Abstract
As the demand for LCD increases, the importance of inspection equipment for improving the efficiency of LCD production is continuously emphasized. The pattern inspection apparatus is one that detects minute defects of pattern quickly using optical equipment such as line scan camera. This pattern inspection apparatus makes a decision on whether a pixel is a defect or not using a single threshold value in order to meet constraint of real time inspection. However, a method that uses an adaptive thresholding scheme with different threshold values according to characteristics of each region in a pattern can greatly improve the performance of defect detection. To apply this adaptive thresholding scheme it has to be known that a certain pixel to be inspected belongs to which region. Therefore, this paper proposes a region matching algorithm that recognizes the region of each pixel to be inspected. The proposed algorithm is based on the pattern matching scheme with the consideration of real time constraint of machine vision and implemented through GPGPU in order to be applied to a practical system. Simulation results show that the proposed method not only satisfies the requirement for processing time of practical system but also improves the performance of defect detection.
LCD 수요 증가에 따라 LCD 생산 효율성 개선을 위한 검사장비의 중요성이 지속적으로 부각되고 있다. 패턴 검사기는 라인 스캔 카메라와 같은 광학 장비를 통해 미세한 패턴 결함을 빠른 속도로 검출하는 장비이다. 이러한 패턴 검사기는 실시간 검사를 위해 패턴 내에서 단일 기준값을 사용하여 픽셀 단위의 결함 여부를 판단하고 있다. 하지만 패턴 내 각 영역별 특징을 반영하여 서로 다른 기준값을 적용하는 적응적 이진화를 이용하는 경우 결함 검출 성능을 크게 향상시킬 수 있다. 이러한 적응적 이진화를 적용하기 위해서는 특정 검사 대상 픽셀이 어떠한 영역에 속하는지에 대한 정보를 필요로 한다. 이를 위해 본 논문에서는 각각의 검사 대상 픽셀이 어떠한 영역에 속하는지를 판단하는 영역 매칭 알고리즘을 제안한다. 제안된 알고리즘은 머신 비전의 실시간성을 고려한 패턴 정합에 기반을 둔 알고리즘으로 실제 시스템에 적용될 수 있도록 GPGPU를 이용하여 구현된다. 모의실험을 통해 제안된 방법이 실제 시스템이 요구하는 처리 속도를 만족시킬 수 있을 뿐만 아니라 결함 검출의 성능을 개선할 수 있음을 보인다.
