• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• 2007.11a
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• pp.225-228
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• 2007

Micro solid propellant thruster is the most feasible for development with current MEMS. Basic components of micro solid propellant thruster are diverging nozzle, micro igniter, combustion chamber, and solid propellant. Micro nozzles and micro chambers were fabricated using photosensitive glass by anisotropic wet etching technique. Micro Pt heaters on glass membrane which ignited solid propellant were developed. Components of thruster were integrated. Successful ignition was observed.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.10 no.1
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• pp.7-14
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• 2000

The object of this study was to improve electrophotographic photoreceptor using metal free-phthalocyanine dye sensitized system. In here a various types of metal free-phthalocyanine and polymers and hydrazone were used as charge generation material(CGM) and binder, respectively, and also the hydrazone derivative or zinc complex was used as charge transport material(CTM). It was found that $x-H_2Pc$ showed the highest sensitivity among the ${\alpha}-$, ${\beta}-$ and x- metal free-phthalocyanine($x-H_2Pc$) as CGM. The photoreceptor made by $x-H_2Pc$ and hydrazone derivative as CGM and CTM, respectively, showed the highest ratio of dark decay having 73.1% and the good sensitivity of $1.50lux{\cdot}sec$ compared to other photoreceptors.

• Polymer(Korea)
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• v.28 no.6
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• pp.494-501
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• 2004

A new alkali developable photosensitive poly(amic acid) (PAA-0) with transmittance at 400 nm was synthesized from cyclobutane-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, 2-(methacryloyloxy)ethyl-3,5-diamino-benzoate and 1,3-bis(3-aminopropyl)-1,1,3,3-tetramethyl disiloxane in N-methyl-2-pyrrolidinone. Photosensitivity of the PAA-0 was investigated at 365-400 nm in the presence of a photoinitiator using a high pressure mercury lamp. The photo-cured poly(amic acid) was insoluble toward aqueous 2.38 wt% tetramethylammonium hydroxide solution. Negative pattern of the PAA-0 with 25 ${\mu}{\textrm}{m}$ resolution was obtained by developing with 2.38 wt% tetramethylammonium hydroxide solution after exposure of 600 mJ/$\textrm{cm}^2$ in the presence of 2,2-dimethoxy-2-phenyl-acetophenone as a photoinitiator. The patterned poly(amic acid) was converted to polyimide by thermal curing at 25$0^{\circ}C$ for 50 min, which showed chemical resistance against photoresist stripper as well as good transmittance at 400 nm.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 1999.11d
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• pp.1140-1141
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• 1999

유리 및 세라믹 미세구조물은 열적, 화학적, 기계적특성이 우수하며 이 제조방법으로 대표적인 것이 그라스의 노광, 열처리에 의한 노광부를 선택적으로 에칭시켜 구조물을 형성시키는 감광성그라스 공정이다. 그러나 공정조건을 변화시킴에 따라 기존과는 정반대로 비노광부를 선택적으로 에칭시키는 것이 가능하였으며 본 방식에 의해서 더욱 정밀한 미세구조물을 형성할 수 있음을 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.296-296
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• 2012

펄스 직류 플라즈마 전원 공급시 임피던스 트랜스포머의 유무에 따른 전기적 특성 변화를 연구하였다. 실험 변수는 펄스 직류 전압(350~550 V), 펄스 직류 주파수(100~250 kHz), 리버스 시간(0.4~1.2 ${\mu}sec$.)이었다. 전기적 특성은 주로 오실로스코프를 이용하여 분석하였다. 펄스 직류 전원의 경우 임피던스 트랜스포머의 여부에 상관없이 주파수가 커지거나 리버스 시간이 커지면 peak-to-peak 전압이 증가한다는 사실을 이해하였다. 본 실험은 저진공에서 실시하였다. 임피던스 트랜스포머를 부착하지 않은 경우, GaAs의 식각 속도는 10 sccm BCl3를 사용한 경우 최대 $0.4{\mu}m$까지 얻을 수 있었다. 감광제에 대한 최대 식각 선택비는 약 2.5:1이었다. 또한 식각된 GaAs의 표면은 깨끗하였으며, 염소와 관련된 잔류 물질은 거의 발견되지 않았다. 임피던스 트랜스포머를 설치하면 GaAs의 식각 속도는 증가하였으나 샘플 척에 열 부하가 많았다. 펄스 직류 플라즈마를 이용한 처리장치 개발시 전기적 특성 변화 및 공정 속도 조절에 있어 임피던스 트랜스포머의 역할 및 그 특성에 대한 많은 연구가 필요하다는 본 기초 연구를 통해 얻을 수 있었다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2011.07a
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• pp.95-96
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• 2011

