• Title/Summary/Keyword: 공정 품질 해석

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Predicting and Interpreting Quality of CMP Process for Semiconductor Wafers Using Machine Learning (머신러닝을 이용한 반도체 웨이퍼 평탄화 공정품질 예측 및 해석 모형 개발)

  • Ahn, Jeong-Eon;Jung, Jae-Yoon
    • The Journal of Bigdata
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    • v.4 no.2
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    • pp.61-71
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    • 2019
  • Chemical Mechanical Planarization (CMP) process that planarizes semiconductor wafer's surface by polishing is difficult to manage reliably since it is under various chemicals and physical machinery. In CMP process, Material Removal Rate (MRR) is often used for a quality indicator, and it is important to predict MRR in managing CMP process stably. In this study, we introduce prediction models using machine learning techniques of analyzing time-series sensor data collected in CMP process, and the classification models that are used to interpret process quality conditions. In addition, we find meaningful variables affecting process quality and explain process variables' conditions to keep process quality high by analyzing classification result.

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Improvement of Quality by CAE Flow Analysis (CAE 유동해석을 통한 글라스 홀더 플레이트 (G/H Plate)의 품질개선)

  • 안계운;허용정
    • Proceedings of the KAIS Fall Conference
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    • 2003.06a
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    • pp.122-124
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    • 2003
  • 본 연구는 사출성형공정 후 조립공정에서 발생하고 있는 사출성형물의 Weld line에 의한 사출성형물의 파괴현상을 해석하고 개선된 품질을 얻기 위한 시도이다. 사출성형 관련 설계는 사출금형설계 전문가의 축적된 지식과 경험을 활용하여 수행되어 왔으며, 설계에 필요한 설계자의 경험이 전무한 경우 많은 시행 오차를 유발하고 있는 실정이다. 본 연구에서는 글라스 홀더 플레이트를 사출성형하고 조립공정을 수행함에 있어 생산 중 발생되고 있는 Weld line에 의한 제품의 강도 문제를 수치해석을 통하여 시뮬레이션함으로써 제품 품질을 향상 하고자 해석과 평가를 시도 하였다.

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Decision Support System for Prediction and Estimation of Qualities Based on Neural Networks and Fuzzy Logic (퍼지 논리와 신경망에 기반한 공정 예측 및 품질 추정을 위한 공정관리 의사지원시스템)

  • Bae, Hyun;Woo, Young-Kwang;Kim, Sung-Sin;Woo, Kwang-Bang
    • Proceedings of the Korean Institute of Intelligent Systems Conference
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    • 2004.04a
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    • pp.334-337
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    • 2004
  • 차세대 생산 시스템(Next Generation Manufacturing System: NGMS)의 핵심 개념은 분산 생산 시스템과 다품종 소량의 유연 생산 시스템의 지원이다. 이러한 시스템의 구성을 위하여 실시간 데이터에 기반한 예측 모델이 필수적인데, 이러한 예측 기능을 통하여 생산공정의 관리와 운영, 특히 전체 공정관리를 효율적으로 수행할 수 있다. 한편, 공정으로부터 전송된 데이터는 특정한 형태의 지식으로 표현된다. 이러한 지식들은 시스템에 대한 다양한 정보를 가지고 있으므로 정보를 이용하여 시스템 상태를 빠르고 쉽게 진단할 수 있다. 공정 진단은 현재 공정 상태에서 생산되는 제품의 품질을 추정할 수 있는 정보로 활용된다. 본 논문에서는 이러한 개념이 바탕이 되어 공정관리 시스템을 설계하였다. 제안된 시스템의 적용 대상은 반도체 제조 공정의 단위 공정인 에칭 공정이다. 에칭 공정은 공정 중에 연속적인 검사가 수행되지 않고 최종 제품에 대한 검사가 수행되므로 불량 원인을 찾는 것이 쉽지 않다. 따라서 본 논문에서는 공정관리를 위한 의사지원시스템을 통해 공정의 연속적인 간접진단을 수행하고자 하였다. 본 연구에서 사용된 의사지원시스템은 각 공정에서 얻어지는 데이터와 경험적 지식을 토대로 공정시스템의 해석과 진단이 가능한 시스템이다.

