• 제목/요약/키워드: $SrRuO_3$

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질소 열처리에 따른 $RuSr_2(EuCe)Cu_2O_z$ 계의 구조 및 자기적 특성 (Effect of Nitrogen Treatment on the Structure and Magnetic Properties of $RuSr_2(EuCe)Cu_2O_z$ Compound)

  • 이호근;김용일;김영철
    • Progress in Superconductivity
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    • 제13권3호
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    • pp.178-183
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    • 2012
  • Two $RuSr_2(EuCe)Cu_2O_z$ samples (as prepared and after $N_2$ treatment) have been investigated by thermogravimetric (TC) analysis, high-resolution x-ray powder diffraction and magnetization measurements. TG measurements which were carried out in $H_2/Ar$ atmosphere showed that the $N_2$ treatment of the as-prepared sample at $650^{\circ}C$ for 2h leads to a decrease in the oxygen content z by about 0.25. This oxygen depletion was accompanied by an increase in the magnetic transition temperature from 54.0 K to 114.9 K. This magnetic behavior is discussed in connection with the results of Rietveld analysis of the x-ray diffraction data which showed that the $N_2$ treatment resulted in both a significant increase in the rotation angle of the $RuO_6$ octahedra and a decrease in c-lattice parameter of the sample.

액체 운반 유기 금속 화학 기상 증착법에 의한 $(Ba,Sr)RuO_3$ 하부전극의 특성 (Characteristics of (Ba,Sr)RuO$_3$Bottom Electrodes by Liquid Delivery Metalorganic Chemical Vapor Deposition)

  • 최은석;윤순길
    • 한국재료학회지
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    • 제11권11호
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    • pp.997-1000
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    • 2001
  • Conducting perovskite oxide, $(Ba,Sr)RuO_3(BSR)$, which has many advantages for $(Ba,Sr)TiO_3(BST)$ due to their similarity in crystal structure, lattice constant and chemical composition, was prepared on n-type Si (100) by liquid delivery metalorganic chemical vapor deposition(LDMOCVD). The deposition characteristics of BSR were controlled by gas-phase mass-transfer in the experiment. The BSR films deposited at 50$0^{\circ}C$ and oxygen flow rate of 100 sccm(standard cc/min) showed an average roughness of 22 $\AA$and resistivity of 810 $\mu$$\Omega$-cm. The roughness of BSR films with oxygen flow rate showed a close relationship with the resistivity of films. BSR (110) peak shifted toward lower Bragg angle with increase of x in the$(Ba_x,Sr_{1-x})TiO_3$. The resistivity of BSR films increased from 810 to 924 $\mu$$\Omega$-cm with increase of Ba content(x).

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비정질 $(Ba, Sr)TiO_3$층의 도입을 통한 $(Ba, Sr)TiO_3$박막의 특성 향상 (The improvement in the properties of $(Ba, Sr)TiO_3$films by the application of amorphous layer)

  • 백수현;이공수;마재평;박치선
    • 한국결정성장학회지
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    • 제8권2호
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    • pp.221-226
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    • 1998
  • $RuO_2$ 하부전극 상에 형성된 $(Ba, Sr)TiO_3$[BST] 박막의 물성을 향상시키기 위하여 비정질 BST층(30, 70nm)을 $RuO_2$와 BST사이에 증착하여 2중 BST구조를 형성시켰다. 비정질 BST층의 도입을 통해, BST박막의 평균 입도가 증가하고, 표면 거칠기가 감소하여 전체 BST 박막의 미세구조와 표면 mophology가 단일 BST박막에 비해 상당한 변화가 발생함을 확인하였다. 30nm의 비정질측이 적용된 BST박막의 경우, 하부기판의 영향으로부터 비교적 자유로운 미세구조를 갖는 BST 박막이 형성되었다. 2중 BST 박막의 경우 유전상수는 340, 누설전류는 $6.85{\times}10^{-7}A/{\textrm}{cm}^2$로서 비정질층을 갖지 않는 단일 BST 박막에 비하여(유전상수: 152, 누설전류: $1.25{\times}10^{-5}A/{\textrm}{cm}^2$)놀라운 전기적 특성의 향상이 이루어짐을 확인하였다.

