• 제목/요약/키워드: 램프 하우스

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반응표면분석법을 이용하여 노광기 램프하우스의 냉각조건 수치해석 (Numerical Analysis for Cooling Condition of a Lamp House in the Exposure Device by Response Surface Methodology)

  • 김영신;전의식
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제15권3호
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    • pp.1265-1271
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    • 2014
  • 노광기의 램프 냉각은 노광성능 및 기기수명에 큰 영향을 미친다. 본 논문에서는 노광장치로 유입되는 냉각공기의 속도를 도출하기 위해 램프하우징 내부의 열유동 해석을 수행하였다. 램프하우징의 냉각성능은 하부와 측면의 냉각 공기 속도에 의해 영향을 받는다. 하부 및 측면의 냉각 공기 속도를 독립변수로 설정하고, 상부 반사경 온도, 타원경의 온도 및 상부 배출공기의 온도를 종속변수로 설정하였다. 효율적인 냉각 해석을 위해 반응표면분석법에 의해 해석 조건을 설정하였다. 설정된 조건에 따라 해석을 수행하였으며, 수행된 결과를 바탕으로 냉각 공기 속도에 따른 램프 하우징 주요부 온도를 예측할 수 있는 회귀식을 도출하였다. 또한 종속변수를 목표온도까지 냉각하기 위한 냉각공기의 유입속도를 설정하였다.

온실과 무가온저장고의 재배환경 및 저장성 증가를 위한 플라즈마 히터 개발 (Development of a Plasma Heater to Increase Cultivation Environment and Storability of Greenhouse and Non-Storage Pool)

  • 김응곤
    • 한국전자통신학회논문지
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    • 제14권4호
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    • pp.761-768
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    • 2019
  • 본 논문에서는 진공자외선(VUV)의 파장대를 활용한 저온 플라즈마 램프방식의 살균 및 정화기능과 수직형 히팅시스템의 기능을 결합한 플라즈마 히터 제품 개발을 목표로 한다. 이를 통해 온실이나 시설하우스 내의 작물의 재배환경을 개선하고 무가온저장고나 저장창고 등의 저장된 작물의 신선도를 올려 저장성을 증대시키고자 한다. 추가적으로 ICT 기술을 활용하여 사용자가 실시간으로 온실하우스 내의 변화를 확인하고 대응할 수 있도록 할 실시간 모니터링 기술도 접목시키고자 한다.

FPD 공정을 위한 램프하우스 열전달 특성 연구

  • 김태안;서원호;김준현;김윤제
    • 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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    • 한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 추계학술대회 발표 논문집
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    • pp.132-137
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    • 2006
  • With the help of the development of digital-multimedia in the middle of 1990's, FDP(Flat Panel Display) had attracted considerable attention. Collimation proximity exposure system that transfers the pattern on wafer or glass exactly using mask and light with appropriate wavelength is core process in semiconductor and liquid display element. The performances of resolution required in precision exposure system are evaluated by resolving power, depth of focus and storage area. Most of development has targeted on these three factors. The optical design including lamp house has played an important role on the performance of exposure process. In this study, we evaluate the cooling system, concerning on exposure device with mercury lamp among the kernel equipment for the production of LCD, to prevent the instability of lighting due to long term accumulation of excessive heating inside the lamp house. Numerical analysis is conducted on full-scale model. The characteristics of three-dimensional flow, pressure and temperature distribution on exposure system are graphically depicted to estimate the whole cooling system for lamp house and to establish the design criteria.

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잎들깨 수량과 단백질체 발현에 미치는 UV-B의 영향 (Effect of Elevated Ultraviolet-B Radiation on Yield and Differential Expression of Proteome in Perilla (perilla frutescens L.))

  • 홍성창;황선웅;장안철;신평균;장병춘;이철원
    • 한국환경농학회지
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    • 제25권1호
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    • pp.7-13
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    • 2006
  • 비닐하우스는 노지보다 UV-B 선량이 적고 외기와 차단되어 노지와 다른 생육환경 하에서 작물이 생육하게 된다. 본 연구는 UV-B 저선량 상태인 비닐하우스 재배 잎들깨에 UV-B를 처리하여 수량과 생리변화를 검토하고자 수행하였다. UV-B는 형광램프를 이용하여 잎들깨 수관으로부터 150, 120, 90 cm에서 처리하여 각각 노지자연량, 노지자연량+50% 증가량, 노지자연량+100% 증가량을 다른 광의 간섭이 없는 밤 9시부터 2시간씩 30일간 처리하였다. UV-B 처리에 의한 잎들깨 수량은 비닐하우스, 노지 자연량 150% 증가량, 노지자연량, 노지자연량+100% 증가량 처리 순이었다. 7월 20일의 자연 UV-B 선량은 노지 13.6 kJ/일, 비닐하우스 4.9 kJ/일로 비닐하우스의 UV-B 선량은 노지보다 64% 감소되는 것으로 측정되었다. UV-B가 균일하게 처리된 잎들깨의 단백질을 추출하여 2차원전기영동으로 분리하고, 이미지분석하여 발현량을 분석한 결과 UV-B에 의해 33개의 단백질 발현이 변화되었으며 이중 10개가 동정되었다. 동정된 단백질의 기능별로 분류하면 광합성과 관련된 것이 40%, 스트레스 및 스트레스 방어와 관련된 것이 60%였다. UV-B에 의해 발현이 감소한 단백질은 광합성과 관련된 ATP synthase CF1 alpha chain이었고 발현이 증가한 단백질은 DNA recombination and repair protein recF, Heat shock protein 21, Catalase, Galactinol synthase, S-adenosyl-L-methionine, Calcium-dependent protein kinase(CDPK)-like 로 주로 스트레스 및 스트레스 방어와 관련된 단백질들로서 UV-B는 잎들깨 세포내 DNA와 광합성기구를 손상시켜 광합성에 저해적으로 작용하여 수량을 감소시킨 것으로 판단되었다.