본 논문은 표면탄성파(Surface Acoustic Wave)의 특성을 이용하여 반사되어 돌아오는 피크 신호를 통해 개체를 식별하며 온도 변화에 따른 위상의 변화를 갖는 ID 태그 및 온도 센서의 제작공정과 네트워크 분석기를 이용한 측정에 대해 소개한다. 표면탄성파 마이크로센서는 IDT(interdigital trancducer)와 ID 번호를 갖는 리플렉터, 온도 변화에 따른 위상 변위를 관찰하기 위한 리플렉터로 구성된다. 제작된 두 개의 소자는 49(0110001), 113(1110001)의 ID 번호를 가지고 있으며, 1 us에서 기준신호를 관찰할 수 있도록 한 개의 리플렉터를 추가적으로 포함한다. 또한 온도 변화에 따른 전파 속도의 변화로 인해 발생 하는 위상 변화를 관찰하기 위한 리플렉터를 포함한다. $41^{\circ}$YX $LiNbO_3$ 압전기판, AZ1512 감광제, 알루미늄을 이용하여 제작 되었고 네트워크 분석기를 통해 출력된 신호로 ID 번호를 식별하고 $30^{\circ}C$에서 $120^{\circ}C$까지의 온도 변화에 따른 위상 변화를 측정하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2001.07c
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• pp.1899-1901
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• 2001

본 논문에서는 3차원 feed horn 안테나를 볼로미터에 결합함으로써 감지도(Detectivity)를 향상시킨 비가시광 영상 감지 소자를 제안하였다. Feed horn 안테나의 우수한 지향성(Directivity)를 통해서 주위의 잡음 성분을 제거함으로써 감지도의 향상을 확인할 수 있었다. 안테나와 볼로미터와의 결합 손실을 줄이기 위해서 볼로미터의 흡수층의 모양을 원형의 형태로 하였으며 크기도 안테나 폭과 일치를 시켰다. 또한 열적 고립 구조를 만들기 위한 지지 다리의 모양도 원형의 형태로 하여서 전체 길이를 증가 시켰으며 이로 인해 열전도도(Thermal conductance)를 $4.65{\times}10^{-8}$[W/K]까지 낮출 수 있었 다. 설계된 소자의 감지도는 $2.37{\times}10^{9}$[$cm\sqrt{Hz}/W$]을 나타내었으며 안테나 결합을 통한 감지도의 향상을 확인 할 수 있었다. 볼로미터의 제작은 MEMS 기술을 이용한 표면미세가공(Surface micromachining)법으로 열적 고립 구조체를 제작할 수 있으며 3차원 feed horn안테나는 SU-8이라는 음성 감광제를 경사회전노광시켜서 제작할 수 있다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2002.07c
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• pp.2008-2010
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• 2002

Process conditions of a novel negative thick photoresist, JSR THB-$430N^{(R)}$, are established in this paper. Although SU-8 obtains uniform and high-aspect-ratio structures, it is hard to remove the SU-8 mold after electroplating. The JSR THB-$430N^{(R)}$ can be more easily removed than the SU-8 and has a low internal stress. Introducing two step strip processes using acetone and the jSR THB-$S1^{(R)}$, the JSR THB-$430N^{(R)}$ electroplating mold was removed completely and a JSR THB-$430N^{(R)}$ film stress is compressive less than 2 MPa. In this paper, we obatined $200{\mu}m$ thick PR structure and $100{\mu}m$ thick electroplated nickel structure using the JSR THB-$430N^{(R)}$ photoresist.

• Korean Journal of Food Science and Technology
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• v.1 no.1
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• pp.45-50
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• 1969

On the basis of UV spectral changes and TBA reaction, malonaldehyde (MA) in aqueous solution receives considerable photochemical modification by UV light of short wavelengths around $260m{\mu}$. When aflatoxin is added in the solution, UV light of long wavelengths around $360m{\mu}$ induces such changes quite rapidly and although the rate of change is rather slow, it is also true even with ordinary laboratory illumination(fluorescent). The modification is irreversible in nature and the role of aflatoxin in this reaction is identified as a photosensitizer. The mechanism involved in this modification is apparently due to the parallel dimerization of MA molecules, but not by head to tail combination of the molecules.

• Journal of the Korean Society of Visualization
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• v.9 no.2
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• pp.34-39
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• 2011

This paper presents a novel direct fabrication method of the thin metal film RTD temperature sensor array on an arbitrary curved surface by using MEMS technology to measure a distributed temperature field up to $300^{\circ}C$ without disturbing a fluid flow. In order to overcome the difficulty in the three dimensional photography of sensor patterning, the UV pre-irradiated photosensitive dry film resist technology has been developed newly. This method was applied to the fabrication of the temperature sensor array on a glass tube, which is arranged parallel and transverse to a main flow. Gold was used as a temperature sensing material. The resistance change was measured in a thermally controlled oven by increasing the environmental temperature. The linear increase in resistance change and a constant slope were obtained. Also, the sensitivity of each RTD temperature sensor was evaluated.