• 제목/요약/키워드: 고압축

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반도체 MEMS 공정에 적용하기 위한 micro blaster 식각 특성

  • 김동현;강태욱;김상원;공대영;서창택;김봉환;조찬섭;이종현
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.245-245
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    • 2010
  • 최근에 반도체 소자 및 마이크로머신, 바이오센서 등에 사용되는 미세 부품에 대한 연구 개발이 활발히 진행되고 있다. 미세 부품을 제작하기 위한 MEMS 공정은 대표적으로 화학용액을 이용한 습식식각, 플라즈마를 이용한 건식식각 등이 주를 이룬다. Micro blaster는 경도가 강하고 화학적 내성을 가지며 용융점이 높아 반도체 MEMS 공정에 어려움이 있는 기판을 다양한 형태로 식각 할 수 있는 기계적인 식각 공정 기술이라 할 수 있다. Micro blaster의 식각 공정은 고속의 날카로운 입자가 공작물을 타격할 때 입자의 아래에는 고압축응력이 발생하게 되고, 이 고압축 응력에 의하여 소성변형과 탄성변형이 발생된다. 이러한 변형이 발전되어 재료의 파괴 초기값보다 크게 되면 크랙이 발생되고, 점점 더 발전하게 되면 재료의 제거가 일어나는 단계로 이루어진다. 본 연구에서는 micro blaster 장비를 반도체 MEMS 공정에 적용하기 위한 식각 특성에 관하여 확인하였다. Micro blaster 장비와 식각에 사용한 파우더는 COMCO INC. 제품을 사용하였다. Micro blaster를 $Al_2O_3$ 파우더의 입자 크기, 분사 압력, 기판의 종류, 노즐과 기판과의 간격, 반복 횟수, 노즐 이동 속도 등의 공정 조건에 따른 식각 특성에 관하여 분석하였다. 특히 실제 반도체 MEMS 공정에 적용 가능한지 여부를 확인하기 위하여 바이오 PCR-chip을 제작하였다. 먼저 glass 기판과 Si wafer 기판에서의 식각률을 비교 분석하였고, 이 식각률을 바탕으로 바이오 PCR-chip에 사용하게 될 미세 홀과 미세 채널, 그리고 미세 챔버를 형성 하였다. 패턴을 형성하기 위하여 TOK Ordyl 사의 DFR(dry film photoresist:BF-410)을 passivation 막으로 사용하였다. Micro blaster에 사용되는 파우더의 직경이 수${\mu}m$ 이상이기 때문에 $10\;{\mu}m$ 이하의 미세 채널과 미세홀을 형성하기 어려웠지만 현재 반도체 MEMS 공정 기술로 제작 연구되어지고 있는 바이오 PCR-chip을 직접 제작하여 micro blaster를 이용한 반도체 MEMS 공정 기술에 적용 가능함을 확인하였다.

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터빈계통의 축정렬 (I) : 원리와 방법

  • 황철호;김정태;이현;이병준
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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    • 한국소음진동공학회 1992년도 추계학술대회논문집; 반도아카데미, 20 Nov. 1992
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    • pp.71-76
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    • 1992
  • 축정렬이 불량한 경우 축진동이 과도하게 발생하여 출력이 감소하고 소음이 발생하며, 심한 경우 회전체의 파손과 같은 손실을 입을 수 있다. 특히 축 정렬불량으로 인한 진동은 교정이 안되는 것이 특징이므로 근본적으로 진동 을 해결하기 위해서는 축 정렬을 다시 시행해야 한다. 그러나 터빈은 다른 기계 구조물과 달리 분해 점검에 많은 시간과 경비가 요구되므로 축 정렬시 정확한 작업이 요구된다. 본 연구에서는 터빈계통의 축정렬을 수행하는 절차 와 방법에 대해서 검토하였다. 이를 위해 축정렬이 입력데이터로 쓰일 수 있 는 상태측정방법중 커플링 원주와 커플링 면 측정방법이 설명되었으며, 측정 값으로부터 축정렬을 수행하기 위해, 베어링의 이동량 계산과정과 쉼 가감량 의 계산방법을 기술하였다. 축정렬의 원리와 방법의 적용과정을 실제로 알아 보기 위해 평택화력 1,2호기에 대한 축정렬이 수행되었다. 1,2호기는 고압터 빈, 2단계의 저압터빈 및 발전기로 구성되어 있는 다축 시스템으로서, 제작 사측에서 요구하는 정렬 기준값을 감안하여 축정렬에 필요한 베어링 조정량 을 계산하였다. 계산과정은 기준로터로 지정된 저압터빈에서부터 축정렬상태 도를 작성하여 가면서 단계적으로 설명되었으며, 최종적으로 쉼의 가감량까 지를 보여줌으로서 축정렬과정을 완료하였다.

