$SiO_2$ 위에 증착된 $Si_{1-X}Ge_X$ 합금의 증착온도 변화에 따른 결정성 및 미세구조에 관한 연구
(A study of the crystallinity and microstructure of the $Si_{1-X}Ge_X$ alloys deposited on the $SiO_2$ at various temperatures)
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- 한국재료학회지
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- 제4권4호
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- pp.416-427
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- 1994