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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.320-320
/
2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
진공부품용
$Al_2O_3$
피막의 공정영향평가
Yu, Seung-Min
;
Yun, Ju-Yeong
;
Gang, Sang-U
;
Sin, Jae-Su
;
Seong, Dae-Jin
;
Sin, Yong-Hyeon
유승민
(대전대학교 신소재공학과) ;
윤주영
(한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
강상우
(한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
신재수
(대전대학교 신소재공학과) ;
성대진
(한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
신용현
(한국표준과학연구원 진공기술연구랩)
Published : 2007.08.15
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