초록
본 논문에서는 반도체 장비의 상황을 인지하는 시스템을 제안하고 이에 대한 성능을 평가하였다. 제안하는 시스템은 반도체 장비 주변에 배치된 클라이언트 노드의 가속도, 압력, 온도, 가스 센서로부터 정보를 획득하고 서버로 데이터를 전송한다. 서버로 전송된 데이터는 다중 이벤트 및 단일 이벤트의 상황인지 알고리즘을 통해 알람을 3단계로 발생시키게 된다. 제안한 상황인지 시스템의 동작 실험결과에 따른 상황인지 알고리즘을 사용하지 않은 경우보다 알람이 약 80% 정도 적게 발생하여 정보의 신뢰성 및 효율성을 향상시켰으며, 다수의 클라이언트 노드로부터 주위의 정보를 습득할 수 있으므로 반도체 장비의 효과적인 상태감시가 가능함을 확인하였다.
In this paper, we propose a system which can perceive status of semiconductor equipment and evaluate its performance. The proposed system acquires the information such acceleration, pressure, temperature and gas sensors in the surrounding semiconductor equipment. After acquiring information, it is sent to server through multi hop transmission. The transmitted data generates 3 steps alarm using context-aware algorithm of unit or multiple event. From the experiment's result of the proposed system, we confirm that the reliability and efficiency of information is more improved about 80% than a system that doesn't use context-aware algorithm. Moreover, this system can be effective status monitoring of semiconductor equipment because lots of client nodes acquire surrounding information.