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A Study on Variation Stack-up Analysis using a Monte Carlo Simulation Method (시뮬레이션 방법을 이용한 허용차 해석에 관한 연구)

  • Byoungki Lee
    • Journal of Korean Society of Industrial and Systems Engineering
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    • v.17 no.32
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    • pp.187-197
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    • 1994
  • 오늘날 소비자의 요구가 다양해지면서 여러 개의 복잡한 부품들로 이루어진 제품이 많아지게 되었다. 각각의 부품들의 공차가 제대로 결정되지 못함으로 해서 완성된 조립품의 품질이 예상외로 나빠지는 경우가 종종있다. 본 연구는 각각의 부품들의 치수 공차와 생산 공정에서 생길 수 있는 오차들을 모두 포함시켜서 완성된 조립품의 품질을 예상할 수 있는 정확한 공차 해석 방법에 대해서 연구한다. 그 방법으로 몬테카를로 시뮬레이션 방법을 소개하고 그것에 대해서 연구한다. 본 연구를 통해서 완성된 조립품의 품질 및 성능을 저하시키는 요인을 효율적으로 결정할 수 있게 된다.

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Development of the hot ring rolling processes for multilayered ring parts with a large outer diameter (외경이 큰 환형 부품의 다중형상 열간 링 롤링 공정의 개발)

  • Kim, Kyung-Ryool;Kim, Young-Suk
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.16 no.2
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    • pp.952-962
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    • 2015
  • In this study, multilayered rings with a large outer diameter have been developed using a hot ring rolling process. The ring rolling process has been analyzed by rigid plastic finite element analyses (FEA) using the AFDEX2D and AFDEX3D/HEXA/RING simulators, where the finite element meshes received severe plastic deformation are remeshed into a fine mesh-size using a dual-mesh system. According to the simulated results, the design variables of the multilayered rings were determined and real tests were conducted to check the validity of the simulation results. By adopting the hot ring rolling process, the input weight of raw materials was reduced by 40% against the conventional hot forging process and that the recovery rate was increased by 24%. The measurement of the averaged roundness was satisfied within 0.5 mm for both the inner and outer diameters. Moreover, the hot ring rolling processes yielded 1.49 Cpk for the outer-diameter and 0.84 Cpk 0.84 for the inner-diameter.

Analytical and Experimental Study on the Quality Stability of Multi Roll Forming Process (멀티 롤 포밍 공정의 품질 안정성에 대한 해석 및 실험적 연구)

  • Son, Jae-Hwan;Han, Chang-Woo;Ryu, Kyung-Jin;Kang, Hae-Dong;Kim, Chul-Hong
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.16 no.10
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    • pp.6977-6984
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    • 2015
  • It is faced with the necessity of multi roll forming process of the ball slide rail which is made by adding the separate manufacturing processes, piercing, bending, trimming, to the roll forming process of a continuous plastic deformation, to improve the quality. However, the vibration and noise of the press machine in this process leads to the quality degradation of slide rail manufactured in this process. In this study, the roll was designed considering the optimal strain rates by the roll forming program with finite element method. And to estimate the static stability of the multi process the Von-Mises stress and deformation on the press was calculated with a structural analysis program. Also, to avoid driving systems in the resonance region their natural frequencies in the 1st and 2nd mode were calculated through the modal analysis. To verify its dynamic stability improvement the magnitudes of noise and vibration in the existing and studied system were compared using a microphone and accelerometers. And the widths and surface roughnesses of the rails which had been produced in the existing and studied process were measured. Therefore, it is known that multi roll forming process is stable in the analytical and experimental study.

