Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2011.06a
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- Pages.917-918
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- 2011
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- 2005-8446(pISSN)
A study on performance degradation of precision nanopositioning devices caused by tolerances
공차가 초정밀위치결정기구의 성능저하에 미치는 영향에 대한 연구
- Published : 2011.06.01