초록
기존의 수 mN급의 MEMS 고체 추진제 추력기는 실제 마이크로/나노 위성체의 킥모터,지능탄(Smart bomb)의 측추력기로 응용하기에는 추력 레벨이 너무 낮다는 한계가 있었다. 이 연구에서는 고체 추진제의 연소 면적을 증대시킴으로써 추력 레벨이 향상된 MEMS 고체 추진제 추력기의 제작 가능성을 확인하고 연소 실험을 통해서 구조체의 안정성을 확인하였으며 직접 추력을 측정하여 수백 mN급의 단위 추력기를 개발하였다. 연소 챔버와 노즐, 덮개 층은 감광성 유리 기판을 이용하여 제작하였으며 마이크로 점화기는 파이렉스 기판 위에 300 ㎚ 높이의 니켈과 크롬을 페터닝(patterning)하여 제작하였다. 마이크로 점화기의 성능 해석과 실험을 통한 검증을 수행하여 고체 추진제의 점화를 위한 공급 전력을 계산하였으며 힘 센서를 통하여 추력기의 추력을 측정하였다. 측정된 추력은 K=15와 20인 경우에 300, 600 mN 이었다.
The MEMS solid propellant thrusters have very low thrust level for applying to the propulsion system of micro/nano satellites or the side jet thruster of smart bombs. In this research, the fabrication possibility of planar type MEMS solid propellant thrusters that have enlarged burning surface area was examined and the safety of the structure of thruster during the firing test was confirmed. The performance of a micro igniter which is the key component of the MEMS solid propellant thruster was estimated by the ANSYS Icepak and evaluated by the experiment. Finally, the thrust was measured by the micro force sensor. The levels of thrust were 300, 600 mN in the case of K=15, 20.
