한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2006년도 하계학술대회 논문집 Vol.7
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- Pages.154-154
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- 2006
화상정렬 시스템을 이용한 잉크젯 반복인쇄기술
For High Aspect Ratio of Conductive Line by Using Alignment System in Micro Patterning of Inkjet Industry
- 박재찬 (기술총괄 중앙연구소 eMD LAB, Central R&D Institute, 삼성전기) ;
- 박성준 (기술총괄 중앙연구소 eMD LAB, Central R&D Institute, 삼성전기) ;
- 서상훈 (기술총괄 중앙연구소 eMD LAB, Central R&D Institute, 삼성전기) ;
- 정재우 (기술총괄 중앙연구소 eMD LAB, Central R&D Institute, 삼성전기)
- Park, Jae-Chan (eMD LAB, Central R&D Institute, Samsung Electro Mechanics) ;
- Park, Sung-Jun (eMD LAB, Central R&D Institute, Samsung Electro Mechanics) ;
- Seo, Shang-Hoon (eMD LAB, Central R&D Institute, Samsung Electro Mechanics) ;
- Joung, Jae-Woo (eMD LAB, Central R&D Institute, Samsung Electro Mechanics)
- 발행 : 2006.06.22
초록
글씨 전도성 잉크의 인쇄공정에 있어서 반복인쇄를 정밀하게 수행할 수 있는 기술로서 align system을 개발하였다. 이 system의 resolution 은 0.5um 이며 인쇄 working plate의 이송속도는 최대 1.5m/s 이다. 현재 소성 공정을 포함한 반복인쇄 실험은 30um이상의 drop탄착점 오차를 보이고 있으며, 두께와 전기전도도 향상을 위한 정밀한 align system이 필요하게 되었다. 이를 충족시키기 위해 개발되어진 초정밀 align system은
Samsung Electro Mechanics ink jet has developed ultra high resolution alignment system. The alignment system has been developed for repeatable printing of conductive ink. The resolution of alignment system is 0.5um and the velocity of printing working plate is 1.5m/s. So far repeated printing results included sintering process have over 30um of drop mislocation data. In order to improve line thickness and conductivity of metal line, we need to develop the higher mechanical accurate align system. On the demand, this developed align system has under