$CH_4-CO_2$ 혼합가스로부터 PECVD법에 의한 DLC 박막 증착에 관한 연구
(A Study on the Deposition of DLC Films from $CH_4-CO_2$ Gas Mixture by PECVD Method)
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- 한국재료학회지
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- 제6권3호
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- pp.324-332
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- 1996