특집: 미래주도형 성형공정과 수치 해석기술 - 고효율 점진성형기술과 수치해석

  • Lee, Yeong-Seon;Gwon, Yong-Nam;Kim, Sang-U;Cheon, Se-Hwan
    • 기계와재료
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    • v.23 no.3
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    • pp.48-81
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    • 2011
  • 점진성형(Incremental Forming)기술은 고대 대장간에서 대장장이들이 소재를 두드려 조금씩 변형시켜 원하는 농기구나 검을 만드는 것부터 라고 할 수 있으며, 판재를 원하는 형상으로 조금씩 두드려 환기통 등을 제조하는 것들로부터 쉽게 찾아볼 수 있는 일반적인 성형기술이다. 다른 성형기술과 마찬가지로 점진성형 기술 또한 균일한 품질의 제품을 대량으로 생산하기 위해 고속생산이 필요하게 되면서부터 고효율 성형기술이 개발 활용되고 있으며 소재와 장비 등 기반기술과 에너지 환경 보호를 위한 제조공정의 최적화를 위해 점점 발전하면서 점진성형 기술 또한 지속적으로 발전하고 있다. 그러나, 현재 개발의 중심에 있는 고효율 점진성형기술 대부분은 소재를 회전시킴과 동시에 영구변형을 유도하기 때문에 다른 성형기술에 비해 공정변수가 많으며 그 영향이 매우 크다. 따라서, 경험적 지식(노하우)에만 의존하는 것은 신소재 신공정 개발에 어려움이 많으므로 이론적 해석기술의 필요성은 더욱 높다. 반면, 소재의 변형과 회전이 함께 이루어지므로 이론적 해석 난이도가 높아 공정분석과 변수선정을 위한 수치해석기술 또한 상대적으로 뒤쳐져 있다. 본고에서는 점차 증가되고 있는 고효율 점진성형기술의 종류를 알아보고 실제적 기술향상을 위해 개발되고 있는 수치해석 기술에 대해 정리하고자 한다.

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라이너지 제조공정의 점착성 이물질에 대한 물질수지 해석

  • 이학래;함충현;김종민;강태영
    • Proceedings of the Korea Technical Association of the Pulp and Paper Industry Conference
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    • 2001.04a
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    • pp.156-157
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    • 2001
  • 최근 제지업계는 원가절감과 환경보전을 위하여 고지 재활용율 증대와 공정 폐쇄화 를 추구하고 있다. 이와 같은 변화는 특히 국산 고지의 활용 비율이 높은 골판지 원지 공정 에서 여러 가지 문제를 유발하는 원인이 되고 있으며, 그 가운데에서도 점착성 이물질에 의 한 공정 오염과 이에 따른 생산성과 제품의 품질 저하가 심각한 문제점으로 대두되고 있다. 점착성 이물질, 즉 스닥키는 공정개선이나 제품 품질의 향상을 위해 투입되는 고분자 첨가 제와는 달리 주로 고지에 함유되어 있는 핫벨트, 점착성 테이프, 라벨, 도공파지 혹은 OMG 로부터 유래되는 합성고분자로 라텍스, 영크, 복사 토너 등 다양한 조성을 지니며 그 크기에 따라 매크로 스틱키와 마이크로 스틱키로, 성질에 따라 일차 스틱키와 이차 스틱키로 구분 된다. 매크로 스틱키는 일반적으로 라이너지 지료에서 0.15mm의 슬롯크기를 가지는 스크린 에 의해 걸러지는 점착성 이물질을 말하며, 마이크로 스틱키는 그 이하의 크기를 갖는 스탁 키를 일걷는다. 또 일차 스틱키는 고지 해리 시 발생한 스틱키를, 이차 스틱키는 계 내에 분 산된 상태로 존재하다 환경의 변화에 의하여 점착성을 나타내는 스틱키를 말한다.

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전력계통 해석

  • 이강완
    • Electric Engineers Magazine
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    • v.219 no.11
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    • pp.28-36
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    • 2000
  • 오늘날 전력에너지를 사용하고 있는 가정, 사무실 및 산업체 등 전력수요 전반에 걸쳐 전력품질에 민감하게 반응하는 다양한 전기설비들이 많이 사용되고 있다. 즉, 컴퓨터를 비롯한 정보관리시스템, 산업체 공정제어설비, 에너지관리시스템, 전자현금취급기 및 안전시스템 등은 전력품질 상태에 따라서 데이터 또는 기억내용 상실, 자료 송수신 오류 및 설비 손상이 발생하기도 한다.

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