한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 2006년도 춘계학술발표대회 및 제10회 신소재 심포지엄 논문개요집
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- Pages.23.2-23.2
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RF magnetron sputter로 성장시킨 고유전 $TiO_2:SiO_2$ 박막의 특성
Properties of high-k $TiO_2:SiO_2$ films grown by RF magnetron sputter
- 발행 : 2006.05.19