Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2003.07c
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- Pages.1914-1916
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- 2003
The bonding properties of PDMS - substrate by oxygen plasma treatment
$O_2$ 플라즈마로 표면 처리된 PDMS의 접합특성
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Yoo, Kum-Pyo
(Korea University)
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- Kang, Moon-Sik (Korea University) ;
- Pyo, Seong-Yeol (Korea University) ;
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Hong, Suk-In
(Korea University)
;
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Min, Nam-Ki
(Korea University)
- Published : 2003.07.21
Abstract
최근 PDMS를 이용한 미세구조물의 제작을 통한 LOC(lap-on-a-chip) 개발에 대한 연구가 많이 진행되고 있다. 본 연구에서는 PDMS와 여러기판(유리와 실리콘) 사이의 접합 공정에 관한 연구를 하였으며, 특히 PDMS 표면의 물리적, 화학적 변화와 접합 특성과의 관계를 고찰하였다.
Keywords