한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
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- Pages.137-137
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- 2011
저진공 펄스 직류 전원 BCl3 플라즈마의 전기적 특성과 GaAs의 식각 특성 분석
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이제원
(인제대학교 나노공학부/나노매뉴팩쳐링연구소) ;
- 박동균 (인제대학교 정보통신시스템학) ;
- 노강현 (인제대학교 나노공학부/나노매뉴팩쳐링연구소) ;
- 신주용 (인제대학교 나노공학부/나노매뉴팩쳐링연구소) ;
- 조관식 (인제대학교 나노공학부/나노매뉴팩쳐링연구소) ;
- 손근용 (인제대학교 나노공학부/나노매뉴팩쳐링연구소) ;
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송한정
(인제대학교 나노공학부/나노매뉴팩쳐링연구소)
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Lee, Je-Won
;
- Park, Dong-Gyun ;
- No, Gang-Hyeon ;
- Sin, Ju-Yong ;
- Jo, Gwan-Sik ;
- Son, Geun-Yong ;
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Song, Han-Jeong
- 발행 : 2011.08.17
초록
펄스 직류