• Title/Summary/Keyword: 다층코팅

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EM wave scattering by bianisotropically coated multilayer cylinder with an impedance sheet[II] (쌍이방성 매질 코팅 다층 원통에 의한 전자파 산란 해석[II])

  • 엄상진;윤중한;이화춘;곽경섭
    • The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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    • v.26 no.4B
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    • pp.391-399
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    • 2001
  • In this paper, electromagnetic wave scattering from a bianisotropicaly coated cylinder is formulated by using wave functions for bianisotropic media and boundary-value method. The cross section of the cylinder is made of a conducting core, a lossless dielectric layer which is both electrically magnetically bianisotropic, and a bianisotropic impedance sheet and a different uniaxial bianisotrpic coating. The solutions to arbitrary polarization angles are presented in two-dimensional. This paper presents and exact solution to the problem of scattering by a long composite circular cylinder using the boundary method. The validity of this solution is verified by comparing numerical results with those in literature. The numerical results for various geometrical and electrical parameters on bistatic scattering cross-section are presented.

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Fabrication of nano texturing on the polymer surface for transmittance property (폴리머 기판상 나노 구조 형성을 통한 광특성 제어 연구)

  • Byeon, Eun-Yeon;Lee, Seung-Hun;Kim, Do-Geun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2017.05a
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    • pp.87.2-87.2
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    • 2017
  • 폴리머 필름에 표면처리 및 코팅, 필름의 다층화, 원료 소재의 하이브리드화 등을 통해서 기능성을 부여한 기능성 고분자 필름은 디스플레이, 반도체, 자동차, 에너지, 포장재 등 다양한 분야에 응용되고 있다. 기능성 고분자 필름의 산업화를 위해 대면적 연속 공정기술 개발이 필요하며, 본 연구에서는 roll to roll 시스템을 이용하여 폴리머 기판상 나노 구조 형성을 위한 공정연구를 수행하였다. 재료연구소 자체 개발 선형이온소스는 0.25 keV에서 1 keV까지 에너지 조절이 용이하며, 이온빔 조사를 통해서 PET, PMMA, PDMS 등 다양한 폴리머 기판의 표면에 나노 구조화 공정을 개발하였다. 표면 나노 구조 형성을 통해서 폴리머 필름의 투과도와 Haze 제어가 가능하며, 공정 기술을 통해 저반사 및 고굴절 특성의 기능성 필름을 제작하였다. 이러한 나노 구조화 필름은 플렉서블 디스플레이의 광추출효율 향상을 위한 광추출층, 저반사 디스플레이 패널 필름 등에 적용 가능한 기술이다.

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이종 금속 입자를 도핑한 이산화 티타늄박막의 굴절률 및 광학 특성 변화

  • Lee, Jae-Hyeok;Lee, Su-Min;Kim, Seon-Min;Seo, Mun-Seok;Sim, Gwon-U;Han, Jong-Hun;Kim, Tae-Geun;Jo, Jin-U
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.08a
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    • pp.233-233
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    • 2011
  • 건물 내부의 에너지 효율을 높이기 위해 창호의 단열 효율을 높이는 연구가 최근 큰 주목을 받고 있다. 특히 고굴절률과 저굴절률의 소재를 이용한 다층 박막 구조를 형성하여 높은 광투과율을 유지하면서도 적외선 에너지를 선택적으로 차단하는 창호의 연구가 이루어지고 있다. 본 연구에서는 고굴절률 특성을 가진 TiO2박막을 이종 금속 이온을 sol-gel법을 이용해 첨가 복합화한 후 유리 기판에 스핀 코팅후 열처리하여 성막하였다. 생성된 막은 atomic force microscopy (AFM), 전계 방출 전자현미경, UV-vis를 이용해 각각의 금속 이온에 대한 박막 표면의 형상 변화와 광학적 특성 변화를 확인하였다.

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Microstructure and TCR Properties of TaNx Thin Films Coated under various $Ar/N_2$ Fraction (질소분압에 따른 TaNx 코팅층의 미세조직과 TCR 특성 변화)

  • Kim Seon-Hwa;Choi Yong-Lak;Han Seong-Ryong;Ho Song-Gyu;Jung Jun-Hyuck
    • Proceedings of the KAIS Fall Conference
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    • 2005.05a
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    • pp.45-47
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    • 2005
  • 전기, 전자, 우주, 자동차, 무기 등의 여러 분야에서 응용되고 있는 고정밀, 고저항체 박막인 TaNx 다층박막을 반응성 마그네트론 스퍼터링법으로 제조하여 질소분압에 따른 TCR 특성 변화를 조사하고, XRD와 SEM 관찰을 통하여 미세조직이 전기적 성질에 미치는 영향을 알아보았다. 제조된 TaNx 박막의 전기저항은 질소분율이 증가함에 따라 저온보다 고온에서 전기저항이 감소함을 보여 뚜렷한 (-)TCR 특성을 나타내었다. XRD 분석 결과, $Ar/N_2$ 비가 0.05에서 TaN 상이 형성되고 0.1에서 우수한 결정성을 나타내었으며, $N_2$의 양이 증가할수록 비정질이 형성되었다. 박막의 표면 형상은 미세하고 불연속 아일랜드 형태로 변화하였다.