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효율적인 압축을 위한 영역 세그먼트를 이용한 JBIG2 CODEC 구현 (Implementation of JBIG2 CODEC using Segmentation for Effective Compression)

  • 백옥규;고형화
    • 대한전자공학회:학술대회논문집
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    • 대한전자공학회 2001년도 제14회 신호처리 합동 학술대회 논문집
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    • pp.37-40
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    • 2001
  • JBIG2 표준은 그레이 문서를 고압축의 이진 영상으로 부호화 하기위하여 선 영역(region of line-art), 하프톤 영역(region of Halftone), 텍스트 영역(region of Text)으로 세그먼트하여 각각 영역에 최적화 모드를 사용하여 부호화한다. 본 논문에서는 JBIG2에서 제공하는 세가지 모드의 코딩, 즉, 제네릭 영역(region of Generic) 코딩, 텍스트 영역을 위한 패턴 매칭(Pattern Matching) 코딩, 하프톤 영역을 위한 하프톤 코딩을 모두 구현하였다. 그리고, 각 영역을 세그먼트하는 방법을 개선하여 적용하여 세그먼트의 성능 향상을 이루었다. 특히, 부호화량이 많은 하프톤 영역의 세그먼트를 향상시켜 최적화 모드로 부호화 하도록 구현하였다. 팩스 테스트 영상(IEEE-l67a)으로 구현한 JBIC2 CODEC을 실험한 결과, 각 영역에 대한 세그먼트가 [6]의 방법에 의한 세그먼트보다 더 효율적으로 이루어졌으며 주관적 화질 또한 우수하였다.

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에지 선명화에 의한 고압축 Synthetic High 부호화 (High Compression synthetic High Coding Using Edge Sharpening)

  • 정성환;김남철
    • 대한전자공학회논문지
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    • 제26권9호
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    • pp.1410-1419
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    • 1989
  • In this paper, we present a new synthetic high coding method which gives high image compression ratio. Given an image, only its low-pass component is transmitted by DCT coding` the high-pass component is not transmitted but synthesized using edge sharpening on the reconstructed low-pass image at the receiver. For the DCT coding which is used to encode the low-pass image, we used an improved version of Cox's variance estimator. Also, introduced are new image quality measures called GSNR and EPR which emphasize perceptual aspects of image quality. Experimental results show that the performance of the proposed synthetic high coding is better in various quality measures than that of Cox's adaptive transform coding. Also, it yields acceptable image quality with neither apparent block effect nor visible granular noise even at high compression ratio of about 30:1.

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블록 DCT기반 압축 영상의 개선된 블록화현상 제거 후처리 기법 (Improved Postprocessing Method for Removing Blocking Artifacts in Block DCT-based Compressed Image)

  • 김재원;조용설;전병우
    • 한국통신학회논문지
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    • 제26권6B호
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    • pp.784-793
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    • 2001
  • 본 논문에서는 이산 여현변환에 기반으로 한 고압축의 복원된 영상으로 발생하는 블록화 현상을 제거하기 위한 개선된 후처리 기법을 제안한다. 먼저 압축으로부터 복원된 영상에 대하여, 변환 블록단위로 계산된 블록 경계 불연속값을 이용하여 블록화현상 블록과 에지블록을 구별한다. 블록화현상 블록은 다시 블록 경계면의 격차 정도에 따라 적응적으로 블록경계에서 필터링되는 화소 범위를 다르게 하여 필터링하며, 에지 블록은 다시 화소단위로 에지화소 여부를 조사하여, 에지가 아닌 화소만 필터링을 취하여 좀 더 세밀하게 블록화 현상을 제거하는 새로운 방법을 제안한다. 실험 결과를 통하여 제안한 방법이 기존 방법에 비해 시각적으로 향상된 영상을 얻을 수 있음을 입증하였다.

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DCT 기반의 최대 용량 블라인드 워터마킹 (A Full-Capacity DCT-based Blind Watermarking)

  • 최병철;김용철
    • 한국통신학회논문지
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    • 제26권5B호
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    • pp.669-676
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    • 2001
  • 본 논문은 DCT 기반의 블라인드 워터마킹 방법에 관한 연구 결과이다. 본 논문에서 사용한 4096비트의 워터마크는 512x512 영상이 수용할 수 있는 최대 용량의 절반에 해당한다. 각 워터마크 비트는 8x8 DCT 블록의 12개의 계수에 확산 패턴을 이용하여 삽입하였다. 워터마크 삽입 과정에서, 워터마크 이득 계수는 비가시성과 견고성을 고려하여 최적화되었다. 워터마크 검출 과정에서는, 상관검출을 통하여 워터마크에 대한 예비판정을 하며, 이진가설 검증의 검증 과정을 통해서 예비판정에서의 검출 오류를 수정하였다. 검증 과정에서는 복원된 DCT계수를 이용한 가중치가 사용되었으며, 대부분의 예비 판정의 오류는 검증 과정에서 수정이 되었다. 실험 결과, 영상에 공격이 가해지지 않은 경우는 최종 검증 후에 BER이 0.5% 미만으로 낮아졌으며, 20% JPEG의 고압축에서도 BER이 9% 미만으로 산출되었다. 기존의 방법들과의 비교에서, 제안한 방법은 워터마크 검출 성능 및 워터마크 용량 측면에서 우수하였다.

