• Title/Summary/Keyword: 결정성 검증

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Prediction of Semiconductor Exposure Process Measurement Results using XGBoost (XGBoost를 사용한 반도체 노광 공정 계측 결과 예측)

  • Shin, Jeong Il;Park, Ji Su;Shon, Jin Gon
    • Annual Conference of KIPS
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    • 2021.05a
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    • pp.505-508
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    • 2021
  • 반도체 회로의 미세화로 단위 공정이 증가하면 TAT(turn-around time) 증가에 따른 제조 비용이 늘어난다. 반도체 공정 중 포토 공정은 마스크의 회로를 웨이퍼에 전사하는 공정으로 전사를 담당하는 노광장비의 성능에 의해 회로의 정확성이 결정된다. 이런 정확성을 검증하는 계측공정은 회로의 미세화가 진행될수록 필요성은 증가하나 TAT 증가의 주된 요인으로 최근 기계학습을 사용한 다양한 예측 모형들의 개발로 계측 결과를 예측하는 실험들이 진행되고 있다. 본 논문은 노광장비 센서들의 이상값을 감지하여 분류 후 계측공정을 진행하는 LFDC(Lithography Fault Detection and Classification) 시스템의 문제인 분류 성능이 떨어지는 것을 해결하기 위해 XGBoost를 사용하여 계측공정을 진행하지 않고 노광장비 센서의 이상값을 학습된 학습기를 통해 분류하여 포토 공정을 재진행하거나 다음 공정을 진행하는 방법을 실험하였다. 실험에서 사용된 계측 결과 예측 모형은 89%의 정확도를 확보하였고 반도체 데이터 특성인 심각한 불균형의 데이터에 대해서도 같은 정확도를 얻었다. 이런 결과는 노광장비 센서들의 이상값에 대해 89%는 정상으로 판단하였고 정상으로 판단한 웨이퍼를 실제 계측 시 예측과 같은 결과를 얻었다. 계측 결과 예측 모형을 사용하면 실제 계측을 진행하지 않고 노광장비 센서들의 이상값에 대한 판정을 할 수 있어 TAT 단축으로 제조 비용감소, 계측 장비 부하 감소 및 효율 향상을 할 수 있다. 하지만 본 논문에서는 90%의 성능을 보이는 계측 결과 예측 모형으로 여전히 10%에 대해서는 실제 계측이 필요한 문제에 대해 추후 더 연구가 필요하다.

A Study on the Improvement of Evaluation Items for Customized BF Certification in School Facilities -Focusing on the Delphi survey- (학교시설 맞춤형 BF인증을 위한 평가항목 개선방향에 관한 연구 -델파이조사를 중심으로-)

  • Maeng, Joon-Ho;Kim, Sung-Joong;Song, Byung-Joon;Kim, Jae-Young;Yun, Pyeong-Se
    • The Journal of Sustainable Design and Educational Environment Research
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    • v.22 no.2
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    • pp.1-16
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    • 2023
  • This paper reports on three Delphi surveys based on draft evaluation items with the aim of deriving evaluation items prior to developing a BF certification index for school facilities in order to make the index safe and convenient. To this end, problems were formulated using content analysis and follow-up evaluation of existing BF certification indicators. Draft BF certification evaluation items for school facilities were proposed. The adequacy of each evaluation item was verified using a Delphi survey. Experts and working-level groups, such as university professors, architects, public officials, certification agencies, and organizations for disabled persons, provided feedback for all evaluation items for school facility BF, which was incorporated in the final evaluation items. As a result of the Delphi surveys, in addition to the existing 8 evaluation items, a total of 75 evaluation items were proposed as maintenance items, 12 as improvement review items, and 15 as new evaluation items.

Estimation of spatiotemporal soil moisture distribution for Yongdam-dam watershed using Sentinel-1 C-band Synthetic Aperture Radar images (Sentinel-1 C-band SAR 영상을 이용한 용담댐 유역의 시공간 토양수분 산정)