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Properties of TiN films prepared by oblique angle deposition using various sputtering conditions (빗각 증착법을 이용한 스퍼터링 공정조건에 따른 TiN 박막의 빗각형상 및 특성 연구)

  • Song, Min-A;Yang, Ji-Hun;Jeong, Jae-Hun;Kim, Seong-Hwan;Jeong, Jae-In
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2014.11a
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    • pp.23-23
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    • 2014
  • 빗각 증착은 입사 증기가 기판에 수직하게 입사하는 일반적인 공정과는 다르게 증기가 기판의 수직선과 $0^{\circ}$이상의 각을 갖는 증착 방법을 의미한다. 본 연구는 공정 압력이 비교적 높은 스퍼터링 공정에서 빗각 증착을 실시하여 코팅층의 구조제어가 가능한지를 확인하였다. 본 연구에서는 조직의 치밀도 향상을 통한 특성 향상을 위해 TiN 박막을 제조함에 있어서 빗각 증착 기술을 응용하여 단층 및 다층 피막을 제조하고 그 특성을 비교하였다.

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Effect of oblique angle deposition on corrosion resistance of Al coatings (Al 코팅의 내식성에 빗각 증착 방법의 효과)

  • Jeong, Jae-Hun;Yang, Ji-Hun;Song, Min-A;Kim, Seong-Hwan;Jeong, Jae-In
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2014.11a
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    • pp.234-234
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    • 2014
  • 철강 제품의 내식성 향상을 위해 강판 위에 알루미늄을 $0^{\circ}$, $30^{\circ}$, $45^{\circ}$, $60^{\circ}$의 빗각으로 증착하여 박막의 조직 및 내식성을 평가하였다. 단일층 박막에서는 회전각도 $60^{\circ}$에서 치밀한 조직이 보였으며 3층의 다층박막에서는 회전각도 $45^{\circ}$ 에서 아주 치밀한 조직이 관찰되었고 염수분무 결과 264시간 경과 후 적청이 발생하기 시작하여 312시간 경과 후 기판의 전 면적에 적청이 나타났다. 이 결과는 $3{\mu}m$ 의 동일한 두께에서 내식성이 3배 이상 향상된 것임을 나타낸다.

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Expressions for Ellipsometric Constants of Samples Covered with Two Thick Incoherent Films (결맞음길이보다 두꺼운 두 개의 막에 덮여있는 시료의 타원식)

  • Kim, Sang Youl
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.24 no.2
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    • pp.92-98
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    • 2013
  • The expressions for ellipsometric constants of a sample covered with two thick films are derived, where incoherent superposition of multiply reflected lights inside thick films is properly considered in the frame of the rotating analyzer ellipsometry. The derived expressions are successfully applied to the analysis of a silicon wafer with a thin silicon dioxide film on it, which is placed beneath a cover glass and an air gap.

Multilayer Coatings on Flexible substrate for Electromagnetic Shielding by Using Dry/Wet Hybrid Processes (건습식 혼합공정을 이용한 유연소재 상 전자파 차폐용 다층막 코팅)

  • Lee, Hoon-Seung;Lee, Myeong-Hoon
    • Journal of Surface Science and Engineering
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    • v.50 no.5
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    • pp.373-379
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    • 2017
  • Dry processes like evaporation and sputtering in vacuum chamber are difficult to make a uniform, large area and high quality film on thin PET substrate because of PET degradation and bad adhesion. On the other hand, wet processes like electro or electroless plating have complex processes and require high environmental cost. In this study, we successfully prepared $2{\mu}m$ Zn/Cu/Ni multilayers coated on $12{\mu}m$ polyethylene terephthalate (PET) substrate by using dry-wet mixing processes. Their surface electric resistances were evaluated around $0.2{\Omega}$ by using 4 probe measurements. Furthermore, their corrosion resistance also evaluated by natural potential test and compared with other wet, dry and mixing process samples.

반도체 나노구조 제작 및 광전자 소자 응용

  • Yu, Jae-Su
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.08a
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    • pp.65.2-65.2
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    • 2013
  • 발광다이오드, 태양전지, 광센서, 바이오센서, 나노발전기 등을 포함한 여러 종류의 광전자 소자들의 성능을 향상시키기 위한 새로운 기술적 시도들이 제안되어 왔다. 반도체기반 나노구조는 넓은 표면적과 독특한 특성을 가지고 다양한 기능성의 부여가 용이하며, 주로 나노패턴형성 및 식각에 의한 top-down 방법과 성장/합성에 의한 bottom-up 방법들에 의해 제작되어 왔다. 최근, 단순성, 저비용 공정을 바탕으로 소자 표면상에 나노구조를 형성하여 성능을 개선하기 위한 연구가 활발히 이루어지고 있다. 또한 다층박막을 통한 무반사 코팅을 대체할 수 있는 moth-eye 효과를 이용한 생체모방형 서브파장 무반사 나노구조에 대한 관심이 증가하고 있다. 본 발표에서는 실리콘, 화합물, 산화물을 포함한 반도체 나노구조들의 설계 및 제작을 통해 구조적, 광학적 특성을 측정, 분석하고 이들의 다양한 광전자소자 응용에 대한 연구결과를 발표하고자 한다.

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