의 분산성 고형물이 공정액 중에 존재하게 되는데 이를 분산성 보오크사이트(레드머드) 미립자라하며 보통 80-100mg/$\ell$의 농도를 나타낸다. 그러므로 이를 제거하기 위해 다음 공정인 입상여과필터 공정을 사용하는데 이때 필터링 효율증대를 위해 보조제로써 다량의 소석회(Ca(OH)$_2$)를 투여하여 공정액 중의 고형물을 농도를 8-100mg/$\ell$에서 5mg/$\ell$로 낮추는 공정을 사용하고 있다. 특히 국내 수산화알루미능 제조회사일 KC(주)의 경우 소석회 사용량이 일 10톤, 년간 약 3,600톤을 사용함으로써 소석회의 사용량에 따라 같은 량의 슬러지가 발생되게 된다. 따라서 여과후 발생되는 슬러지의 처리비용 문제(연간 9천만원)와 소석회의 미립자에 의한 공정액의 2차 오염과 제품 품질 저하(quality claim) 및 소석회 사용량에 따른 연간 원료비(연간 3억원) 등의 상당한 문제점을 나타내고 있는 실정이다. 아울러 최근 고품위 수산화알루미늄의 공급 요구에 따라 여과시 정제기준이 점차 낮아져 이제는 1mg/$\ell$ 이하를 유지하여야 하는 근본적인 문제에 봉착해있는 실정이다. 그러므로 본 연구에서는 소석회를 사용하는 입상여과법을 대체하기 위한 신공정개발을 추진하였으며, 그동안 카트리지여과법 등의 다양한 실험 결과로부터 최근 필터 보조제를 첨가하지 않는 물리적 여과방법인 세라믹 막 여과법의 적용 가능성을 확인하고 친환경공정인 세라믹 막 여과 실용화 공정 기술을 개발하였다. 세라믹 막 여과 법은 여과 보조제를 사용하지 않으므로 2차적인 슬러지 발생등의 환경문제를 발생하지 않으며, 공정액에 첨가제를 투입하지 않으므로 순환형 친환경공정으로 각광받을 수 있다. 본 연구에서는 고온, 고농도의 NaOH 수용액의 처리에 적합한 막소재와 발생될 수 있는 제반 문제점 등을 파악하였고, 장기간의 실험을 거쳐 최적 투과 압력(Trans membrane pressue), 세정 조건 및 주기, 막재질에 있어서 보강하여야 할 Point, 최적 운전 조건들을 토출해 내었고, 향후 실제 Plant에 적용할 계획이다.

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초임계이산화탄소 내에서 공용매 및 초음파를 이용한 고농도이온주입 포토레지스트의 제거 (Stripping of High-Dose Ion-Implanted Photoresist Using Co-solvent and Ultra-sonication in Supercritical Carbon Dioxide)

  • 김승호;임권택
    • 청정기술
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    • 제15권2호
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    • pp.69-74
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    • 2009
  • 초임계이산화탄소와 공용매의 혼합물을 사용하여 반도체 웨이퍼 기판으로부터 고농도이온주입 포토레지스트(HDIPR)를 제거하였다. 또한 고압 셀 내부에 초음파 장치를 부착하여 웨이퍼 표면에 물리적 힘을 제공함으로서 세정용액의 HDIPR에 대한 스트리핑 성능을 현저히 향상시키고, 제거 시간을 단축시켰다. 공용매의 종류 및 농도, 공정 온도, 압력 변화에 따른 HDIPR 스트리핑 특성을 조사하였으며, 웨이퍼 표면의 제거 전후의 상태 및 성분을 scanning electron microscopy 과 energy dispersive X-ray spectrometer를 이용하여 분석하였다. 10 w/w% 함량의 아세톤 공용매를 이용하여 공정압력 27.6 MPa과 온도 343 K 의 조건에서 3분의 초음파 처리시간을 거쳐 HDIPR을 완전히 제거할 수 있었다.

