• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.207-207
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• 2010

휴대용 기기의 사용이 증가하면서 전지의 고용량화와 소형화가 요구되고 있다. 특히 의료용 센서 기기에서는 소형화가 매우 중요하며 인체에 해로운 물질로 구성되지 않는 것이 바람직하다. 최근 고체전해질을 사용하는 마이크로 배터리가 개발되고 있으나, 에너지 저장용량이 작아 응용분야가 제한적이다. Silicon wafer 위에 형성된 고단차의 3차원 박막 배터리를 형성한다면 표면적 증가에 의해 에너지 저장용량 역시 크게 증가할 것이다. 따라서 고단차의 3차원 구조위에 confomal한 박막을 형성하기 위해서는 기존 물리증착방법과는 달리 새로운 step coverage가 우수한 박막증착법이 필요하다. 본 연구에서는 atomic layer deposition(ALD)으로 박막 배터리의 cathode 물질인 $LiCoO_2$를 증착하기 위한 기초연구로서 cobalt oxide 박막의 ALD 공정을 연구하였다. Cobalt +2가 전구체와 $O_3$를 교대로 공급하여 박막을 증착하고 그 박막의 물리적, 화학적, 전기적 특성을 조사하였다. 이를 통해 exposure와 기판온도가 박막의 특성에 미치는 영향을 고찰하였다. 또한 pattern wafer위에 박막을 증착하여 step coverage를 조사하였다.

• Journal of the KSME
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• v.37 no.12
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• pp.47-52
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• 1997

엑사이머 레이저는 Ar, Kr, Xe등의 희귀가스와 F, Cl과 같은 할로겐족 가스를 혼합하여 방전여기에 의해 발진되는 157-350mm 파장대에 자외선 레이저이다. UV레이저를 이용하면 종래의 기계 가공 공정으로 실현할 수 없는 극소형 및 초정밀의 기계구조, 센서 또는 액츄에이터를 비접촉식으로 할 수 있고 가공시 열손상이 거의 없다. 최근 제품의 소형화 및 박막화 추세에 따른 미세가공 기술의 급속한 발전을 살펴보면, Uv레이저를 이용한 실리콘 표면의 도핑(dopping)에 관한 연구, 미소전자 패키징에 레이저를 이용하는 방법뿐만 아니라, 레이저 유도에 의한 금속과 혼합물의 물질전달 현상을 활용한 마이크로 패터닝에 관한 연구도 진행되고 있다. 본 글에서는 여러가지 응용분야 중 레이저 어블레이션, 레이저유도화학에칭, 레이저 PVD등에 대하여 기술한다.

• Prospectives of Industrial Chemistry
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• v.22 no.6
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• pp.41-58
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• 2019

다공성 실리콘 나노 입자는 약물 전달과 바이오이미징 등 의생명공학 분야에 다양하게 활용할 수 있는 가능성을 지닌 소재이다. 실리콘 원소 특유의 생분해성, 발광 효과, 다공성 구조 형성을 통한 약물 전달 기능에 이르는 다양한 특성으로 인해 미래 중개의학 플랫폼으로 각광 받고 있으며, 특히 바이오이미징 분야에서의 활용성이 매우 주목 받고 있다. 이에 대한 최신 연구 동향을 보고하고자, 다공성 실리콘 나노 입자의 제작 및 바이오이미징 응용 연구에 대한 성과를 소개한다. 바이오이미징을 위한 핵심 요소인 발광 특성(근적외선 방출, 마이크로 초 단위의 감쇄 시간 등)에 대한 논의를 바탕으로 최근 연구 성과 및 약물 전달 과정 모니터링 기능 등 다방면의 응용 가능성에 대한 방향을 소개한다. 실리콘 나노 입자의 제작 및 표면 화학 반응을 통한 기능성 제어, 이를 활용한 바이오이미징 연구 동향에 대한 전략도 광범위하게 제시하고자 한다.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2009.11a
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• pp.32.2-32.2
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• 2009

21세기의 IT 및 NT를 선두 하게 될 나노소자의개발은 10년 전부터 아주 활발히 연구되고 있다. 최근, 이러한 나노소자의 연구 가운데 주목할 만한 물질이 ZnO 이다. ZnO를 기반으로 한 나노구조는 여러 성장 법으로 성장이 용이하고, 그 물리적, 광학적 특성이 우수하여 광 전소자 응용에 크게 이바지할 물질로 관심을 끌고 있다. 이 가운데 나노선은 소자제작이 용이해 가장 많이 이용되고 있다. 나노선을기반으로 한 소자제작은 bottom-up 공정을 지향하고 있지만, 아직은 top-down 방식이 소자제작의 주류를 이루고 있다. 특히, 나노선 FET 소자제작 시에는 여전히 top-down이 사용되고 있으며, 채널로 사용되는 나노선의 어레이공정은 소자제작 시 가장 큰 어려움으로 대두되고 있다. 하지만, 이러한나노선의 수평 어레이 공정을 감소시킬 구조로 기판에 수평으로 배열된 나노월 구조가 제안되고 있다. 나노월구조는 어레이 공정 수를 크게 감소시켜 생산가격 면에서 큰 이점을 가져올 것으로 생각된다. 하지만, 이러한 ZnO 나노월은 GaN 기판에 한정하여 성장되고 있으며, 일부 Si 기판 위에 성장할지라도나노 사이즈가 아닌 마이크로 사이즈의 거친 표면을 가지는 박막구조로 보고되었다. 때문에, 가격적으로 비싸고 응용성이 제한적인 비전도성 기판을 대신하여, 가격이 저렴하고 응용성이 넓은 Si과 같은 전도성 기판에 나노월 구조를 성장하는 기술이 요구되고 있다. 본 연구에서는 Mg의 도입으로 자발적으로 형성된 비정질 MgO층 위에 상 분리된 MZO 비정질-단결정 층들을 이용하여 어떠한 기판에서도 나노월 구조가 성장할 수 있는 기반 기술을 소개한다.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.13 no.12
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• pp.6022-6026
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• 2012

