Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2004.07c
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- Pages.2099-2101
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- 2004
Fabrication and Characteristics of Thermopneumatic-Actuated Polydimethylsiloxane microfluidic systems
Lab-on-a-chip과 m-TAS를 위한 미세 유체 시스템
- Moon, Min-Chul (Department of Electrical Engineering) ;
- Kim, Ju-Ho (Department of Electrical Engineering) ;
- Kim, Jin-Ho (BOE-HYDIS) ;
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Kang, C.J.
(Department of Physics, Myongji University)
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Kim, Yong-Sang
(Department of Electrical Engineering)
- Published : 2004.07.14
Abstract
본 연구에서 제안하는 마이크로 시스템은 열공압 방식으로 구동되고 제작비용이 저렴한 indium tin oxide (ITO) 및 polydimethylsiloxane (PDMS)로 제작되었다. 제안된 마이크로 밸브와 마이크로 펌프의 구조는 ITO 히터, SU-8 층, PDMS membrane, 그리고 PDMS 채널로 구성 되어 있다. 제안된 마이크로 펌프와 마이크로 밸브는 제작 공정 및 구조가 간단하고 값이 저렴하며, 마이크로 펌프와 마이크로 밸브를 같은 기판 위에 쉽게 직접화할 수 있는 장점을 가진다. 마이크로 밸브의 유량은 채널 폭에 비례하며 밸브가 closing 되는 전력은 채널의 폭과 상관없이 100 mW이다. 마이크로밸브의 ITO 히터의 온-오프에 따라 유량이 매우 잘 제어되었다. 제안된 마이크로 펌프의 경우, 히터의 인가 펄스 전압이 증가함에 따라 유량은 선형적으로 비례 증가함을 관찰할 수 있다. 마이크로 펌프의 최대 유량은 펄스 전압과 duty 비가 55V와 10%일 때 6 Hz에서 78 nl/min이 측정 되었다.
Keywords