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자동차 $CO_2$ 냉방시스템의 고압과 실내온도의 효과적인 제어를 위한 지능알고리즘 (Intelligent Algorithms for the Effective Control of High-side Pressure and Indoor Air Temperature of a $CO_2$ Automotive Air Conditioner System)

  • 장경창;한도영
    • 대한설비공학회:학술대회논문집
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    • 대한설비공학회 2005년도 동계학술발표대회 논문집
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    • pp.480-485
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    • 2005
  • In the respect of the environmental protection viewpoint, the $CO_2$ may be regarded as one of the most attractive alternative refrigerants for an automotive air-conditioning system. Control methods for a $CO_2$ system should be newly developed, because properties of $CO_2$ are different compared with those of classical refrigerants. Especially, high-side pressure of a $CO_2$ system should be controlled for the effective operation of the system. In this study, intelligent control algorithms for a $CO_2$ system were developed ‘ These are a high-side pressure control algorithm and an indoor air temperature control algorithm. These algorithms were analysised by using dynamic models of a $CO_2$ system.

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디지탈 의료영상의 압축기술 개발동향

  • 지창우;노덕우;이종수
    • 전기의세계
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    • 제42권3호
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    • pp.37-44
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    • 1993
  • 지금까지 디지탈 의료 영상압축의 기술동향의 유손실 방식과 무손실 방식으로 나누어 설명하였고, 앞으로의 의료영상 압축에 대한 기술개발 방향을 제시하였다. 유손실 압축방식으로 벡터양자화와 연속조 영상의 국제 표준압축방식인 JPEG을 사용한 의료영상 압축방식을 설명하였고 무손실 방식으로 가변 Run Length방식, DPCM방식, 계층적 방식 및 산술부호화를 간략하게 기술하였다. 또한 각 방식마다 일반적인 연속조 영상과는 달리 디지탈 의료영상을 압축할때 고려해야 될 의료영상의 특성을 살쳐보았고 압축 실험결과를 근거로 성능도 분석하였다. 의료영상을 유손실 방식으로 압축한 경우 회소당 1비트이하의 고압축을 얻을 수 있었지만 진단을 위한 사용 가능성을 아직 명확하지 않다. 반면 무손실 방식으로 압축한 경우 회소당 2-3.51트의 다소낮은 압축률을 보였지만 진단에 적합한 무손실이란 장점을 최대한 살릴 수 있어 현재 무손실 방식의 압축률을 향상시키려는 연구가 진행되고 있는 추세이다.

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고압축 영상의 블로킹 아티팩트 잡음 제거 (A study on removing blocking artefact noise for highly compressed images)

  • 차성원;신재호
    • 한국컴퓨터정보학회논문지
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    • 제13권2호
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    • pp.153-158
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    • 2008
  • JPEG 압축 영상과 같은 영상을 분할하여 압축을 하는 압축 알고리즘에서는 블록킹 아티팩트 잡음은 필수적으로 발생한다. 이런 잡음은 특히 압축률이 높을수록 더욱 눈에 뛰게 된다. 본 논문에서는 웨이브렛을 사용하여 블로킹 아티팩트 잡음을 감소하는 알고리즘을 제시한다. 그리고 영상 처리에 자주 사용되는 중간 값 필터에 대해서도 언급하였다. 본 논문의 알고리즘을 중간값 필터와 비교한 결과 본 논문의 알고리즘이 중간 값 필터보다 시각적 및 수치적 평가 모두 훨씬 월등한 결과를 얻었다.

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고압축 비디오의 화질향상을 위한 적응적 후처리 기법 (An Adaptive Post-processing Method for Improving Quality of Highly Compressed Video)

  • 김종호;정제창
    • 대한전기학회논문지:시스템및제어부문D
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    • 제53권8호
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    • pp.611-614
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    • 2004
  • In this paper, we propose an adaptive blocking artifact reduction algorithm using characteristics of the block boundaries. Blocking artifacts contain the high frequency components near the block boundaries, so the lowpass filtering can remove them. But a simple lowpass filtering results into blurring by remove important features such as edges. To overcome this problem, we determine the modes depending on the characteristics around boundaries then proper filter is applied to each area. Simulation results show that the proposed method improves deblocking performance compared to that of MPEG-4.