한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2006년도 하계학술대회 논문집 Vol.7
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- Pages.352-353
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- 2006
가스 센서용 마이크로 히터의 표면 마이크로머시닝 기술
Surface Micromachining for the Micro-heater Fabrication of Gas Sensors
- Lee, Seok-Tae (KITECH) ;
- Yun, Eui-Jung (Hoseo Univ.) ;
- Jung, Il-Yong (KITECH) ;
- Lee, Kang-Won (KITECH) ;
- Park, Hyung-Sik (Hoseo Univ.)
- 발행 : 2006.06.22
초록
가스센서용 마이크로 히터 제작에는 표연 마이크로 머시닝 또는 벌크 마이크로머시닝 기술을 이용한다. 표면 마이크로 머시닝에 의한 마이크로 히터 (MHP) 구조의 경우, 기판과 박막간의 폭이 좁기 때문에 에칭 공정 후 세정이 잘 이루어지지 않으면 열적 절연이 잘 이루어지지 않아서 히터와 센서의 성능을 저하시키는 원인이 된다. 본 연구에서는 표면 마이크로 머시닝 기술에 의한 가스 센서용 마이크로 히터를 제작한다.