• 전기의세계
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• v.58 no.2
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• pp.31-35
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• 2009

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2007.04b
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• pp.143-145
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• 2007

화력발전소 S/Y(switchyard)의 362 kV GIS에 대한 부분방전 정밀측정을 수행하였다. 2005년 부터 화력발전소 S/Y GIS의 고장예방을 위해 설치 운전승인 UHF 부분방전 상시감시시스템에서 상당히 큰 부분 방전신호가 지속적으로 감지되었다. 상시감시시스템에서 방전신호의 원인을 부유전극으로 추정하였으며, 이에 해당 사업소에서 감지된 방전신호의 노이즈 여부 및 방전 발생위치 추정을 위한 기술지원을 요청하였다. 이에 따라 전력연구원은 방전신호를 정밀 측정한 후 PRPD(phase resolved partial discharge) 분석을 통해 부유전극이 GIS 내부에 존재함을 확인하였으며, TOA(time of arrival)법에 의해 제 1 발전기 step-up 변압기부터 인근 가스절연모선 사이에 결함이 존재하는 것으로 추정하였다. 전력연구원의 측정결과를 바탕으로 발전소측에서 해당 개소를 분해 점검한 결과 가스절연모선의 중앙도체를 지지하는 supporting insulator 금구류의 접촉불량에 의한 부유전극 결함을 발견하고 보수하였다. 보수후 상시감시시스템에서 방전신호가 검출되지 않음에 따라 방전원인이 제거되었음을 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.371.1-371.1
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• 2014

반도체 트랜지스터의 크기가 점점 미세화 함에 따라 이에 수반되는 절연막에 대한 요구 조건도 까다로워지고 있다. 특히 게이트 산화 막의 두께는 10 nm 이하에서 고밀도를 갖는 높은 유전율 막에 대한 요구가 증가되고 있으며 또한 증착 온도 역시 낮아져야 한다. 이러한 요구사항을 충족하는 기술중의 하나는 매우 낮은 압력 및 200도 이하 저온에서 절연막을 증착하는 것이다. 본 연구에서는 플라즈마 화학 기상 증착(PE-CVD) 시스템을 이용하여 $180^{\circ}C$의 온도 및 10 mTorr의 압력에서 SiN 및 SiCN 박막을 제조하였다. 박막의 특성은 원자층 증착 공정 결과와 유사하면서 증착 속도의 향상을 위해 개조된 사이클릭 화학 기상 증착 공정을 이용하였다. Si 전구체와 산화제는 기판에 공급되기 전에 혼합되어 1차 리간드 분해를 하였으며, 리간드가 일부 제거된 가스가 기판에 흡착되는 구조이다. 기판흡착 후 플라즈마 처리 공정을 이용하여 2차 리간드 분해 공정을 수행하였으며, 반응에 참여하지 않은 가스 제거를 위해 불활성 가스를 이용하여 퍼지 하였다. 공정 변수인 플라즈마 전력, 반응가스유량, 플라즈마 처리 시간은 최적화 되었다. 또한 효율적인 리간드 분해를 위해 ICP와 CCP를 포함하고 있는 이중 플라즈마 시스템에 의해 2회에 걸쳐 분해되어지고, 그 결과로 불순물이 들어있지 않는 순수한 SiN과 SiCN 박막을 증착하였다. XRD 측정 결과 증착된 박막들은 모두 비정질 상이며, 550 nm 파장에서 측정한 SiN 및 SiCN 박막의 굴절률은 각 각 1.801 및 1.795이다. 또한 증착된 박막의 밀도는 2.188 ($g/cm^3$)로서 유전체 박막으로 사용하기에 충분한 값임을 확인하였다. 추가적으로 300 mm 규모의 Si 웨이퍼에서 측정된 비 균일도는 2% 이었다. 저온에서 증착한 SiN 및 SiCN 박막 특성은 고온 공정의 그것과 유사함을 확인하였고, 이는 저온에서의 유전체 박막 증착 공정이 반도체 제조 공정에서 사용 가능하다는 것을 보여준다.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.19 no.3
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• pp.624-629
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• 2018

The current study was conducted to develop a portable composite gas detector allowing the detection of both $CO_2$ and $CH_4$ gases by means of the Non Dispersive Infra-Red (NDIR) method. The gas detector is configured to radiate infrared waves using infrared lamps, where the wavelength of the infrared light is reduced due to absorption throughout the chamber, and this reduction (absorption) is detected by the absorption detector, before being converted and amplified to a 3.5V~6V electrical signal, providing as accurate a measurement as possible. The conventional singe sensor method measures the relative measurement by absorbing only specified wavelengths of infrared radiation, which in the case of gas detection leads to problems with accuracy due to the lack of a reference sensor when detecting light with a wavelength of only $4.26{\mu}m$. The dual sensor employed in this study provides a comparative measurement between the reference value derived from the wavelength of $3.91{\mu}m$, which is not influenced by other gas sources, and the measurement value derived from the wavelength of $4.26{\mu}m$, in order to reduce the errors and enhance the reliability, thereby allowing low power consumption for portable devices and multi-gas detection for both $CO_2$ and $CH_4$ gases. The portable composite gas detector developed herein provides a measurement rage of 0ppm~5,000ppm for $CO_2$ gas, and 0.5%vol for $CH_4$, which allows the determination of whether the $CO_2$ and $CH_4$ contents in indoor air are less than 1,000ppm or not. The current study established that the composite gas detector can be interlinked with firefighting appliances through portable devices or home automation, and is anticipated to be very effective in fire prevention.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2008.07a
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• pp.2021-2022
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• 2008

