$Pt/SrTiO_3/Pb_x(Zr_{0.52}, Ti_{0.48})O_3/SrTiO_3/Si$ 구조의 전기적 특성 분석 및 $SrTiO_3$ 박막의 완충층 역할에 관한 연구
(Electrical Properties in $Pt/SrTiO_3/Pb_x(Zr_{0.52}, Ti_{0.48})O_3/SrTiO_3/Si$ Structure and the Role of $SrTiO_3$ Film as a Buffer Layer)
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- 한국전기전자재료학회논문지
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- 제11권6호
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- pp.436-441
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- 1998