This article presents a band-stop filter (BSF) by using a periodic structure property of frequency selective surfaces (FSSs) embedded in a microstrip transmission line. The proposed BSF is designed with FSS unit cells modifying the cross-loop slots. The BSF is interpreted with an equivalent circuit model and a dispersion diagram. The center frequency (fo) of the BSF is 6.6GHz. Proposed filter increases the number of unit cell. As a result, 3dB bandwidth is wider and insertion loss is reduced. Also, Facbricated BSF exhibits uniplanar geometry, simple fabrication.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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• v.34 no.6
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• pp.655-663
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• 2010

Wettability is important to enhance not only CHF but also nucleate boiling heat transfer, as shown by the results of different kinds of boiling experiments. In this regard, an excellent boiling performance (a high CHF and heat transfer performance) could be achieved in the case of pool boiling by some favorable surface modifications that can satisfy the optimized wettability condition. To determine the optimized boiling condition, we design special heaters to examine how two materials, which have different wettabilities (e.g., hydrophilic and hydrophobic materials), affect the boiling phenomena. The special heaters have hydrophobic dots on a hydrophilic surface. The contact angle of the hydrophobic surface is $120^{\circ}$ to water at the room temperature. The contact angle of the hydrophilic surface is $60^{\circ}$ at same conditions. Experiments involving micro hydrophobic dots and two types of milli hydrophobic dots are performed, and the results are compared with a reference surface.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea TC
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• v.42 no.3 s.333
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• pp.33-38
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• 2005

In this paper, we have designed and fabricated a hybrid ring coupler to prove the fabrication possibility of various passive components, applying millimeter wave using newly proposed transmission lines, i.e. BAMLs. The characteristics of the fabricated hybrid ing coupler were a the S31(coupling) of 3.58 dB, the S21(thru) of 3.31 dB at the 60 GHz center frequency, the S11(return loss) over 16.17 dB, S41(isolation) over 55 dB at 61 GHz, and the phase difference between port 2 and port 3 of $180{\pm}loat$ 60GHz. In order to reduce the size of hybrid ring coupler, we designed the hybrid ring coupler which inserts a slow wave structure. With this structure, we were able to reduce the hybrid ring coupler by $33\%$ area.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.31 no.5
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• pp.509-513
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• 2020

The performance of TiO₂ microcones/CNT composites as an anode material for lithium ion batteries was investigated. TiO₂ microcones/CNT composites were prepared by the polarization followed by electrophoretic deposition approaches on anodic TiO₂ microcones, which were composed of individual nanofragments resulting in a large surface area where lithium ion can be stored. Compared to pristine TiO₂ microcones, TiO₂ microcones/CNT composite electrodes showed higher areal capacity with a stable cyclability due to an enhanced electrical and lithium ion conductivity. Furthermore, TiO₂ microcones/CNT composite electrodes exhibited good cycle life characteristics and excellent rate retention under a high current density of up to 20 C.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea TC
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• v.43 no.5 s.347
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• pp.147-155
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• 2006

In this paper, we propose a new Mushroom-like PBG concepts for designing with forbidden frequency band-gap at low frequency. These design rules are based on enhancing the capacitance per unit area using modified top-patch of mushroom PBG with no increase on the overall thickness of the substrate board. Also, in this paper, a new approach to suppress the surface wave from antenna is proposed by embedding compact mushroom PBG in the substrate. Comparisons between the results from a conventional patch antenna to a patch antenna on a PBG substrate show that the reduction in the surface wave level is remarkable. This can be observed in the radiation pattern and the maximum gain. The maximum gain for reference patch antenna is $6.43dB{\imath}$ at 5.37 GHz, while the maximum gain for the patch antenna with normal mushroom and vane mushroom PBG is $7.24dB{\imath}\;and\;7.53dB{\imath}$at 5.14 GHz. The back radiation is also considerably reduced; this will lead, of course, to an increase in the antenna efficiency.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.29 no.8
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• pp.920-926
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• 2012

Wrinkling is a common phenomenon in nature and the shape of a wrinkle can be defined using characteristic dimensions such as pitch, length, amplitude, and density etc. Wrinkle structure can be utilized in various research fields, and especially it has special characteristics when it used in applications of heat transfer; a wrinkly surface has the effect to promote turbulent flow and increasing surface area. However, the generation of wrinkle structures in somewhat regular is not easy. Till now, there are some research works focused on realization of wrinkles in micro scale. However, most of the processes generally requires high precision equipments and high costs, and also there is a limitation to generate the wrinkles in a large area. In this study, we propose a novel method named as a RCO (repetitive contact-and-open) process to fabricate wrinkle structure with low cost and relative easy way. Using the RCO, we fabricated micro-corrugate structures successfully. From the experimental results, we found out the process parameters of RCO, and showed the possibility of RCO to be used in real applications.