• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2010.02a
• /
• pp.447-447
• /
• 2010

일찍이 $SiO_2$ (Silicon dioxide) 박막은 다양한 분야에서 유전층, 부식 방지층, passivation층 등의 역할을 해왔다. 그리고 이러한 박막 공정은 대부분 진공의 환경에서 그 공정이 이루어지고 있다. 하지만 이러한 진공 system은 chamber, loadlock 그리고 펌프 등의 다양한 진공장비로 인한 생산 비용 증가, 공정의 복잡성뿐만 아니라 공정의 대면적화에 어려움을 지니고 있다. 그리고 최근 flexible display의 제조 공정에서 polymer 혹은 plastic 기판을 제조 공정에 적용시키기 위해 저온 공정이 필수적으로 요구 되고 있다. 이러한 기술적 한계를 뛰어 넘기 위해 최근 많은 연구가들은 atmospheric pressure plasma enhanced chemical vapor deposition (AP-PECVD)에 대해 지속적으로 다양한 연구를 하고 있다. 본 연구에서는 remote-type의 modified pin-to-plate dielectric barrier discharge (DBD) 시스템을 이용한 $SiO_2$ 무기 박막 증착에 관해 연구하였다. $O_2$/He/Ar의 gas와 5 kV AC power (30 kHz)의 전원장치를 통해 고밀도 대기압 플라즈마를 발생시켰고, silicon precursor로는 hexamethyldisilazane (HMSD)를 사용하였다. 먼저 HMDS와 $O_2$ gas의 flow rate 변화에 따른 증착률을 조사하였고 그 다음으로 박막의 조성 및 표면 특성을 조사하였다. HMDS의 유량이 100 ~ 300 sccm으로 증가함에 따라 증착속도는 증가했다. 하지만 FT-IR을 통해 HMDS의 유량이 증가하면 반응에 참여할 산소 분자의 부족으로 인해 $-(CH_3)_X$의 peak intensity가 증가하고, -OH의 peak intensity가 점차 감소함을 관찰 할 수 있었다. 또한 증착된 박막의 표면에 particle과 불균일한 surface morphology 등을 SEM image를 통해 관찰 하였다. 산소 유량이 탄소와 관련된 많은 불순물들의 제거에 도움이 됨에도 불구하고 14 slm 이상의 산소가 반응기 내로 주입되게 되면 대기압 플라즈마의 discharge가 불안정하게 되어 공정효율을 저하시키는 요소가 되었다. 결과적으로 HMDS (150 sccm)/$O_2$ (14 slm)/He (5 slm)/Ar (3 slm)의 조건에서 약 42.7 nm/min 증착률을 가지며, 불순물이 적고 surface morphology가 깨끗한 $SiO_2$ 박막을 증착할 수 있었다.

• Korean Chemical Engineering Research
• /
• v.52 no.5
• /
• pp.638-646
• /
• 2014

The effect of in-organic chelating agents with Fe(II) and Fe(III) in modified Fenton was evaluated to degradation BTEX (benzene, toluene, ethylbenzene, xylene). Citric acid and pyrophosphate were used in experimentals and an optimum chelating agent for BTEX degradation was determined. In $H_2O_2$/Fe(III)/citric acid, degradation of BTEX was decreased when concentration of citric acid was increased. In $H_2O_2$/Fe(III)/pyrophosphate, degradation of BTEX was increased when concentration of pyrophosphate was increased and degradation for BTEX was relatively high compared with $H_2O_2$/Fe(III)/citric acid. In $H_2O_2$/Fe(II)/chelating agents, degradation for BTEX was high and pH variation was minimized when molar ratio of Fe(II) and citric acid was 1:1. Optimum molar concentration of Fe(II), citric acid and $H_2O_2$ were 7 mM, 7mM and 500 mM for degradation of 100 mg/L of benzene to obtain best efficiency of $H_2O_2$, least precipitation of iron and best degradation.

• Applied Chemistry for Engineering
• /
• v.9 no.1
• /
• pp.135-140
• /
• 1998

The constituents of deposits on paper machine and holes/spots in paper have been analyzed by a combination of analytical techniques, such as FTIR, Py-GC-MS, and EDS. FTIR spectroscopy was used prior to Py-GC-MS and EDS analysis, as a preliminary analysis. The analysis of organic components was carried out with a pyrolysis unit connected to a GC-MS, and inorganic components in ash were analyzed by SEM equipped with an EDS analyzer after pyrolysis at $590^{\circ}C$. The deposits on the dryer section were complex pitch, which was the mixture of the organic components of fatty acid ester and starch, and the inorganic components of talc, clay, and calcium carbonate. The complex pitch was estimated to come from the coated broke. We knew the deposits on the metering rod of sym-sizer were associated with the interaction of unstable alkyl keten dimer(AKD) and $CaCO_3$. The compositions of holes or spots varied considerably and were associated with chemical interaction within the system. The holes, spots, and blotches in the finished paper were PE and PP from pulp sources, complex pitch that were caused by the interaction of the different additives in the system, polymer such as flexible PVC that was used for the prop of palette, and hot melt as adhesives that came from the inadequate handling of broke. In addition, we identified that poly(caprolactam) which is used for forming fabrics or press felts, could be mixed with the raw materials by accident and results in streaks on coating.

• Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
• /
• 1993.10a
• /
• pp.74-74
• /
• 1993

집진용 Filter Bag 소재는 상당히 다양합니다. 최종용도 및 부직포의 생산공정등 여러가지 요인에 따라 천연섬유인 면이나 펄프로부터 합성섬유, 무기, 금속 Fiber등으로 만든 Filcer Media등 여러가지 제품이 있습니다. 그중에서 고온집진용 부직포는 주로 혹독한 환경에 처해지므로, 내열성 및 내화학성이 상당히 중요한 바, 이점에 있어서의 적절한 섬유로 만들어진 집진소재가 절실히 요구되면서 최근 도시 및 산업쓰레기 소각로 및 각종 산업플랜트 등과 같은 여러 고온용 집진산업에, 오스트리아 Lenzing사에서 제조한 P84섬유로 만들어진 Filter Bag이 각광을 맏고 있습니다.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
• /
• 2007.11a
• /
• pp.80.1-80.1
• /
• 2007

• Proceedings of the Korean Fiber Society Conference
• /
• 1998.10a
• /
• pp.461-464
• /
• 1998

막의 면적에 비례되는 막분리 공정의 생산성은 넓은 표면적을 갖는 중공사막의 이용으로 가능해지므로 중공사막에 관한 연구가 활발하게 진행되어 해수의 담수화, 가정용수의 정화 등은 이미 실용화되었다. 해수의 담수화에 이용되는 역삼투(RO)막은 고압 하에서 무기이온의 제거, 가정용수의 정화에 이용되는 UF막은 저압 하에서 분자량이 비교적 큰 이물질의 분리에 사용되는 점이 다르다. 최근에는 해수에서 우라늄을 회수하기 위한 연구를 진행되고 있다. (중략)

• Electrical & Electronic Materials
• /
• v.1 no.4
• /
• pp.295-302
• /
• 1988

본 연구에서는 미세패턴 형성을 위한 비정질 $Se_{75}Ge_{25}$박막의 네가티브형 포토레지스토에 대하여 고찰하였다. 습식현상공정을 통해 대비도가 포지티브형인 경우 1.4였고 네가티브형인 경우 2.9를 나타내어 네가티브형인 경우가 미세선폭 조절능력이 더 우수함을 알 수 있었다. 표면사진으로부터 약 1.mu.m정도의 미세패턴을 얻었음을 확인할 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Society of Fisheries Technology Conference
• /
• 2000.05a
• /
• pp.183-184
• /
• 2000

김 양식장은 대부분 천해해역으로서 영양염류가 풍부하여 김의 생산력은 증가되나 풍부한 영양염은 김의 성장을 촉진함과 동시에 잡균, 잡조(파래, 규조등)의 중식도 촉진된다. 김망에 부착된 잡조류를 구제하는 산처리제로서 염산을 사용하는 사례가 있어 해양생태계 뿐만 아니라 김 소비에 나쁜 영향을 끼친다. 정부에서는 염산사용에 따른 어장의 황폐화를 방지하고 양질의 김 생산을 위하여 산 처리제로서 염산 등 무기산에 대체할 수 있는 유기산를 사용하도록 권장하고 있으나 제조공정, 경제성, 현장적용과 효과면에서 여러 가지 문제가 해결되지 않고 있다. (중략)

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
• /
• 2016.11a
• /
• pp.161-161
• /
• 2016

연질 폴리염화비닐 졸 (PVC Sol) 코팅의 물리적, 화학적 내구성을 향상시키기 위하여 표면 개질된 무기물 입자를 첨가시킨 PVC 코팅을 형성하였고 그 특성을 분석하였다. 이를 통해 다양한 분야에 적용할 수 있는 고내구성 PVC sol 코팅공정을 확립하였다.

• Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference
• /
• 2002.12a
• /
• pp.38-39
• /
• 2002

일반적인 세라믹스 분말 합성방법으로서 고상법과 침전법 등은 성분 원소들간의 균일한 혼합이 어렵고, 대부분 최종 생성물의 합성 온도가 높아서 다성분계에 대하여 단일 상을 유지하면서 미세한 분말을 얻기가 힘들다. 그러나, 최근 들어 이러한 단점을 보완하기 위한 방법으로서 비정질 citrate법, 무기 금속염을 이용한 sol-gel법 등과 같이 비교적 공정이 단순하면서 입도 분포가 좁고 재현성이 우수한 구형의 초미립 또는 나노 분말의 제조에 적합한 방법들이 많이 연구되고 있다[1]. (중략)