Tungsten polycide gate 구조에서 $WSi_x$ 두께와 fluorine 농도가 gate oxide 특성에 미치는 영향
(Effects of $WSi_x$ , thickness and F concentration on gate oxide characteristics in tungsten polycide gate structure)
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- 한국진공학회지
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- 제5권4호
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- pp.327-332
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- 1996