천연기념물 진주 충무공동 익룡·새·공룡발자국 화석산지의 오염물 형성 메커니즘과 관리방안 (Contaminant Mechanism and Management of Tracksite of Pterosaurs, Birds, and Dinosaurs in Chungmugong-dong, Jinju, Korea)

  • 최명주;원상호;이태종;이성주;공달용;이명성
    • 자원환경지질
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    • 제56권6호
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    • pp.715-728
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    • 2023
  • 익룡 발자국의 개체 및 밀집도 측면에서 세계 최대 규모로 알려진 진주 충무공동 익룡·새·공룡발자국 화석산지는 2011년 천연기념물로 지정된 이래, 2018년 일부 화석층을 현장 보존하기 위해 보호각을 설치하였다. 이 중 제2보호각에 관리중인 화석층은 기 보고된 발자국 중 약 17%에 달하는 익룡·수각류·조각류 발자국(총 679개)이 단일 층준에서 발견되어 학술적 가치가 크지만 물리적, 화학적 손상이 지속적으로 발생하여 발자국의 관찰에 어려움이 있다. 특히 화석층 표면을 피복하는 유백색 오염물은 석고와 대기오염물로 구성된 복합체의 누적현상에서 기인한다. 오염물을 구성하는 석고는 화석층 하부층준에서 기원한 칼슘과 잔디의 생육활동으로 공급되는 황이 보호각 후방의 잔디가 식재된 토양층에서 집수된 지하수에 의해 용출되고, 보호각의 일대의 수분 순환 과정에서 화석층 표면에 증발잔류하며 결정화된다. 또 다른 오염물 구성체인 화분·광물 등은 분진 배출이 어려운 보호각 갤러리창을 통해 풍성으로 유입된다. 따라서 상이한 기원을 가진 두 오염물로부터 화석층을 보존하기 위해서는 보호각의 수분 및 대기 순환 제어와 지속적인 오염물 제거가 필요하다. 분진상의 석고와 대기 오염물은 스팀 세정법으로 충분한 제거 효과가 있으며, 암회색 셰일인 화석층은 레이저 흡수능이 커 흔적화석과 퇴적구조의 물리적 손실을 동반하는 레이저 세정법은 가급적 지양하는 것이 바람직하다.

폐 Ni-Mo 및 폐 Co-Mo계 촉매상에서 방향족 화합물의 촉매산화: 물리화학적 전처리 효과 (Catalytic Oxidation of Aromatic Compounds over Spent Ni-Mo and Spent Co-Mo based Catalysts: Effect of Physico-chemical Pretreatments)

  • 심왕근;강웅일;김상채
    • 공업화학
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    • 제21권1호
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    • pp.63-70
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    • 2010
  • 석유화학공업에서 발생한 2종류의 금속산화물계열 폐 촉매(Ni-Mo, Co-Mo)를 휘발성유기화합물(VOCs) 제거를 위한 촉매 연소 공정에 재이용하였다. 특히 폐 촉매의 재생방법에 따른 VOCs 제거효과를 검토하여 최적의 재생 조건을 살펴보았다. 폐 촉매는 1) 산 수용액, 2) 알칼리 수용액, 3) 세정액 및 4) 스팀(steam) 등을 이용하여 재생 처리하였고, 재생 처리 전-후의 이들 촉매의 물리화학적 특성 변화는 질소흡착등온선, X-선 회절분석기(XRD) 및 에너지분산 X-선 분광기(EDS)를 갖춘 주사현미경(SEM)으로 조사하였다. Benzene 산화반응 실험 결과 폐 촉매는 VOCs 연소 촉매로 재이용 가능성이 높았다. 그리고 이들 폐 촉매의 활성은 전처리 조건에 따라 다르게 나타났으나, 두 폐 촉매 모두 0.1 N $C_2H_2O_4$ 용액으로 처리할 때 활성이 가장 좋았다. 또한 최적 조건(0.1 N $C_2H_2O_4$)에서 처리한 촉매는 다른 방향족 화합물(Toluene/Xylene) 처리에도 충분히 적용할 수 있었다.