• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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• pp.329-329
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• 2010

반도체 및 디스플레이의 진공부품은 알루미늄 모제에 전해연마법(electrolytic polishing), 양극산화피막법(Anodizing), 플라즈마 용사법(Plasma spray) 등을 사용하여 $Al_2O_3$ 피막을 성장시켜 사용되고 있다. 반도체 제조공정 중 30~40% 이상의 비중을 차지하는 식각(etching) 및 증착(deposition) 공정은 대부분 플라즈마를 사용하고 있다. 플라즈마에 의해 화학적, 물리적 침식이 발생하여 코팅막에 손상을 일으켜 코팅막이 깨지거나 박리되면서 다량의 Particle을 생성함으로써 생산수율에도 문제를 야기 시킨다고 알려져 있다. 하지만 이들 코팅막을 평가하는 방법은 거의 전무하여 산업계에서 많은 애로를 겪고 있다. 이러한 코팅부품의 내플라즈마 성능평가 방법과 기준이 없어 적절한 교체시기를 파악하기 위한 코팅부품의 손상정도를 정량화 및 평가 방법의 표준화를 구축하는 연구를 수행하였다. 본 연구에서는 이러한 소재의 특성평가를 위해 공정에서 사용 중 손상되어 교체된 샘플의 모폴로지 관찰하고 내전압 측정으로 전기적 특성을 분석하여 손상 전, 후의 변화를 관찰하였다. 또한 플라즈마의 영향에 따른 코팅 막 형태 변화 및 전기적 특성의 변화를 알아보기 위하여 양극산화피막법(Anodizing)으로 $Al_2O_3$를 성장시킨 평가용 샘플을 제작한 후, Plasma chamber 장비를 이용하여 플라즈마 처리에 따른 코팅막의 내전압, 식각율, 표면 미세구조의 변화를 측정하였고 이를 종합적으로 고려하여 진공 장비용 코팅부품의 공정영향에 의한 내플라즈마 특성평가방법 개발에 관하여 연구하였다. 이러한 실험을 통해 플라즈마 처리 후 코팅 막에 크랙이 발생되는 것을 확인할 수 있었고 코팅 막의 손상으로 전기적 특성이 감소를 것을 확인할 수 있었다. 또한 ISPM 장비를 이용하여 진공 장비용 코팅부품이 플라즈마 공정에서 발생하는 오염 입자를 측정할 수 있는 방법을 연구하였다. 이러한 결과를 이용하여 진공공정에서 사용되는 코팅부품이 플라즈마에 의한 손상정도를 정량화 하고 평가방법을 개발하여 부품 양산업체의 진공장비용 코팅부품 개발 신뢰성 향상이 가능할 것으로 본다.

• 전기의세계
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• 제28권8호
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• pp.18-24
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• 1979

일반적으로 변압기절연에서는 기름 gap이 파괴하면 유침지의 손상이나 절연전체의 내전압저하에 크게 영향을 미치기 때문에 우선 기름 gap 단독의 파괴특성에 대해서 논하기로한다. 다음에 복합절연의 특성으로서 유침지에 의한 분할효과와 barrier효과등에 관해 소개코저 한다. 특히 후자의 경우는 만일 부분파괴가 발생하여도 전로파괴에 이르지 않게 하기위한 신뢰성향상면에서도 대단히 중요하다. 마지막으로 절연유의 열화방책에 대해서도 간략히게 해설하겠다.

• 전기학회논문지
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• 제61권4호
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• pp.601-605
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• 2012

The non-controlled closing of High-voltage SF6 gas circuit breaker can cause transient current and overvoltage in the field. The controlled closing technology is an effective way to reduce transient current and voltage, prevent equipment failures, and improve power quality. For the development of controlled closing, it is obviously necessary to determine the withstand voltage between arc contacts of High-voltage SF6 gas circuit breaker in making operation. This paper focuses on decrease of pressure and density of SF6 gas that can affect withstand voltage between arc contacts in making operation. The dielectric strength between arc contacts could be improved by minimizing the decrement of pressure and density of SF6 gas obtained by simulation and test and moreover the rate of decrease of dielectric strength (RDDS) of arc contacts could be foreseen.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2008년도 추계학술대회 논문집 전기설비전문위원
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• pp.76-77
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• 2008

The purposes of this paper ensure for the economical efficiency, accuracy, and good applications in domestic site set up the power installations. For the efficient conduct of these purposes, there are measured the partial discharge(PD) used by current probe and compared with detected signal of UV sensor. As the results, PD generated about 35% of breakdown voltage in polymer insulator. UV signal due to high voltage in polymer insulator is detected from about 1.7mV at 30kV to about 3mV at 70kV. Signal detected by ultra-sonic is increased at about 75% of breakdown voltage abruptly. It appears that error range is increased in boundary. UV sensor is needed must use from the practical and economical points of view.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2011년도 제42회 하계학술대회
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• pp.2132-2133
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• 2011