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강유전체 캐패시터 전극으로의 BaRuO$_3$박막의 구조적 및 전기적 특성 (Structural and Electrical Properties of RaRuO$_3$ Thin Film for Electrode of Ferroelectric Capacitors)

  • 박봉태;구상모;문병무
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제12권1호
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    • pp.56-61
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    • 1999
  • Highly conductive oxide films of BaRuO$_3$ have been grown heteroepitaxially on (100) LaAlO$_3$ single crystalline substrates by using pulsed laser deposition. The films are c-axis oriented with an in-plane epitaxial relationship of <010><100>BaRuO$_3$ // <110>LaAlO$_3$. Atomic force microscopy (AFM) observation shows that they consist of a fine-arranged network of grains and have a mosaic microstructure. Generally temperature-dependent resistivity shows the transition from metallic curve to semiconductor-metallic twofold curve by the deposition conditions for Ru oxide based materials like SrRuO$_3$, CaRuO$_3$, BaRuO$_3$, etc.. This twofold curve comes from the structural similarity of Ru oxide based materials including BaRuO$_3$. We find that the distance of Ru-Ru bonding in the unit cell of BaRuO$_3$ as well as the grain boundary scattering could be the two important causes of these interesting conductive properties.

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$Pb(Mg_{1/3}Nb_{2/3})O_3-PbTiO_3$ 박막의 성장 및 전기적 특성에 관한 연구

  • 김도형;이재찬
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.85-85
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    • 1999
  • Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 (PMN-PT)는 높은 유전율로 인해 강유전체 메모리 소자의 응용을 위한 연구가 되고 있으며 또한 전왜(electrostrictive)성을 갖고 있어 이력현상을 갖지 않음으로 최근 들어 미세전기기계소자(MEMS)로의 연구가 활발히 되고 있다. 본 연구에서는 MEMS 소자로서의 응용을 위해 저응력 SiNx가 형성된 Si 기판위에 Pt 전극 혹은 산화물 전극 SrRuO3를 갖는 PMN-PT 박막 캐패시터를 제조하였다. 박막 하부의 구조는 금속전극의 경우 Pt/Ti/LTO/SiNx/Si이고 산화물전극은 SrRuO3/Ru/SiNx/Si의 구조를 갖는다. PMN-PT 박막은 alkoxide를 기반으로 회전 coating 방법을 사용하여 박막 하부층의 변화를 주어서 성장시켰다. PMN-PT 용액의 합성은 분말합성법에서 사용하는 columbite 방법을 응용하여 상대적으로 반응정도가 낮은 Mg를 Nb와 우선 반응하여 Mg-Nb solution을 얻고 Pb-acetate 용액과 합성하여 PMN을 제조한 후 PT를 반응시켜서 제조하였다. PMN-PT 박막에서 동일한 공정조건 하에서 박막 하부층의 구조에 따라서 PMN-PT 박막의 조성이 A2B2O6의 조성을 가지는 파이로클러어상이 형성되거나 또는 ABO3인 페로브스카이트상이 형성되는 것을 관찰하였다. 금속 전극인 Pt를 하부전극으로 사용한 경우는 혼재상이 형성되어 패로브스카이드 PMN-PT를 얻기 위해 seed layer로서 PbTiO3를 사용하였으며 이러한 seed layer 위에 형성된 PMN-PT를 형성하는 경우 rutile 구조인 RuO2 위에 성장시킨 PMN-PT는 파이로클로어와 페로브스카이트의 혼재상이 얻어졌으나 pseudo-perovskite 구조인 SrRuO3 박막 위에 형성된 PMN-PT 박막에서는 페로브스카이트가 주된 상으로 얻어졌다. 즉 하부층(전극 또는 seed layer)으로 perovskite 구조를 갖는 박막을 형성하게 되면 페로브스카이트를 갖는 PMN-PT 박막을 얻을 수 있었다. 전기적인 특성은 상부전극으로 Pt를 사용하여 HP 4194A로 측정을 하였다. PT seed layer를 포함한 PMN-PT 박막은 유전상수 1086과 유전손실 2.75%을 가졌다.

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