  • Chung, Jeehun;Lee, Yonggwan;Jang, Wonjin;Kim, Seongjoon
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2020.06a
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    • pp.162-162
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    • 2020
  • 토양수분은 TDR(Time Domain Reflectometry)이나 Tensiometer 등의 장비를 이용하여 측정을 시행하고 있으나, 이를 위해서는 많은 인력과 경제적 자원이 소비될 뿐만 아니라 시공간적으로 측정할 수 있는 범위에 한계가 있다. 지상 관측의 대안으로 MIRAS(Microwave Imaging Radiometer with Aperture Synthesis)나 SMAP(Soil Moisture Active Passive), AMSR2(Advanced Microwave Scanning Radiometer 2) 등의 수동 마이크로파 위성 센서를 이용한 공간 토양수분 관측이 수행되었으나, 낮은 공간 해상도(9~36km)는 지역 규모의 토양수분 분포를 나타내기 충분하지 않고, 높은 불확실성을 내포하고 있다. 본 연구에서는 금강 상류의 용담댐 유역(930.0㎢)을 대상으로 Sentinel-1 C-band SAR(Synthetic Aperture Radar) 영상을 이용한 토지 피복 및 토양 속성을 고려한 10m 해상도의 토양수분 산출을 수행하였다. 용담댐 유역은 산림 79.7%, 논 9.0%, 밭 5.4%, 주거지 2.9%의 토지 피복 비율을 가지며 토양은 사양토(66.6%)와 양토(20.9%)가 우세하다. Sentinel-1 C-band SAR 영상은 SeNtinel Application Platform(SNAP)을 이용하여 전처리 후, 후방산란계수로 변환하였다. 토양수분 알고리즘은 TU-Wien change detection algorithm과 Regression model을 활용하였고, 검증을 위한 실측 토양수분 자료는 한국수자원공사(K-water)에서 제공하는 5년(2014~2018)간의 토양수분 관측자료를 이용하였다. 산출된 토양수분은 결정계수(Coefficient of determination, R2) 및 평균제곱근오차(Root Mean Square Error, RMSE)를 이용하여 실측 토양수분과 비교하였다. Sentinel-1 C-band SAR 영상을 이용한 고해상도의 토양수분 산출은 토지 피복 및 토양 속성을 고려한 지역 규모의 공간 토양수분 분포 및 시간적 변화를 표현 가능할 것으로 판단된다.

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Experimental Study of Mean Wave Overtopping for Rubble-Mound Structure (경사식구조물의 평균 월파량 실험연구)

  • Mun, Gang Il;Bae, Il Ro;Ma, Seung Ah;Lee, Jong In
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2020.06a
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    • pp.304-304
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    • 2020
  • 항만구조물의 방파제 또는 방파호안의 마루높이는 배후지역의 활용도에 따라 내습파의 월파로 인한 전달파 또는 월파량에 의해 결정되기 때문에 월파량산정은 항만구조물을 설계함에 있어서 주요한 설계인자이다. 그동안 국내에서는 항만구조물 설계시 주로 외국의 기준이나 기법을 활용하고 있는 실정이다. 국내 항만설계기준에서는 Goda도표를 이용하여 직립제 및 방파호안에 대한 월파량 산정방법을 제시하고 있으나, 도표축이 log로 되어 있어 내삽 또는 외삽시 사용자에 따라 월파량 차이가 발생할 수 있다. 국내의 해역특성 및 최근 설계동향을 반영한 월파량 산정식의 개발이 필요하고, 동일조건에 대한 동일한 월파량 산정결과가 도출될 수 있어야 한다. 최근의 대표 연구성과인 EurOtop(2007)과 같이 지수함수의 형태로 월파량 산정식을 제시하고자 한다. 경사식구조물의 평균월파량 산정식 도출을 위해 적용한 구조물 위치에서의 수심(dt)은 0.40m, 0.55m, 0.70m 이다. 적용수심을 서로 다르게 한 것은 기존의 대부분의 연구에서 적용하지 않았던 구조물 위치에서의 쇄파조건을 고려하기 위한 것이다. 실험파는 Bretschneider-Mitsuyasu 주파수 스펙트럼을 사용한 불규칙파를 적용하였다. 본 연구에서는 주 피복재로 TTP를 대상으로 하였고, 주기 및 파고를 다양한 조건에서 수리실험을 수행하였다. 본 연구의 실험결과는 월파량 계측을 통해 분석된 평균 월파량을 적절한 산정식으로 나타내기 위해 EurOtop(2007)의 기존 월파량 산정식 형태에 대입하여 비교하여 분석하였다. 따라서, 본 논문은 월파량 산정식 제시를 통해 보다 합리적인 항만구조물의 마루높이 산정이 가능하게 하고, 또한 월파량 산정과 관련된 실험자료 구축을 통해 신뢰성해석 자료 및 수치모형의 검증 자료로 활용될 수 있을 것으로 판단된다.