본 논문에서는 차량용 수소 연료전지 냉각수의 절연열화특성을 평가하기 위해 냉각수 시료에 대해 운전온도 보다 가혹한 열 열화 조건을 인가하여 그 특성을 평가하였다. 연료전지 냉각수의 절연열화기구는 냉각수 내 이온성 불순물 증가로 인한 도전율 상승, 유기물 성분의 열열화로 인한 절연저항 및 유전특성 변화 등으로, 이는 연료전지 차량의 절연저항 저하 등의 문제를 야기시킬 수 있다. 본 논문에서는 이온성 불순물에 의한 국부적인 절연특성을 평가 하기 위해 상용 전기전도도미터를 이용한 비전도도 측정 및 열열화로 인한 유기물 성분인 절연성 부동액의 유전특성 변화를 진단하여 열 열화된 냉각수의 전기전도도 및 전기용량 특성을 평가하였다. 또한 각 시료에 대한 내전압 시험을 진행하여 열 열화와 절연파괴 특성의 관계를 확인하였다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2009년도 제40회 하계학술대회
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• pp.304_306
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• 2009

본 논문은 IEEE std 400에서 규정하고 있는 케이블 시험방법 중 Type 1, 파괴시험법(DC, 상용주파 내전압, 그리고 VLF내전압 시험)은 절연물 손상을 발생시키므로 예방진단에 사용될 수 없고 그렇지 않은 Type 2. 비파괴시험법에 대해 주로 소개하였다. 이와 추가하여 한전에서 사용 중인 IRC(Isothermal Relaxation Current) 측정법에 대해 간략하게 소개하고 더불어 IEEE Std 400에서 제시하고 있는 $Tan{\delta}$측정법의 문제점 및 개정 방향을 소개하고, 마지막으로 IEEE Std 400.3의 PD신호의 분석을 통해 결함위치와 열화정도를 평가 진단하는 기법에 대해 서술하고저 한다.

• 전기의세계
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• 제24권6호
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• pp.50-55
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• 1975

PE(polyethlene)가 절연재료로서 지니는 특징은 (1)전기절연성이 크고 내전압이 높다. (2)무극성분자 구조이기 때문에 특히 고주파유전특성이 우수하다. (3)내수, 내습성이 있다. (4)경량이며 비교적 기계적 특성이 좋고 가격도 저렴한 편이다. 등등이라 하겠다. (1)(3)(4)등과 같은 특징을 중시하여 전력 cable의 절연피복으로 사용되었으며 (2)의 특징에 유의하여서는 통신선의 피복재로 애용되고 있다. 그러나 PE의 단점은 일반 타수지와 마찬가지로 부열성이 약한 점이다 .실로 저밀도 PE는 110.deg.C, 고밀도 PE의 경우는 125.deg.C부근에서 녹아 흐르기 시작한다. 이와 같은 단점을 개선하는 방법으로 분자쇄간을 가교시켜 3차원적 망상 구조로 만들어 고온에서의 분자쇄유동을 억제함으로 내열성을 높이는 기술이 개발되어 왔으며 이를 위한 가교방법은 방사선조사에 의한 물리적 방법과 과산화물을 사용하는 화학적 방법으로 대별할 수 있다. 이와 같이 가교된 PE는 다만 열 특성만이 향상될 뿐더러, 전기적, 기계적 특성에도 변화를 초래하기 때문에 여기에서 실용적 견지에 입각하여 가교포리에티렌의 물성 및 이것을 중심으로한 가교 방법 일반에 대한 개요를 소개하고저 한다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2015년도 제46회 하계학술대회
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• pp.1215-1215
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• 2015

본 연구에서는 상용 XLPE 절연체에 ES(한전)의 장기과통전 시험 기준을 참고하여, 가속 열 열화 하였고, 열화 전/후의 절연특성을 비교하기 위하여 VLF(0.1Hz) 내전압 파괴시험을 수행하였다. 또한, 그 결과를 Weibull plot하여 절연특성을 통계적으로 비교 및 분석하였다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2002년도 하계학술대회 논문집 C
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• pp.1443-1445
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• 2002

내전압과 내아크성을 높이고 $SF_6$가스 내에서 복합재료로 사용된 유리섬유를 보호하기 위한 코팅 재료를 만들어서 특성을 평가하였다. 에폭시 수지에 내아크성이 우수한 무기물 필러인 $Al_2O_3$, $MgAl_2O_4$, BN, MgO 등을 첨가하여 절연저항, 유전특성, 내아크성 등의 전기적 특성을 평가하였다. 코로나 처리에 의한 열화를 평가하기 위하여 접촉각을 측정하고 전자현미경으로 표면의 상태를 관찰하였다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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• pp.119-119
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• 2012

경질 Anodizing에 비해 플라즈마 전해산화(Plasma Electrolytic Oxidation, PEO)에 의해 생성된 알루미늄 피막의 내식성이 우수하다고 알려져 있다. PEO는 기존의 Anodizing 피막에 비해 내구성이 우수한 피막이기 때문에 일부 산업 분야에서 기존의 피막보다 PEO 피막을 선호하고 있다. 플라즈마 전해산화는 400V 이상 고전압하에서 Anode에 생성되는 스파크에 의한 산화반응을 이용하여 금속 표면에 산화 피막을 생성하는 공정이다. 전처리 과정을 거칠 필요가 없기 때문에 친환경적이며, 공정 과정도 복잡하지 않다. PEO의 여러 가지 특성(내전압, 플라즈마 부식성, 화학 부식성, 실시간 파티클)을 한국표준과학연구원이 보유한 장비들을 사용하여 분석하여, 기존의 Anodizing 피막과 비교 평가하였다. 이 실험 결과를 바탕으로 기존의 피막보다 우수한 특성을 가진 PEO 피막을 개발 진행 중에 있다.