Two-dimensional dopant profiles in diffused n+/p junctions produced by KrF excimer laser thermal annealing (KrF excimer laser 열처리를 이용하여 만들어진 확산 n+/p 접합에서 2차원적 불순물 분포에 관한 연구)
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- Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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- 2001.11a
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- pp.66-66
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- 2001