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Statistical estimation of the epochs of observation for the 28 determinative stars in the Shi Shi Xing Jing and the table in Cheonsang Yeolcha Bunyajido (석씨성경과 천상열차분야지도의 이십팔수 수거성 관측 연도의 통계적 추정)

  • Ahn, Sang-Hyeon
    • The Bulletin of The Korean Astronomical Society
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    • v.44 no.2
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    • pp.61.3-61.3
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    • 2019
  • The epochs of observation for the 28 determinative stars in the Shi Shi Xing Jing and Cheonsang Yeolcha Bunyajido are estimated by using two fitting methods. The coordinate values in these tables were thought to be measured with meridian instruments, and so they have the axis-misalignment errors and random errors. We adopt a Fourier method, and also we devise a least square fitting method. We do bootstrap resamplings to estimate the variance of the epochs. As results, we find that both data sets were made during the 1st century BCE or the latter period of the Former Han dynasty. The sample mean of the epoch for the SSXJ data is earlier by about 15-20 years than that for the Cheonsang Yeolcha Bunyajido. However, their variances are so large that we cannot decide whether the Shi Shi Xing Jing data was formed around 77 BCE and the Cheonsang Yeolcha Bunyajido was measured in 52 BCE. We need either more data points or data points measured with better precision. We will discuss on the other 120 coordinates of stars listed in the Shi Shi Xing Jing.

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Evaluation of Permeability and Related Soil Characteristics Based on Pore Pressure Measurement during Consolidation by Radial Drainage (방사배수 압밀 중 위치별 간극수압 측정을 통한 투수계수와 관련물성치의 결정방법)

  • Yune, Chan-Young;Chun, Sung-Ho;Chung, Choog-Ki;Lee, Won-Tekg
    • KSCE Journal of Civil and Environmental Engineering Research
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    • v.28 no.1C
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    • pp.9-17
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    • 2008
  • In this research, an analytical solution for the coefficient of permeability of soils during consolidation is suggested. The pore pressure and the flow rate measurements at different locations during consolidation are utilized. The void ratio and volume compressibility of soils under consolidation are also estimated. A large consolidation testing device, possible in both vertical and radial drainage is designed and manufactured. And consolidation test with kaolinite soils were performed under radially inward drainage direction. Pore pressures in varying radial distances and flow rate with time were measured as well as vertical deformations. From the test results, the changes of permeability, volume compressibility and void ratio under consolidation and their spatial variations are estimated. Thus the proposed solution is verified by comparing with the experimentally estimated test results. In addition, it is confirmed that permeability, void ratio and volume compressibility decrease as consolidation and loading steps progress. Also, these soil characteristics increase with radial distant from drainage boundary, where lowest values observed, and slightly decrease as approaching undrained boundary.

A Study on Methodology for Improvement of Bond of FRP reinforcement to Concrete (초단유리섬유(milled glass fibers)와 에폭시 혼합물을 이용한 FRP 보강근 표면성형기법 연구)

  • Moon, Do-Young;Sim, Jongsung;Oh, Hongseob
    • KSCE Journal of Civil and Environmental Engineering Research
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    • v.26 no.4A
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    • pp.775-785
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    • 2006
  • This study focused on the development of surface deformations of GFRP rebars with a better bond characteristic for reinforcing concrete, and simultaneously, of GFRP rebars with more simple and economic production process. This research paper describes a development and bond performance of GFRP rebar with molded deformations, which is composed of polymer resin and milled glass fiber. To determine proper mix ration of milled fibers, material test of hardened epoxy and pullout tests of GFRP rebar with various mix ratio were conducted. The test results indicate that the new strategy of using a mixture of epoxy resin and milled fiber could be successfully applied to a surface structure of GFRP rebar to enhance bond with concrete. The bearing resistance of the ribs was further enhanced by the milled fibers at mechanical and environmental loading state.

Development of a water treatment efficiency prediction simulator capable of continuous and stable maintenance of water quality (지속적이고 안정적인 수질 유지관리가 가능한 정수처리 효율 예측 시뮬레이터의 개발)

  • Lee, Inhwa;Lee, Taehoon
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2022.05a
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    • pp.215-215
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    • 2022
  • 현재 국내 정수시설은 정수공정별 감시제어-데이터수집시스템(SCADA: Supervisory Control And Data Acquisition)에 기반하여 감시제어 및 모니터링 위주로 운영·관리를 실시하고 있다. 또한, 주요 핵심 공정인 응집제 약품투입, 소독 및 여과 설비 공정의 운영방식에 있어서 선험적 운영지식에 의한 방식으로 운영되고 있기 때문에 지속적인 안정적 운영을 위해서는 표준적이고 체계적인 운영관리 수단이 필요하다. 국외에서는 다양한 운영 조건에 기반한 정수처리 효율을 예측할 수 있는 모의(simulation) 도구의 개발을 통해 기존 운영되고 있는 정수장의 효율을 예측하는 데 활용하고 있는 실정이다. 본 논문은 실시간 운영관리가 가능한 기반을 구축하여 정수처리의 효율을 예측할 수 있는 시뮬레이터 개발을 통해 정수처리 공정별 기본 및 조합의 공정 시뮬레이션 모의 모듈 기술을 개발하기 위한 연구를 수행하였다. 또한 개발된 기술의 실증 운영을 통해 검증된 모듈을 반영한 정수장 시뮬레이터 시스템을 개발을 위한 연구를 수행하였다. 정수장 시뮬레이터는 수질정보, 물질수지, 수두손실등의 운영현황 데이터를 수집하는 기능, 착수-혼화-응집-침전-여과-소독 등 개별 공정별 주요 운전변수의 모니터링 및 제어를 통한 운영관리 기능, 원수 수질변화에 신속한 대응을 위한 정수처리 공정제어 의사결정지원 기능, 그리고 온라인 관망해석을 포함한 정수처리 전(단위)공정 시뮬레이터 기능 및 공정별 운영인자 최적화 기능 등으로 구성되어 있다. 현재 운영 중인 정수장의 공정별 운전 상태를 평가·관리하여 정수공정 운영 안정화 체계를 확보하고, 정수장의 유량과 수질의 갑작스런 변화에 따른 모의를 통한 수질예측으로 실시간 정수장 최적운영관리가 가능하다. 또한 원수 성상에 따른 적정 공정운영 자동화로 운영비 절감 및 효율적 인력 활용으로 정수장 운영 효율성을 제고함으로써 지속적이고 안정적인 정수장 운영 체계를 확보할 수 있다.

