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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.318-318
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
PC 기판상 ITO 박막 제작시 플라즈마 처리 효과
Kim, Sang-Mo
;
Im, Yu-Seung
;
Geum, Min-Jong
;
Kim, Gyeong-Hwan
김상모
(경원대학교 전기공학과) ;
임유승
(경원대학교 전기공학과) ;
금민종
(플라즈마 응용 표면기술 센터) ;
김경환
(경원대학교 전기공학과)
Published : 2007.08.15
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