The characteristic of $CF_{4}$ decomposition for High density streamer
(고밀도스트리머를 이용한 $CF_{4}$ 분해특성)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 한국전기전자재료학회 2002년도 제4회 영호남학술대회 논문집
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- pp.133-137
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- 2002