한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 2006년도 춘계학술발표대회 및 제10회 신소재 심포지엄 논문개요집
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- Pages.23.1-23.1
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- 2006
RF magnetron sputter를 이용하여 합성한 Si 박막의 결정성에 대한 수소 효과
Effects of hydrogen on crystallinity of Si thin films by RF magnetron sputtering
- 발행 : 2006.05.19