탄화규소(4H) 기판의 초고내압용 접합 장벽 쇼트키 다이오드의 특성 모델링

Characteristics Modeling of Junction Barrier Schottky Diodes for ultra high breakdown voltage with 4H-SiC substrate

넓은 에너지 갭의 물질인 탄화규소(4H)기판을 사용하여, 초고내압을 위한 접합장벽 쇼트키 구조의 소자를 설계하여 제작하였다. 측정결과로써 소자의 역방향 I-V 특성은 1000V 이상의 항복전압을 보였고 p-grid의 설계 최적 길이는 $3{\mu}m$ 간격이였다. 이 연구에서는 제작한 소자의 공정 조건 파라미터들을 사용하여 I-V 특성을 모델링 하였고 I-V 특성 파라미터들을 추출하여 실제 소자 파라미터와 비교, 분석하였다.

Devices of junction barrier schottky(JBS) structure using 4H-SiC substrates with wide energy band gaps was designed and fabricated. As a measurement results, the device of reverse I-V characteristics was shown as more than 1000 V, its design optimum length of p-grid was $3{\mu}m$ space. In this paper, I-V characteristics was modeled by using of device fabricated process conditions parameters and it was extracted that the I-V property parameters, and it was compared and analyzed with between device parameters and model parameters.