• 제목/요약/키워드: (Ba,Sr)$TiO_3$박막

검색결과 186건 처리시간 0.028초

RF Sputtering법에 의한 (Ba,Sr)TiO$_3$ 세라믹 박막의 구조적 특성에 관한 연구 (A study on the structural properties of (Ba,Sr)TiO$_3$ Ceramics Thin Films by RF Sputtering Technique)

  • 신승창;정장호;배선기;이영희
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국전기전자재료학회 1997년도 추계학술대회 논문집
    • /
    • pp.217-220
    • /
    • 1997

  • (Ba,Sr)TiO$_3$ thin film capacitors were prepared on SiO$_3$/Si(100)wafer by RF sputtering technique. The structural and crystallographic properties were studied with deposition conditions and annealing temperatures. Microstructural properties of (Ba,Sr)TiO$_3$ thin films were investigated by the SEM, XRD. The thickness and grain size were studied for the varying of RF power and temperature.

  • PDF

졸-겔법에 의한 강유전 BST 박막의 제조 및 특성 (Fabrication and properties of ferroelectric BST thin films prepared by sol-gel method)

  • 이진홍;박병옥
    • 한국결정성장학회지
    • /
    • 제11권2호
    • /
    • pp.60-66
    • /
    • 2001

  • ($Ba_x$$Sr_{1-x}$)$TiO_3$ (x=0.9, 0.7, 0.5)박막을 졸-겔법으로 ITO-coated glass기판 위에 제조하였다. BST의 perov-skite상 생성온도는 $600^{\circ}C$ 이상이며 Sr함량이 증가할수록, $Ba^{2+}$ 이온보다 작은 $Sr^{2+}$ 이온에 의해 perovskite상들의 피크가 높은 회절 각도로 이동하였다. 그리고 온도가 증가할수록 결정립은 조대화 되었고, Sr 함량이 증가할수록 결정립은 미세화 되었다. BST(50/50)의 유전상수 값은 다른 두 조성보다 큰 값을 나타내고 유전손실 값은 더 낮았다. 1 kHz때의 BST(50/50)박막의 유전상수 및 유전손실 값은 각각 652와 0.042였다.

  • PDF