Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference (한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집)

The Korean Microelectronics and Packaging Society (한국마이크로전자및패키징학회)
권호 표지

AIN Thin Film Growth using Noble Single Precursor by MOCVD

MOCVD법을 이용한 AIN 기판재료의 제조

  • 경제홍 (아주대학교 재료공학과) ;
  • 조성훈 (한국과학기술연구원 청정기술연구센터) ;
  • 한성환 (한국과학기술연구원 청정기술연구센터) ;
  • 백동규 (아주대학교 재료공학과) ;
  • 최승철 (아주대학교 재료공학과)
  • Published : 1999.11.01
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Abstract

Keywords