Proceedings of the Korean Society of Tribologists and Lubrication Engineers Conference (한국윤활학회:학술대회논문집)
- 2001.11a
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- Pages.35-42
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- 2001
Nanotribological characteristics of plasma treated hydrophobic thin films on silicon surfaces using SPM
SPM을 이용한 Si 표면위에 플라즈마 처리된 소수성 박막의 나노 트라이볼로지적 특성 연구
- Yoon, Eui-Sung (Tribology Research Center, KIST) ;
- Park, Ji-Hyun (Tribology Research Center, KIST) ;
- Yang, Seung-Ho (Tribology Research Center, KIST) ;
- Han, Hung-Gu (Tribology Research Center, KIST) ;
- Kong, Ho-Sung (Tribology Research Center, KIST) ;
- Koh, Seok-Keun (Thin Film Technology Research Center, KIST)
- 윤의성 (한국과학기술연구원 트라이볼로지 연구센터) ;
- 박지현 (한국과학기술연구원 트라이볼로지 연구센터) ;
- 양승호 (한국과학기술연구원 트라이볼로지 연구센터) ;
- 한흥구 (한국과학기술연구원 트라이볼로지 연구센터) ;
- 공호성 (한국과학기술연구원 트라이볼로지 연구센터) ;
- 고석근 (한국과학기술연구원 박막기술 연구센터)
- Published : 2001.11.01
Abstract
Nanotribological characteristics between a Si