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Prediction of water level in sewer pipes using LSTM algorithm (LSTM 알고리즘을 활용한 하수관로 수위 예측)

  • Lim, Heesung;An, Hyunuk;Lee, Hyojin;Song, Inhyeok;Lee, Yong-Hyeon
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2022.05a
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    • pp.117-117
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    • 2022
  • 범지구적인 기후변화로 인하여 도시유역의 국지성 집중호우가 빈번히 발생하고 기상이변 현상이 빈번하게 발생하고 있다. 이로 인해 도시지역의 침수 등의 자연재해 증가로 인명 및 재산피해가 발생하고 있다. 이에 따라 하수도의 제 기능을 수행하고 있다면 문제가 없지만 이상기후로 인한 기록적인 폭우에 의해 침수가 발생하고 있다. 홍수 및 집중호우와 같은 극치사상의 발생빈도가 증가됨에 따라 강우사상의 변동에 따른 하수관로의 수위를 예측하고 침수에 대해 대처하기 위해 과거 수위에 따른 수위 예측은 중요할 것으로 판단된다. 본 연구에서는 서울 열린데이터 광장에서 제공하는 서울시 하수관로 수위 현황 자료를 활용하여 하수관로 수위 예측을 확인해 보았다. 대상자료는 서울특별시 강동구에 위치한 하수관로 수위 자료로, 서울 열린데이터 광장에서 제공하고 있는 2012년 ~ 2020년 25개 구 데이터 중 가장 누락데이터가 적은 자료를 활용하여 연구를 진행하였다. 하수관로 수위 예측에는 딥러닝 알고리즘RNN-LSTM 알고리즘을 활용하였으며, RNN-LSTM 알고리즘은 하천의 수위 예측에 우수한 성능을 보여준 바 있다. 하수관로 수위 예측에 앞서 1분 단위로 수집된 수위 데이터를 5분 평균, 5분 스킵자료, 10분 평균, 10분 스킵 등 비교를 위해 데이터를 구분하여 학습에 활용하였으며, 데이터 분석을 위해 하수관로 수위값 변동이 심한 1주일을 선정하여 분석을 실시하였다. 연구에는Google에서 개발한 딥러닝 오픈소스 라이브러리인 텐서플로우를 활용하였으며, 하수관로 수위 고유번호 25-0001을 대상으로 예측을 하였다. 학습에는 2012년 ~ 2018년의 하수관로 수위 자료를 활용하였으며, 모형의 검증을 위해 결정계수(R square)를 이용하여 통계분석을 실시하였다.

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Implementation of ROS-Based Intelligent Unmanned Delivery Robot System (ROS 기반 지능형 무인 배송 로봇 시스템의 구현)

  • Seong-Jin Kong;Won-Chang Lee
    • Journal of IKEEE
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    • v.27 no.4
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    • pp.610-616
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    • 2023
  • In this paper, we implement an unmanned delivery robot system with Robot Operating System(ROS)-based mobile manipulator, and introduce the technologies employed for the system implementation. The robot consists of a mobile robot capable of autonomous navigation inside the building using an elevator and a Selective Compliance Assembly Robot Arm(SCARA)-Type manipulator equipped with a vacuum pump. The robot can determines the position and orientation for picking up a package through image segmentation and corner detection using the camera on the manipulator. The proposed system has a user interface implemented to check the delivery status and determine the real-time location of the robot through a web server linked to the application and ROS, and recognizes the shipment and address at the delivery station through You Only Look Once(YOLO) and Optical Character Recognition(OCR). The effectiveness of the system is validated through delivery experiments conducted within a 4-story building.