Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Two-dimensional dopant profiles in diffused n+/p junctions produced by KrF excimer laser thermal annealing

KrF excimer laser 열처리를 이용하여 만들어진 확산 n+/p 접합에서 2차원적 불순물 분포에 관한 연구

  • 최철종 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 한명근 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 이성훈 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 성태연 (광주과학기술원 신소재공학과)
  • Published : 2001.11.01
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Abstract

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