Article Info.
Home
Article Info.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
/
Pages.321-321
/
2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
저압공정 중 발생하는 나노입자의 실시간 측정장비에 관한 연구
Na, Jeong-Gil
;
Jo, Dae-Geun
;
Choe, Jae-Bong
;
Kim, Yeong-Jin
;
Kim, Tae-Seong
나정길
(성균관대학교 기계공학부) ;
조대근
(성균관대학교 나노과학기술원) ;
최재봉
(성균관대학교 기계공학부) ;
김영진
(성균관대학교 기계공학부, 성균관대학교 나노과학기술원) ;
김태성
(성균관대학교 기계공학부, 성균관대학교 나노과학기술원)
Published : 2007.08.15
PDF
Download PDF
〈 Previous
Next 〉
Abstract
Keywords