UHF기법을 적용한 GIS 부분방전 진단 시스템은 가스절연 개폐장치(GIS: Gas Insulated Switchgear) 내부에서 발생하는 부분방전 신호를 측정하여 부분방전 원인을 진단한다. 이러한 부분방전 진단 시스템은 부분방전 신호를 UHF 대역의 고주파/위상 영역에서 분석하여 Digital 신호로 변환하기 때문에 고가의 분석 장비가 필요하므로 시스템의 설치 및 유지 보수비용이 많다. 따라서 부분방전 진단 시스템의 설치에 대하여 대중화하기 어려우며 GIS의 이상 상태가 발생하기 전에는 측정 데이터의 활용이 미비하다. 본 논문에서는 이러한 부분방전 시스템의 설치비용을 절감하고자 센서의 측정을 시간별로 변경하여 측정하는 염가형 부분방전 진단 시스템의 구성에 대하여 기술하며 대용량 데이터의 관리 방안에 대하여 기술한다.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.1 no.3
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• pp.332-335
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• 1992

초고진공 시스템에 있어서 시스템을 대기압으로 바람을 넣은 후 정상상태로의 신 속한 원상회복을 위하여 건조질소 통풍(venting) 장치를 고안 제작하였다. 이 장치는 액체 질소 저장통, 증발기 및 여과기로 구성되어 있다. 이 장치에 의한 통풍효과와 다른 방법에 의한 통풍효과를 가스 방출률 측정을 통하여 정성적으로 비교 분석하였을 때, 본 장치가 가 장 낮은 가스 방출률과 가장 빠른 진공회복을 보여주었다.

• Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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• v.22 no.2
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• pp.177-186
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• 2002

This paper describes the magnetic flux leakage(MFL) type non-destructive testing(NDT) system to detect the 3D defects in underground gas pipe. Magnetic systems with permanent magnets and yokes are analyzed by 3D non-lineal finite element method(FEM) with optimum design. In case of under-saturation of gas pipe, sensing signals are too weak to detect. In case of over-saturation, the changes of the sensing signals are too low to detect the defects sensitively. So, the operating points of the magnetic system are optimized to increase the changes of the MFL signals. The effects of the depth and size of the defects on the sensing signals are analyzed to define the range and resolution of the MFL sensors. To increase the sensor's sensitivity, the back-yoke sensors are introduced and tested.

• Journal of the Korean Institute of Gas
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• v.7 no.3 s.20
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• pp.13-17
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• 2003

A membrane unit for Liquefied Natural Gas (LNG) storage tank is a structural member which is designed specifically for preventing undesirable LNG leakage. Membrane units have to endure gas and liquid pressures by LNG and thermal stresses by the contact with cryogenic liquid of $-162^{\circ}C$. It is of importance to assure the strengths of membrane by experimental stress analysis under the temperature of LNG. In this paper, we proposed measurement system using commercial electrical strain gage and mechanical extension meter designed for this study.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea TE
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• v.39 no.2
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• pp.90-94
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• 2002

This paper is related to remote meter-reading using magnetic sensor. Scan system which is developed recently has week point of temperature, humidity, dust, oscillation To solve these problems, this study used magnetic action to measure the consumption of gas. Gas consumption was detected by interaction of a permanent magnet and hall element. Permanent magnet was pasted on rolling change-gear in normal gas meter and hall sensor was pasted on the external wall of normal gas meter. This experiment proved high accuracy and wasn't influenced by temperature, humidity, oscillation and dust

• Journal of the Korean Institute of Gas
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• v.24 no.5
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• pp.29-38
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• 2020

It is practically difficult to accurately measure the temperature and concentration of a large combustion systems at industrial sites in real time. Temperature measurement using thermocouple, which are mainly used, is a point-measuring method that is less accurate and less reliable to analyze the wide area range of inner combustion system, and has limitations to internal accessibility. In terms of concentration analysis, most measurement methods use sampling method, which are limited by the difficulty of real-time measurement. As a way to overcome these limitations, laser-based measurement methods have been developed continuously. Laser-based measurement are line-average measurement methods with high representation and precision, which are beneficial for the application of large combustion systems. In this study the temperature and concentration were measured in real time by water vapor and oxygen generated during combustion using Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy (TDLAS). The results showed that the average temperature inside the combustion system was 1330℃ and the mean oxygen concentration was 3.3 %, which showed similar tendency with plant monitoring data.