• 제목/요약/키워드: 간섭진동

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실리콘 가공기술을 이용한 광섬유 간섭계형 가속도 센서의 제작 (The Fabrication of FP Interferometric Acceleration Sensor using Micromachining Technology)

  • 이진향;김응수;김경찬;강신원
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2003년도 하계학술발표회
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    • pp.194-195
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    • 2003
  • 가속도 센서는 물체의 움직임, 속도의 변화, 충격, 진동 등의 동적힘을 순시적으로 감지하여 유용한 정보로 변환시키는 장치이다. 본 논문에서는 실리콘 기계 구조물과 광섬유형 Fabry - Perot 센서(FFPI)를 사용하여 광섬유 간섭계형 가속도 센서를 제작하였으며 실리콘 구조물의 구조를 변경하여 용도에 적합한 다양한 센서를 제작할 수 있음을 보였다. 광 간섭계는 그 구조에 따라 Fabry - Perot$^{[2]}$ , Mach-Zender$^{[3]}$ , Michelson$^{[4]}$ , Sagnac$^{[5]}$ 등으로 구분되면 이러한 간섭계 중에서 Fabry - Perot 간섭계는 측정영역이 두 반사막의 거리로 정확하게 정의되며 반사막의 거리를 조절하여 좁은 영역에서의 측정이 가능하고 고감도를 갖는다. (중략)

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레이저 간섭계를 이용한 적층 마이크로 외팔보의 고유진동수 측정 (Measurement on the Natural Frequency of a Laminated Cantilever Microbeam using a Laser Interferometer)

  • 김윤영;한봉구
    • 한국전산구조공학회논문집
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    • 제31권1호
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    • pp.17-21
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    • 2018
  • 오늘날까지 적층 마이크로 외팔보의 고유진동수에 대하여 연구가 진행되었다. 마이크로 보는 실리콘 재질로 만들어 지지만, 그것의 상하 표면은 얇은 금 박막층(~30nm)이 증착되어 있다. 초음파 검사를 위해 초음파 테스트 플랫폼을 사용했으며, 시간영역 신호는 광학적으로 측정되었다. 고유진동수는 파형을 고속 Fourier 변환을 통해 정량화하였으며, 결과적으로 고전적인 보 이론과 일치하는 결과를 보여 주었다. 본 연구는 마이크로/나노스케일 재료와 마이크로 구조에 대한 동적평가기법을 제공할 것으로 기대된다.

Mach-Zehnder 광섬유 간섭계를 이용한 압전형 진동발생기의 동특성 조사 (The Measurements of Vibration Displacement of the Piezoelectric Exciter Using Mach-Zehnder Optical Fiber Interferometer)

  • 조승일;김성부;이종규;이용봉;이두희
    • 한국소음진동공학회논문집
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    • 제16권10호
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    • pp.1044-1049
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    • 2006
  • The vibration exciter with the accurate calibration requires a low distortion along a single axis over a wide range of frequency. The fabricated piezoelectric exciter was composed of a base, piezoelectric element(Venitron PZT 5A), electrode and seismic mass. Its performance characteristics is evaluated the Mach-Zehnder optical fiber interferometer. The phase of the optical wave passing through the optical fiber around the piezoelectric element was related the vibrational amplitude with a change of the applied sinusoidal voltage on the piezoelectric element. The dynamic characteristics of vibration exciter can be obtained by measuring the vibrational amplitude with a sinusoidal applied voltage on the piezoelectric element. The sensitivity of the fabricated piezoelectric exciter had a 0.4 nm/V which was uniform up to 20 kHz.

고감도 레이저 간섭계를 이용한 미소 진동 진폭의 정밀측정 (Ultrasensitive laser interferometer for precision measurement of small vibration displacement)

  • 서상준
    • 대한기계학회논문집
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    • 제12권3호
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    • pp.440-449
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    • 1988
  • 본 연구에서는 미소한 진동진폭의 정밀한 측정을 위해 비교적 광선정렬(opti- cal alignment)이 쉽고 광손실이 적으며 국소부위의 진동측정이 가능한 다중반사계를 Michelson간섭계에 도입하였다.미소 진동진폭의 정밀한 값을 결정하기 위해서는 간 섭신호를 측정하여 간섭무늬 보간법과 곡선 맞춤법을 이용하는 방법이 있다. 전자는 간단한 계산과 시간을 절약할 수 있는 반면 후자는 복잡한 계산으로 인해 많은 시간이 소요된다. 그러나 정밀계측장비의 교정에서와 같이 경우에 따라서는 많은 시간과 노 력이 소요되더라도 정밀한 측정결과를 얻어야할 필요가 있기 때문에 이들 두가지 방법 의 정밀도를 확인하기 위해 컴퓨터에 의한 모의실험을 수행하였다.